TIC Turbo&Instr-RUS (1032059), страница 5
Текст из файла (страница 5)
При остановкенасоса нагреватель выключится и таймер обнулится.Start delay – установка времени задержки старта. По достижении заданных условийстарта (давление) пройдет задержка 0-99 мин до старта насоса.System ON – установка устройства, включаемого по пункту меню “SYSTEM” в менюSystem ControlSystem OFF – установка устройства, выключаемого по пункту меню “SYSTEM” в менюSystem ControlAir cooler – установка режима работы вентилятора охлаждения. ON – включен постоянно, TURBO – включается вместе с турбомолекулярным насосом.приведенные ниже опции доступны при подключении DX насосаDX vent opt - установка режима работы вентилятора охлаждения, включенного в DXнасос. 50% - полностью открывается при снижении оборотов до 50% 50%CvV – управляемое натекание при оборотах 100%-50%, полное открытиепри оборотах ниже 50% STP50% - полностью открывается при команде STOP;открывается при сниженииоборотов до 50% при отключении по ошибке. STPCnV- полностью открывается при команде STOP; управляемое натеканиепри оборотах 100%-50%, полное открытие при оборотах ниже 50% по ошибке FLT50% - полностью открывается при ошибке; полностью открывается при снижении оборотов до 50% при команде STOP FLTCnV - полностью открывается при ошибке; управляемое натекание при оборотах 100%-50%, полное открытие при оборотах ниже 50% при команде STOP STPFLT - полностью открывается при команде STOP или ошибке. FLTSTP - полностью открывается при команде STOP или ошибке. FAN – постоянно включен.
Используется для подключения вентилятора охлаждения.Normal - установка “нормальной” скорости вращения насосаStandby speed – установка скорости холостого хода в процентах от максимальной.Max power – установка максимальной мощности, отдаваемой DX насосу.Braking – запрет/разрешение ускоренного торможения насоса.Gauge Setup – настройка датчикаGauge – тип датчика.
Определяется контроллером.Gas type – установка состава измеряемого газа.Filter – установка режима измерения. OFF – измерение 3 раза в секунду 1 sec - набор трех измерений и выдача результата как среднего из трех, сглаживание скачков измерения.Calibrate – включение калибровки. Доступно для датчиков APGX-MRange – установка диапазона измерения. 1000/2000. Доступно для датчиков ASG23Set zero – установка “нуля”. Для установки “нуля” снизить давление до 2*10-2 mbar длядиапазона 2000 или до 1*10-2 mbar для диапазона 1000 и выбрать пункт Set zero. Доступно для датчиков ASG.Display – установка вида показаний. Float – с плавающей точкой Fixed – десятичная дробь.
Доступно для датчиков ASG.Degas – дегазация датчика. Доступно для датчика AIGXAlarms - отказы системы. Мигает, если произошли отказы в работе.Рисунок 16. Структура менюTIC24Пояснения к рисунку 16Main menu – главное меню. Вызывается кнопкой MENUAlarms - отказы системы. Мигает, если произошли отказы в работе.System Control – управление системой.Перечислены устройства, которыми возможно управление (вкл/выкл). Для включения/выключения устройства нажать CYCLE на выбранном устройстве. Устройство включится только при наличии разрешающей перемычки и наличии условий включения(достижение вакуума и т.д.)Pump status – индикация состояния турбомолекулярного насоса. Только чтение.Turbo – графическое представление скорости вращения насоса. При разгоне и остановке дополняется символами “>>>” и “<<<”Turbo pump – ON/OF, включен – выключен турбомолекулярный насос.Backing pump – ON/OFF, включен – выключен форвакуумный насос.Turbo power – потребление энергии турбомолекулярным насосом, Вт.Turbo speed – скорость вращения турбомолекулярного насоса, % от максимума.TIC int temp – температура внутри контроллера, оС.Turbo drive - температура привода турбомолекулярного насоса, оС.
(только для насосовсерии DX)Turbo pump - температура турбомолекулярного насоса, оС. (только для насосов серииDX)Cycle time – время работы в данном цикле, час.TIC vent – состояние напускного клапана. ON/OFFLink gauges/pumps – устанавливает взаимосвязь работы датчиков и/или насосов.
См.меню Control Setup.Controlled item – управляемые вакуумметры и насосыGde1,2,3 – установка условий включения/выключения выбранного датчика.Turbo - установка условий включения/выключения турбомолекулярного насоса.Control setup - установка условий включения/выключения датчиков / насосов/ релеControl object – устройство, которое будет включено/выключено при достижении заданных условий. Датчик, турбомолекулярный насос, реле.Controlling object – устройство, с которого снимаются показания для управления. Датчик, турбомолекулярный насос.Units – Pressure (давление) для датчиков и Speed (скорость) насосов.Off setpnt – установка уровня выключения.On setpnt – установка уровня включения.Setpoint – установка разрешения работы условия. ENABLED – разрешено, DISABLED –запрещено.Parameters/Units – установка параметров контроллера и едини измерения.Setup lock – Блокировка настроек системы.
