TIC Turbo&Instr-RUS (1032059), страница 7
Текст из файла (страница 7)
В этом случае, TIC продолжит отображать вакуумметркак неопределенный, а выходной сигнал будет в вольтах.New IDОзначает, что к TIC был подключен новый вакуумметр. Вакуумметр был распознан контроллером, но должен быть подтвержден пользователем, прежде чем TIC позволит вакуумметру работать в системе.Таблица 16. Сообщения о состоянии вакуумметра4.9.3Вакуумметр Пирани серии ACTIVE (APG)Замечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуумметров APG и APGX приведены в соответствующих руководствах(D021-71-885, D023-71-880, D023-93-880)Вакуумметр Пирани (APG) является термопроводным датчиком высокого давления,показания которого зависят от рода газа.
Диапазон измерений APG – M и устойчивой к коррозии версии APG – MP 100…10-3 мбар (75…7,510-4 Торр). Диапазон из33мерений APG – L 10…10-4 мбар (7,5…7,510-5 Торр). Все вакуумметры измеряютдавление до 1000 мбар (750 Торр) с пониженной точностью.Замечание: при давлении выше 600 Торр чувствительность падает, и TIC определяет давление как атмосферное.Замечание: перед использованием APG и, соответственно, периодически следуетпроводить калибровку атмосферы и вакуума согласно указаниям в руководстве по эксплуатации (D021-71-885, D023-71-880, D023-93-880)Установка APG со значениями, принятыми по умолчанию, приведена в разделе выше (4.9.1).Дополнительных функций по установку APG не существует/нет (см. раздел 4.9.1).Характерных диагностических сообщений для APG нет (см. табл.
17).ДиагностическоесообщениеВыход за пределыдиапазона(превышение)Over RangeОписание(Выходной сигнал вакуумметра >11,000 В)Означает, что или измеренное давление газа выходит за пределы диапазона измерения вакуумметра, или что вакуумметрнеисправен.Удалите сообщение об ошибке, понизьте рабочее давлениетехнологического процесса до предела диапазона, «прокрутите» линию на экране, и нажмите кнопку Переключить (Cycle).Если вакуумметр не дает показаний давления, его следуетзаменить.Обычно это происходит с газами с низким молекулярным весом, таким как гелий.Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <1,800 В)диапазонаОзначает, что или есть ошибка в калибровке, или что вакуум(понижение)метр неисправен.Under RangeПроведите калибровку вакуумметра как описано в его руководстве. Если ошибка повторится, замените вакуумметр.Таблица 17.
Диагностические сообщения APG4.9.4Линейный вакуумметр Пирани серии ACTIVE (APGХ)Линейный вакуумметр Пирани (APGХ) является термопроводным датчиком высокогодавления, показания которого зависят от рода газа. Диапазон измерений APGХ – Mи устойчивой к коррозии версии APGХ – MP 100…10-3 мбар (75…7,510-4 Торр). Диапазон измерений APGХ – L 10…10-4 мбар (7,5…7,510-5 Торр). Все вакуумметры измеряют давление до 1000 мбар (750 Торр) с пониженной точностью.Линейный конвекционный вакуумметр (APGХ – Н) является термопроводным и конвекционным датчиком высокого давления, показания которого зависят от рода газа.Диапазон измерений APGХ – Н 1333…310-4 мбар (1000…2,310-4 Торр).
При давлении выше 10 мбар измерения осуществляются методом конвекции, который обеспечивает устойчивую чувствительность и точность на верхнем пределе диапазона измерений.34APG(X) постоянно включены и, следовательно, выдают сигнал как только контроллер распознает их.Установка APGХ со значениями, принятыми по умолчанию, приведена в разделевыше (4.9.1).При подключении APGX TIC содержит функции меню (см. табл.
18) в дополнение кприведенным выше (см. табл. 17).Функция менюКалибровкаCalibrateОписаниеПозволяет пользователю настроить APGX на атмосферуили вакуум.Подключите APGX к TIC и позвольте ему поработать приатмосферном давлении около 10 минут. Прокруткой установите линию на Калибровке/Calibrate и нажмите кнопкуВыбор. Команда Command Sent появится в течении 1 секдля подтверждения выполненного действия.
Понизьтедавление в системе до 110-4 мбар (7,510-5 Торр) или ниже для APGX-M или APGX-MP, или до 110-5 мбар (7,510-6Торр) или ниже для APGX-L или APGX-H.Повторите процедуру настройки как описано выше.Таблица 18. Функции установки APGXРисунок 22. Экран настройки вакуумметра APGXВ вакуумметрах APGX предусмотрена возможность самодиагностики (см. табл. 19).ДиагностическоесообщениеВыход за пределыдиапазона (превышение) / Over RangeВыход за пределыдиапазона (понижение) / Under RangeКатод неисправенFilament FailОписание(Выходной сигнал вакуумметра =9,750В)Означает, что вакуумметр неисправен, и его следует заменить.(Выходной сигнал вакуумметра <0,300 В)Означает, что вакуумметр неисправен, и его следует заменить.(Выходной сигнал вакуумметра =9,500В)Означает, что катод вакуумметра разрушен.
