TIC Turbo&Instr-RUS (1032059), страница 8

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 8)

Попытайтесь снова произвести настройку нуля,и если ошибки повториться, то вакуумметр необходимо заменить.Таблица 23. Диагностика ASG4.9.7Управление инверсно-магнетронным вакуумметром АIMЗамечание: данный раздел содержит описание для версий вакуумметров: стандартного AIM – S и линейного AIM – L (различия в выходных сигналах),включая версии с низким внешним магнитным полем (-SL или -XL) и прогреваемую версию (тип DB40CF).Замечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуумметров AIM приведены в руководствах D146-41-885 и D146-61-880.Инверсно-магнетронный вакуумметр AIM является ионизационным датчиком с холодным катодом, показания которого зависят от рода газа, и измеряющим давлениев диапазоне 110-2…110-9 мбар (7,510-3…7,510-10 Торр). Ряд версий вакуумметров со стандартным (AIM – S) и линейным (AIM – L) выходным сигналом, с низким38внешним магнитным полем (AIM –SL или AIM –XL) используются для чувствительных научных приборов, а версия с прогреваемой измерительной трубкой подходитдля работы со сверх высоким вакуумом.Установка AIM со значениями, принятыми по умолчанию, приведена в разделе выше(4.9.1).В табл.

24 приведены диагностические сообщения для вакуумметров АIM.ДиагностическоесообщениеВыход за пределыдиапазонаПревышениеOver RangeОписание(Выходной сигнал вакуумметра >11,000 В)Означает, что или измеренное давление газа выходит за пределы диапазона измерения вакуумметра, или что вакуумметрнеисправен.Удалите сообщение об ошибке, понизьте рабочее давлениетехнологического процесса до предела диапазона, «прокрутите» линию на экране, и нажмите кнопку Переключить (Cycle).Если вакуумметр не дает показаний давления, его следуетзаменить.Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <0,300 В)диапазонаОзначает, что вакуумметр или кабель неисправен.

ЗаменитеПонижениекабель и, если ошибка повторится, то следует заменить элекUnder Rangeтронный модуль.ЗажиганиеОзначает, что вакуумметр ждет зажигания разряда.StrikingTIC может работать в этом режиме не более 15 минутНет зажиганияОзначает, что в вакуумметре не произошло зажигание разряNot Strukда по истечении 15 минут.Подобные ошибки происходят из-за загрязнения измерительной трубки вакуумметра.

Трубку следует осмотреть на наличие загрязнений: если катод и анод не блестят, то вакуумметрнеобходимо почистить или заменить электронный блок (см.руководство вакуумметра).Таблица 24. Диагностика AIM4.9.8Управление ионизационным вакуумметром АIGX – S серии ACTIVEЗамечание: TIC не поддерживает версию AIGX – D из ряда AIGX. TIC не поддерживает работу контроллера ионизационных вакуумметров IGC.Замечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуумметров AIGX приведены в руководствe D048-50-880.Ионизационный вакуумметр AIGX – S является полностью интегрированным средством измерения, измеряющим давление в диапазоне 6,610-2…6,610-10 мбар (5102…510-10 Торр).

Вакуумметр имеет линейный выходной сигнал 1Вольт/декада вдиапазоне 0…10 В. AIGX – S поставляется с двумя катодами, выбор которых осуществляется вручную на преобразователе. Для максимального ресурса катода вакуумметр автоматически переключает ток эмиссии и содержит защиту от превышениядавления. Пользователь может только выбрать характеристики блокировки и режима дегазации.39Вакуумметр содержит также широкий диапазон диагностических выходных сигналов,которые отображаются на TIC.При подключении AIGX TIC содержит функции меню (см.

табл. 25 и рис. 24) в дополнение к приведенным выше (см. табл. 17 раздел 4.9.1).Функция менюДегазацияDegasОписаниеПозволяет пользователю произвести дегазацию вакуумметра AIGX.Прокруткой установите линию на Дегазации/Degas и нажмите кнопку Выбор. Команда Command Sent появится втечении 1 сек для подтверждения выполненного действия.Замечание: во время дегазации выходной сигнал давленияможет быть немного выше рабочего.Максимальная продолжительность цикла дегазации составляет 3 минуты, во время которого давление на экранеконтроллера будет отображаться в виде «D».Замечание: «D» видно в том случае, когда канал, по которому подключен вакуумметр, не выбран. Это происходит потому, что увеличенный размер текста на выбранном канале сжимается до «D» на экране.В конце цикла вакуумметр автоматически вернется вобычный рабочий режим.Если давление во время цикла повысится выше 1,310-3мбар (110-4 Торр), то дегазация автоматически остановится пока давление не упадет ниже 410-5 мбар (310-5 Торр),при котором дегазация возобновится на остаток цикла.Замечание: нет возможности выключения дегазациивручную в середине цикла.Таблица 25.

