EXT75_DX-RUS (1032058), страница 12
Текст из файла (страница 12)
В целях охраны окружающей среды сведите утечку моющих растворов и растворителей к минимуму.
-
Поиск неисправностей
В таблице 21 приводятся список возможных неисправностей и рекомендуемых действий по их устранению.
Таблица 21. Возможные неисправности и способы их устранения
| Неисправность | Возможная причина | Способ исправления |
| встроенный блок управления не мигает в течение 0,5 сек при включении системы | Проблемы в подаче питания? | Проверьте, что питание включено и предохранители (устройства ограничения тока) не перегорели. |
| Насос не вращается после запуска START в параллельном режиме . | Проверьте подачу питания и/или выходной сигнал неисправности Fail включен | Если есть сигнал неисправности, проверьте, мигает ли желтый индикатор. Если да, то см. раздел 5.4.1. Если питание включено, нет сигнала неисправности Fail, а ротор все еще не вращается, то насос неисправен. |
| Насос не вращается после команды запуска START в последовательном режиме | Проверьте, ответил ли насос на команду запуска Start | Если нет ответа, проверьте соединение последовательного интерфейса и что соединение Serial Enable включено, и питание включено. Проверьте, мигает ли желтый индикатор. Если да, то см. раздел 5.4.1. |
| Насос не отвечает в многокомпонентном режиме работы | Проверьте, что многокомпонентный режим включен | Проверьте, что насос имеет адрес для многокомпонентного режима, а команды используют протокол сообщений для многокомпонентного режима. |
| Желтый индикатор мигает с кодом ошибки | Обратите внимание на положение длинной вспышки в серии из 6 вспышек для понимания кода ошибки | См. раздел 5.4.1 и следуйте приведенным там советам. |
| Зеленый индикатор работы Normal не горит, или насос не вращается на полной скорости или перестает работать | Входное давление слишком высоко? | Если да, то понизьте давление, или проверьте, отсутствуют ли течи в системе. |
| Насос перегрелся? | Увеличьте поток охлаждающей воды или понизьте ее температуру, или выполните оба действия. Возможно, Вам придется заменить воздушное охлаждение на водяное (см. раздел 2 для максимального входного давления и условий охлаждения). Проверьте внутренние источники тепла, такие как нагреватели системы прогрева. | |
| Включен режим холостого хода? | Если скорость холостого хода установлена ниже рабочей скорости, индикатор не будет гореть при работе со скоростью холостого хода. Пошлите команду для работы насоса на полной скорости и проверьте, горит ли индикатор работы. | |
| Ротор насоса свободно вращается? | Если нет, то разрушились подшипники. Обратитесь к поставщику или к ВОС Edwards. | |
| Вы не можете достичь предельного давления | Давление ограничено парами воды? | Прогрейте систему и насос ЕХТ. |
| Загрязнились вакуумметры? | Если да, то замените или почистите их. | |
| Достаточна ли скорость откачки (возможно у Вас большая камера или недостаточная проводимость между насоса и вакуумметром)? | Увеличьте проводимость или уменьшите объем. | |
| Давление на промежуточном порту | Если давление на промежуточном порту слишком высокое, то входное давление на входе в турбомолекулярной части насоса падает: проверьте, что давление на промежуточном порту менее 0,5 мбар (50 Па). | |
| Выпускное давление >10 мбар (1000 Па)? | Если да, то оно может быть слишком высоким. Проверьте на герметичность форвакуумный трубопровод. Если производительность высокая, то, возможно, Вам нужен больший форвакуумный насос. | |
| Высоковакуумная часть системы загрязнена? | Если да, то прочистите высоковакуумную систему. | |
| Проверьте систему на наличие загрязнение и течей. | Если Вы обнаружите их, то прочистите систему и заделайте течи. | |
| Снимите насос и проверьте предельное давление одного насоса (характеристики указаны в разделе 2) | Если мало, проверьте насос на наличие загрязнений и, если необходимо, прочистите его как описано в разделе 5.3. проверьте насос на герметичность. Если уровень течи >110-7 мбар л/с (>110-5 Па л/с), обратитесь к поставщику или в ВОСE. | |
| Насос очень шумит или сильно вибрирует, или оба фактора вместе | Если скорость вращения насоса соответствует резонансной частоте присоединенной системы? | Если да, то измените собственную частоту вашей системы или изолируйте насос, используя гибкий сильфон. |
| Вибрация передается от форвакуумного насоса? | Если да, то установите гибкий сильфон или виброизоляцию в форвакуумный трубопровод. | |
| Шум нерегулярный и возрастающий? | Если да, то подшипники неисправны. Обратитесь к поставщику или к ВОСE. | |
| Насос производит высокочастотный шум? | Если да, то ротор несбалансирован. Обратитесь к поставщику или к ВОСЕ. | |
| Ничего из вышеперечисленного | --- | Обратитесь к поставщику или к ВОСЕ. |
Таблица 21. Возможные неисправности и способы их устранения
-
Мигающие коды ошибок
При наступлении состояния неисправности стандартное мигание индикатора состояния (1/оборот) заменяется мигающим кодом ошибок, отражающим все действующие состояния неисправностей. Мигающие коды ошибок приведены в табл. 22.
Между каждым циклом повторения сигнала ошибки есть перерыв, чтобы обозначить начало нового цикла вспышек. Длительность длинной вспышки L равна длительности трех коротких вспышек s.
