EXT75_DX-RUS (1032058), страница 13

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 13)

Для определения типа насоса пошлите следующий запрос:

Вы получите следующий ответ, где String 1 – тип насоса, String 2 – номер версии программного обеспечения DSP, String 3 – указанная полная скорость насоса (об/сек):

Для определения версии программного обеспечения PIC пошлите следующий запрос:

Вы получите следующий ответ, где String 1 –номер версии программного обеспечения PIC:

6 ХРАНЕНИЕ И УТИЛИЗАЦИЯ

6.1 Хранение

При хранении насоса соблюдайте следующие процедуры:

1. Восстановите защитную упаковку входного и выходного фланцев, промежуточного порта, портов напуска и продувки.

1. Упакуйте насос в его защитную упаковку. Для быстрой откачки при отправке насоса на техническое обслуживание, уплотните насос внутри пластикового пакета вместе с подходящим осушителем.

1. Храните в чистом сухом месте до момента использования. Соблюдайте диапазон температуры хранения, указанный в разделе 2 (табл. 11). При необходимости установите согласно рекомендациям в разделе 3.

1. Держите насос в правильном положении для предотвращения вытекания масла из резервуаров подшипников.

1. По возможности избегайте длительного хранения. При длительном хранении необходимо доставать и запускать насос каждые 6 месяцев.

6.2 Утилизация

Утилизируйте насос DX и его принадлежности в соответствии с национальными требованиями по защите окружающей среды.

Следует уделить особое внимание всем компонентам насоса, которые могли получить загрязнения при работе с опасными веществами.

Примите соответствующие меры, чтобы не вдыхать пары из насоса.

Не сжигайте насос. B нем содержатся фторэластомеры: которые при нагревании могут разлагаться на опасные продукты распада.

7 ЗАПЧАСТИ И ПРИНАДЛЕЖНОСТИ

7.1 Введение

При заказе, пожалуйста, учтите, что при обращении требуются:

• модель, наименование оборудования, номер изделия или запасных частей

• серийный номер (если есть)

7.2 Сервис

Компания Erwards создала всемирную сеть Сервисных Центров для поддержки своей продукции. Каждый Сервисный Центр предлагает широкий диапазон услуг, включая: очистку оборудования, обмен оборудования, ремонт, модернизация, капремонт и тестирование в соответствии с требованиями промышленности. Оборудование, прошедшее ремонт, модернизацию или обслуживание возвращается с полной гарантией.

Инженеры Сервисных Центров могут приехать к Вам и на месте произвести ремонт или техническое обслуживание Вашего оборудования.

Для получения большей информации об услугах, пожалуйста, обратитесь в Сервисный Центр или представительство компании Edwards.

7.2.1 Возврат насоса на обслуживание

При возврате насоса в Сервисный Центр ВОС Edwards, пожалуйста, используйте процедуру возврата, расположенную в конце данного руководства. Однако, требования по сливу всех жидкостей не относится к смазке в масляных резервуарах насоса. Не возвращайте насос с установленными принадлежностями. Снимите их и храните для дальнейшего использования.

Если Вы настроили насос для Вашего технологического процесса, то проверьте, что Вы записали настройки (конфигурацию) перед возвратом насоса. Все насосы будут возвращены с начальными (заводскими) установками. Монитор программ TIC/DX PC позволит Вам автоматически записать и сохранить Ваши настройки перед возвратом насоса. Программа может так же использоваться для упрощения перепрограммирования Вашего возвращенного оборудования на Ваши установки.

7.3 Запасные части

1. Экран входного отверстия ISX

Входной экран устанавливается на насос для предотвращения разрушения насоса от попадания пыли и осколков. Ниже приводятся номера изделий сменных входных экранов. Выберите входной экран в соответствии с размеров входного фланца насоса. Вы не можете заменить входной экран на насосе с NW фланцем.

1. Входной фильтр (только для ЕХТ75iDX и ЕХТ255iDX)

Насосу требуется входной фильтр для установки на промежуточный порт. Ниже приводятся номера изделий сменных фильтров.

1. Уплотнения входного фланца

Насосы поставляются с входным уплотнением. Ниже приводятся номера изделий сменных уплотнений.