После ввода 3х цифрового кода запрещаются любые изменения в настройках, однако навигация по меню остается возможной.Снятие блокировки – ввод 3х цифрового кода.Panel lock – Блокировка передней панели. После ввода 3х цифрового кода запрещаются любые изменения в настройках.
Пароли к этим функциям указаны на карточке в CDдиске контроллера.0-10V O/P – установка устройства, сигнал которого будет выдаваться на аналоговыйвыход.25Gge1,2,3 – показания датчика 1,2,3Turbo – скорость турбомолекулярного насоса.Disp contrast – установка контрастности дисплея. 0-9Protocol – установка протокола работы с компьютером.
RS232 или RS485.Comms address – установка адреса для работы с компьютером.Screen options – установка вида дисплеяShow all items – на основном экране показывается информация по всем устройствам.Show all gauges - на основном экране показывается информация по всем датчикам, нетинформации по насосамShow One/2/3 gauge - на основном экране показывается информация по выбранномудатчику, нет информации по насосамShow Turbo only - на основном экране показывается информация по турбомолекулярному насосу, нет информации по датчикам.Relay select – выбор релеRelay 1,2,3 – установка реле1,2,3Relay setpoint output – установка условий включения/выключения реле. См. Control Setup.Service Information – вспомогательная информацияSoftware issue – версия программного обеспечения.Serial number – серийный номер контроллера. Необходим при обращении в сервиснуюслужбу.Analogue O/P – уровень аналогового сигнала.
Может быть запрошен при обращении всервисную службу.Turbo run – количество часов работы турбомолекулярного насоса. (только для насосовсерии DX)Reset DX – установка настроек турбомолекулярного насоса серии DX в исходные заводские. (только для насосов серии DX)Reset TIC - установка настроек контроллера в исходные заводские.Upload DX – загрузка настроек в насос серии DX. Контроллер хранит 1 набор настроекнасоса.
(только для насосов серии DX)Download DX – загрузка настроек из насоса серии DX. Контроллер хранит 1 набор настроек насоса. (только для насосов серии DX)4.3Перемещение по менюВ этом разделе приводится краткое описание метода перемещения по меню TIC. Дляперемещения по меню и конфигурации задач используются 4 кнопки. Пятая кнопкаиспользуется для включения/выключения насосов/вакуумметров. В большинстве случаев конфигурации задач используются трехуровневые меню.Описание кнопок на передней панели и их функций приведено в табл.
9.4.4Вид экранаВид экрана может быть различным в зависимости от выбранной функции/опции (см.раздел 4.14.). Далее описываются виды экрана, которые отображают «все» (см. рис.17).В верхней части экрана отображается состояние вакуумных насосов. В верхней линиипоказывается скорость турбонасоса в виде полосы, длина которой пропорциональна26его скорости .
В верхнем правом углу состояние турбомолекулярных насосов отображается в следующем виде:Off>>>.<<<.Run.Norm.Strt.Flt.Турбонасос выключен.Турбонасос разгоняется.Турбонасос останавливается.Скорость турбонасоса выше 50%.Турбонасос достиг рабочей скорости или превысил ее.Турбонасос готов к запуску и ждет окончания стартовой задержки.Произошла ошибка. Выберите режим Предупреждения.Вторая линия содержит сведения о состоянии турбомолекулярного и форвакуумногонасосов под управлением TIC (вкл/выкл).Состояние реле блокировок показывается в нижней строке. Включенные реле отображаются в инверсивном изображении /как негатив/.Вакуумметры серии ACTIVE содержат резистор, который является уникальным длякаждого типа вакуумметра.
Когда подключается новый вакуумметр, TIC автоматически определяет его и показывает, что новый вакуумметр был определен, отобразивNew ID, как показано на рис. 17.Рисунок 17. Вид экранаВ данном примере (см. рис. 17) новые вакуумметры установлены в каналы 1 и 2. Нажимая кнопки вверх/вниз выберите канал вакуумметра и нажмите кнопку Выбор (). На экране отобразится тип вакуумметра а так же выходной сигнал или сообщение.Для вакуумметров, которые измеряют давление вплоть до атмосферного (датчикивысокого давления), автоматически отобразится выходной сигнал.4.5Включение/выключение вакуумметров или насосовЗамечание: если экран был настроен только на отображение вакуумметров, систему можно выключить или включить перейдя в меню Переключить(Сycle) в главном меню.Нажимая кнопку Переключитьдля выбранного оборудования можно включитьли выключить оборудование. Если выбрана линия с состоянием турбомолекулярногоили форвакуумного насосов, то появится меню включаемого оборудования.