Таблица 22. Мигающие коды ошибок
| Позиция мигающей ошибки | Код | Комментарий | Действие |
| 0 | ssssss | Скорость упала ниже 50% от полной скорости вращения, Таймер отключен | Проверьте, не перегрелся ли насос и не высокое ли входное давление |
| 1 | Lsssss | Ошибка внутреннего программного обеспечения встроенного блока управления | Выключите и включите насос и посмотрите, появляется ли эта ошибка снова. Если да, то обратитесь в ВОСЕ или к поставщику. |
| 2 | sLssss | встроенный блок управления не выполняет внутренней настройки или функции калибровки | Выключите и включите насос и посмотрите, появляется ли эта ошибка снова. Если да, то обратитесь в ВОСЕ или к поставщику. |
| 3 | ssLsss | Неисправность при достижении 50% от полной скорости вращения для установленного значения таймера | Проверьте, не перегрелся ли насос и не высокое ли входное давление |
| 4 | sssLss | Превышение скорости или потребляемого тока | Выключите и включите насос и посмотрите, появляется ли эта ошибка снова. Если да, то обратитесь в ВОСЕ или к поставщику. |
| 5 | ssssLs | Средства внутренних измерений насоса отключены или повреждены | Выключите и включите насос и посмотрите, появляется ли эта ошибка снова. Если да, то обратитесь в ВОСЕ или к поставщику. |
| 6 | sssssL | Последовательный интерфейс отключается при подаче команды запуска Start через него. | Заново подключите последовательный интерфейс, пошлите команду остановки через последовательный интерфейс для удаления кода ошибки |
Таблица 22. Мигающие коды ошибок
-
Декодировка слов состояния системы
Если вы используете порт последовательного соединения, Вы можете получить доступ к информации, которая будет полезна при поиске неисправностей. Когда Вы посылаете запрос на наблюдение за скоростью вращения двигателя, Вы так же получите Слово состояния системы.
Нужно послать команду:
Получите ответ, в котором первое число соответствует скорости вращения насоса об/сек (Гц)
Слово состояния системы состоит из 8 шестнадцатеричных цифр. Чтобы декодировть это слово, Вы должны перевести каждую цифру в 4х-значный двоичное число (см. табл. 17). Например:
| Шестнадцатеричные | Двоичные | Десятичные |
| 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 A B C D E F | 0000 0001 0010 0011 0100 0101 0110 0111 1000 1001 1010 1011 1100 1101 1110 1111 | 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 |
Таблица 23. таблица перевода
Каждое двоичное число (бит) соответствует метке (флагу), который или активный (состояние 1) или неактивный (состояние 0). Для помощи в декодировке Слова состояния системы каждый бит имеет номер (от 0 для менее значимых до 31 для наиболее значимых) как показано ниже.
В табл. 24 содержится перечень 16 состояний меток-флагов, которые удобно использовать при поиске неисправности. Остальные 16 зарезервированы ВОСЕ.
Двоичные числа
Номера битов
| Номер бита | Состояние флага | Значение активного флага |
| 0 | Неисправность Fail | Активное условие состояния неисправности |
| 1 | Останавливаемая Скорость Stopped Speed | Ниже скорости остановки |
| 2 | Рабочая скорость Normal Speed | Выше рабочей скорости |
| 3 | Клапан напуска закрыт Vent Valve closed | Клапан напуска под напряжением |
| 4 | Запуск Start | Подана команда запуска |
| 5 | Последовательное соединение Serial Enable | Последовательное соединение активно/включено/ |
| 6 | Холостой ход Standby | Включен режим холостого хода |
| 7 | Половина полной скорости half full speed | Выше 50% полной скорости вращения |
| 8 | Режим параллельного управления | Выбран режим управления |
| 9 | Режим последовательного управления | Выбран режим управления |
| 10 | Неверное программное обеспечение встроенного блока управления | Ошибки программного обеспечения встроенного блока управления |
| 11 | встроенный блок управления не загружен | встроенный блок управления не выполняет внутренней настройки или функции калибровки |
| 12 | Время по Таймеру закончилось | Неисправность при достижении 50% от полной скорости вращения для установленного значения таймера |
| 13 | Неисправность аппаратных средств | Превышение скорости или потребляемого тока |
| 14 | Ошибка терморезистора | Средства внутренних измерений насоса отключены или повреждены |
| 15 | Последовательный порт заблокирован | Последовательный интерфейс отключается при подаче команды запуска Start через него. |
Таблица 24. Состояния меток-флагов
Слово состояния системы, используемое в примере выше, получено при отдыхе насоса. Декодировав слово, мы может изучить состояние насоса (см. табл. 25).
| Номер бита | Состояние бита (в примере) | Значение активного флага |
| 0 | 0 | Насос в порядке (нет неисправностей) |
| 1 | 1 | Насос отдыхает |
| 2 | 0 | Скорость ниже рабочей скорости |
| 3 | 0 | Клапан напуска открыт |
| 4 | 0 | Команда запуска не активна |
| 5 | 1 | Последовательное соединение активно |
| 6 | 0 | Режим Холостого хода не активен |
| 7 | 0 | Скорость ниже 50% от полной скорости |
| 8 | 0 | Насос не в параллельном режиме управления |
| 9 | 0 | Насос не в последовательном режиме управления |
| 10 | 0 | Во встроенном блоке управления нет ошибок во внутренней программе |
| 11 | 0 | встроенный блок управления выполнил внутренние настройки и функцию калибровки |
| 12 | 0 | Время Таймера не закончилось |
| 13 | 0 | Состояния превышения скорости или тока не активны |
| 14 | 0 | Средства внутренних измерений насоса в порядке |
| 15 | 0 | Последовательный интерфейс не отключается при подаче команд. |
Таблица 25. Пример декодировки Слова состояния системы
-
Информация по обслуживанию
Если вы используете порт последовательного соединения, Вы можете получить доступ к такой информации о насосе, как тип насоса, номер версии программного обеспечения модуля Podule. Эта информация полезна для обслуживающего персонала дл определения модели Вашего насоса
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