Вакуумметр следует заменить.35Ошибка калибровкиCal Error(Выходной сигнал вакуумметра =9,500В)Означает, что вакуумметр не соответствует калибровке.Это может произойти из-за того, что выбран другой род газа,что нажатие кнопки настройки вакуума и атмосферы произошло в середине диапазона измерений, или что вакуумметрзагрязнен.Вакуумметр следует перенастроить (см. табл. 18).Если ошибка повторится, замените вакуумметр.Нет измерительной (Выходной сигнал вакуумметра =9,700В)трубкиОзначает, что сменная измерительная трубка вакуумметраNo Tubeотсутствует или некорректно установлена.
Проверьте трубку иубедитесь, что 2 фиксирующих винта надежно закреплены.Замечание: только для APGX – H.Таблица 19. Встроенная самодиагностика APGXЗамечание: в выходных сигналах вакуумметра (табл. 19) может присутствовать отклонение +/- 50 мВ.4.9.5Управление термопарным вакуумметром серии ACTIVE АТС-ЕЗамечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуумметра АТС-Е приведены в руководстве D351-08-880.Термопарный вакуумметр AТС– Е является недорогим термопроводным датчикомвысокого давления, показания которого зависят от рода газа. Электронный модульАТС – Е совместим с двумя типами измерительных трубок для термопарных вакуумметров, что дает широкий диапазон измерений (см.
табл. 20).ИзмерительнаятрубкаАТС – DАТС – МНомер по каталогуD355-12-000D355-13-000Диапазон измерения давления65…6,510-2мбар (50…510-2 Торр)1,3…1,310-3мбар (1…110-3 Торр)Таблица 20. Измерительные трубки вакуумметров ATC – D и АТС – МПеред подключением к TIC вакуумметр АТС – Е должен быть настроен на тип используемой измерительной трубки (АТС – D и АТС – М). Это делается путем выборацвета трубки с двухпозиционным переключателем.Замечание: при давлении выше 600 Торр чувствительность АТС – D падает, иTIC определяет давление как атмосферное. АТС – М не отображаетдавление выше 4,2 мбар.Замечание: для адекватных показаний давления, переключатель на АТС – Е должен быть корректно установлен.Установка АТС – Е со значениями, принятыми по умолчанию, приведена в разделевыше (4.9.1).В табл. 21 приведены диагностические сообщения для вакуумметра АТС –Е.36ДиагностическоесообщениеВыход за пределыдиапазонаПревышениеOver RangeОписание(Выходной сигнал вакуумметра >11,000 В)Означает, что или измеренное давление газа выходит за пределы диапазона измерения вакуумметра, или что вакуумметрнеисправен.Удалите сообщение об ошибке, понизьте рабочее давлениетехнологического процесса до предела диапазона, «прокрутите» линию на экране, и нажмите кнопку Переключить (Cycle).Если вакуумметр не дает показаний давления, его следуетзаменить.Обычно это происходит с газами с низким молекулярным весом, таким как гелий.Выход за пределы (Выходной сигнал вакуумметра <1,500 В)диапазона (пониже- Означает, что вакуумметр неисправен и его необходимо зание) / Under Rangeменить.Таблица 21.
Диагностика AТС – Е4.9.6Управление деформационным вакуумметром серии ACTIVE АSGЗамечание: подробные характеристики и инструкции по использованию вакуумметра АSG приведены в руководстве D357-25-880.Деформационный вакуумметр ASG является диафрагменным датчиком, показаниякоторого не зависят от рода газа. Существуют два вакуумметра с полной шкалой2000…1000 мбар (1500…750 Торр) соответственно. Оба вакуумметра измеряютдавление от 1 мбар (0,75 Торр), имеют линейную относительно давления характеристику и выходное напряжение, прямо пропорциональное давлению.
Выходнойсигнал составляет 0..10 В по диапазону измерения вакуумметра.При подключении ASG TIC содержит функции меню (см. табл. 22 и рис. 23) в дополнение к приведенным выше (см. табл. 17 в разделе 4.9.1).Функция менюДиапазон измеренийRangeУстановка нуляSet ZeroЭкранDisplayОписаниеОпределяет диапазон измерения вакуумметра.
Выбор:1000 или 2000.Позволяет пользователю установить нуль вакуумметра.Понизьте давление в системе до 210-2 мбар (1,510-2Торр) или ниже для 2000 мбар (1500 Торр) ASG, или до110-2 мбар (7,510-3 Торр) или ниже для 1000 мбар (750Торр) ASG.Установите линию на Set Zero и нажмите кнопку Выбор.Команда Command Sent появится в течении 1 сек дляподтверждения выполненного действия.Определяет функции отображения давления.Выбор: Float (мантисса и экспонент)Fixed (число и 1 десятичный разряд)Таблица 22. Функции установки ASG37Рисунок 23. Экран настройки вакуумметра ASGВ табл. 23 приведены диагностические сообщения для вакуумметра АSG.ДиагностическоесообщениеВыход за пределыдиапазонаПревышениеOver RangeПотеря нуляASG Cant ZeroОписание(Выходной сигнал вакуумметра >11,000 В)Означает, что или измеренное давление газа выходит за пределы диапазона измерения вакуумметра, или что вакуумметрнеисправен.Удалите сообщение об ошибке, понизьте рабочее давлениетехнологического процесса до предела диапазона, «прокрутите» линию на экране, и нажмите кнопку Переключить (Cycle).Если вакуумметр не дает показаний давления, его следуетзаменить.Означает, что выходной сигнал вакуумметра выходит из диапазона –100 мВ…+100 мВ.Подобные ошибки происходят из-за попытки настроить нульвакуумметра при высоком давлении или из-за неисправностивакуумметра.