Функции установки AIGXРисунок 24. Экран настройки вакуумметра AIGXВ табл. 26 приведены диагностические сообщения для вакуумметров АIGX.40ДиагностическоесообщениеВыход за пределыдиапазона (превышение) /Over RangeПревышение допустимогодавленияOver PressureОписание(Выходной сигнал вакуумметра >9,800 В)Означает, что вакуумметр неисправен и следует заменитьэлектронный блок.(Выходной сигнал вакуумметра =9,700 В)Означает, что вакуумметр автоматически выключился, т.к.давление поднялось выше 6,610-2 мбар (510-2 Торр).Понизьте давление с включите вакуумметр снова.Ошибка тока эмис- (Выходной сигнал вакуумметра =9,500 В)сииОзначает, что или сгорел катод, или что вакуумметр былEmission Errorвключен при слишком высоком давлении  понизьте и включите снова.Электропитание не соответствует требованиям  проверьтекабель (длина и поперечное сечение).Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <0,025 В)диапазона (пониже- Означает, что или сгорел внутренний плавкий предохраниние)/ Under Rangeтель, что или вакуумметр неисправен.

Замените предохранитель согласно руководству вакуумметра и, если ошибка повторится, то следует заменить электронный модуль.ИнициализацияОзначает, что вакуумметр находится в режиме стабилизацииInitialisingтока эмиссии. Этот период длится обычно 5 сек.Таблица 26. Диагностика AIGX4.9.9Широкодиапазонный вакуумметр WRGЗамечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуумметра WRG приведены в руководствe D147-01-885.Широкодиапазонный вакуумметр WRG представляет собой скомбинированный изпреобразователя Пирани и инверсно-магнетронного преобразователя компактныйприбор.

WRG измеряет давление в диапазоне от атмосферного до 110-9 мбар(7,510-10 Торр). Показания WRG зависят от рода газа. Вакуумметр имеет логарифмический – линейный выходной сигнал в диапазоне 2…10 В. Преобразователь Пирани в WRG измеряет давление в диапазоне от атмосферного до 110-3 мбар(7,510-10 Торр), в то время как инверсно-магнетронный преобразователь измеряетдавление в диапазоне 110-2 …110-9 мбар (7,510-3 …7,510-10 Торр).

Выходной сигнал от обоих преобразователей используется для определения давления в диапазоне 110-2 …110-3 мбар (7,510-3 …7,510-4 Торр).При подключении WRG TIC содержит функции меню (см. табл. 27 и рис. 25) в дополнение к приведенным выше (см. табл. 17 раздел 4.9.1).41Функция менюКалибровкаCalibrateОписаниеПозволяет пользователю настроить WRG на атмосферуили вакуум.Подключите WRG к TIC и позвольте ему поработать приатмосферном давлении около 10 минут. Прокруткой установите линию на Калибровке/Calibrate и нажмите кнопкуВыбор.

Команда Command Sent появится в течении 1 секдля подтверждения выполненного действия.WRG автоматически калибрует преобразователь Пиранина вакуум каждый раз, когда давление в системе понижается ниже 110-4 мбар (7,510-5 Торр).Таблица 27. Функции установки WRGРисунок 25. Экран настройки вакуумметра WRGЗамечание: если преобразователь Пирани был заменен (см. руководство WRG),то при определении давления ниже 110-3 мбар (7,510-4 Торр) можетпроизойти сбой. В таком случае требуется ручная калибровка вакуума.Откачайте систему до давления ниже110-5 мбар (7,510-6 Торр) передпроведением калибровки как описано в руководстве вакуумметра WRG.В табл.

28 приведены диагностические сообщения для вакуумметра WRG.ДиагностическоесообщениеВыход за пределыдиапазона (превышение) /Over RangeНет зажиганияNot StrukОписание(Выходной сигнал вакуумметра >10,600 В)Означает, что вакуумметр неисправен и его следует заменить.(Выходной сигнал вакуумметра =1,300 В)Означает, что в магнетронном преобразователе не произошлозажигание разряда.Трубку следует осмотреть на наличие загрязнений: если катоди анод не блестят, то вакуумметр необходимо почистить илизаменить электронный блок (см. руководство вакуумметра).Сгорел поджигатель (Выходной сигнал вакуумметра =1,200 В)Striker FailОзначает, что сгорел поджигающий катод.

Характеристики

Список файлов учебной работы