7.4 Принадлежности

1. виброизоляция

2. входное уплотнение (поставляется)

3. насос DX

4. клапан напуска TAV

5. адаптер порта напуска

6. дроссель напуска VRX

7. ручной клапан напуска (поставляется)

8. заглушка порта продувки(поставляется

9. адаптер порта продувки

10. дроссель продувки PRX

11. входной фильтр (поставляется)*

12. промежуточный порт*

13. модуль Podule

14. разъем модуля Podule

15. водяное охлаждение WRX

16. вентилятор ACX

17. прогревающий обод ВХ

18. входной экран (установлен)*

* только для EXT75iDX

Рисунок 12. Установка дополнительных принадлежностей

1. Установка

Принадлежности, необходимые для установки турбомолекулярного насоса ЕХТ, описаны в следующем разделе. На рис.12 показано, как нужно установить их на насос.

1. Вентилятор АСХ

Вы можете присоединить вентилятор АСХ к насосу ЕХТ. Пожалуйста, изучите раздел 3 для того, чтобы подобрать вентилятор, подходящий для Вашего насоса.

1. Система водяного охлаждения WCX

Система водяного охлаждения устанавливается на насос дополнительно. Требования к источнику охлаждающей воды приведены в разделе 2.5.

1. Прогревающий обод ВХ

Прогревающий обод ВХ ускоряет процесс дегазации насоса, что позволяет достичь более низкое предельное давление. Он может так же использоваться для защиты насоса от конденсации загрязнений. Питание прогревающего обода можно подключить к разъему на задней панели контроллера. Доступен для насосов с напряжением 110-120 В или 220-240 В.

1. Клапан напуска TAV и адаптер порта напуска

Для напуска газа поставляются два электромагнитных клапана. Клапаны питаются от 24 В, нормально открытые и могут автоматически управляться модулем podule. Электромагнитный клапан устанавливается вместо ручного клапана или с помощью адаптера (поставляемого вместе с клапаном) может быть установлен на любой фланец NW10 Вашей вакуумной системы.

1. Дроссель напуска VRX

Для ограничения потока газа, напускаемого в насос ЕХТ, используйте дроссель напуска VRX с калиброванным отверстием. Вы можете присоединить дроссель напуска на вход клапанов TAV5 или TAV6 или к дросселю продувки PRX10 (см. раздел 3.8.2 для правильного выбора дросселя напуска VRX).

1. Адаптер порта напуска

Адаптер порта напуска имеет 1/8 дюйма разъем, который можно присоединить к порту напуска (или к порту продувки) чтобы сделать его подходящим к фланцу NW10 .

1. Дроссель продувки PRX

Дроссель продувки PRX представляет собой центрирующее кольцо для фланца DN10NW снабженное фильтром и ограничивающее проходящий поток до 25 sccm. Для установки дроссель продувки на порт продувки вначале нужно установить адаптер порта напуска.

1. Виброизолятор

В тех случаях, когда даже незначительные вибрации, вызываемые турбомолекулярным насосом, неприемлемы, для их снижения используйте виброизолятор. Виброизолятор состоит из двух фланцев, соединенным сильфоном в резиновой противовибрационной оболочке. Выберите виброизолятор в зависимости от типоразмера входного фланца.

Замечание: виброизоляторы разработаны только для вертикальной установки насоса.

1. Ловушка форвакуумная FL20K

Форвакуумная ловушка минимизирует обратный поток паров масла из форвакуумного насоса и рекомендуется для систем с повышенными требованиями к чистоте.

1. Разъем модуля Podule

Разъем можно установить на насос DX для управления работой клапаном напуска TAV или вентилятором АСХ

1. Контроллеры TIC

Существует 3 различных типа контроллеров: контроллер измерительных приборов IC (только для работы с датчиками, а не для работы с турбонасосами EXT или форвакуумными), контроллер турбонасосов TC (только для управления 24В турбонасосами EXT и форвакуумными) и контроллер TIC (для работы 24 В с турбонасосами EXT, форвакуумным и 3 (максимум) датчиками – вакуумметрами).

1. Программа для работы с контроллером TIC РС

Представляет собой часть программы, входящей в комплект поставки контроллера TIC и может использоваться для установки параметров насоса.

Характеристики

Список файлов учебной работы