Шишкин Г.Г., Шишкин А.Г. - Электроника (1006496), страница 5
Текст из файла (страница 5)
При наличии электрического поля равноускоренное движение носителей происходит только в промежуткахмежду столкновениями. После каждого столкновения свободнаячастица начинает заново ускоряться. При рассеянии изменяютсяэнергия и направление движения носителей, что сопровождаетсявозбуждением или поглощением фононов.
Средняя скорость упорядоченного движения электронов и дырок, направленная вдольэлектрического поля, которая называется дрейфовой скоростью(vдр), пропорциональна напряженности электрического поля6:(1.11)Коэффициент пропорциональностиростьюvдрµмежду дрейфовой скои напряженностью электрического поля{5 называет-2ся подвижностью и имеет размерность м /(В ·с).Из-за различия эффективных масс электронов тп и дырок тРих подвижности могут сильно различаться.
Так,например,в кремнии подвижность электронов почти в три раза больше подвижности дырок. При большей подвижности носителей будетвыше быстродействие полупроводниковых приборов. Подвижность носителей в полупроводниках зависит от многих факторов,важнейшими из которых являются температура, концентрацияпримесей, а также и напряженность электрического поля. Зависимость подвижности от температуры Т определяется рассеяниемносителей на узлах кристаллической решетки и на ионах примеси. При рассеянии на ионах примеси температурная зависимостьподвижности имеет видµион= µО ион(То/Т) 3 ! 2 •(1.12)Если преобладает рассеяние на атомах решетки, то(1.13)В формулах(1.12)и(1.13)значения Т0 -некоторые начальные (исходные) температур.ы, при которых подвижность равнаµ0 •Показатель степени «а» зависит от материала и типа проводимости; так, для кремния п-типа (р-типа) а= 2,42 (а= 2,2); соответственно дляGa As а=1(а=2,1).Раздел241.ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫПри учете обоих из указанных выше процессов рассеяния носителей выражение дл.я подвижности имеет следующий вид:(1/µ) = (1/µион)+ (1/µреш)•(1.14)Рассеяние носителей на тепловых колебаниях кристаллическойрешеткиполупроводника восновном доминируетприсравнительно высоких температурах и малых концентрацияхпримеси.
При больших температурах из-за возрастания амплитуды тепловых колебаний атомов решетки увеличиваете.я частота столкновений с ними носителей заряда, что приводит к более интенсивному их рассеянию. Таким образом, с ростом температуры подвижность носителей уменьшается вследствие ихрассеяния на тепловых колебаниях решетки.Рассеяние носителей на ионах примеси превалирует при низких температурах и высоких концентрациях примеси. Еслитемпература мала, то тепловая скорость электрона также невелика, поэтому при движении относительно иона примеси траектория электрона сильно изменяете.я случайным образом, что исоответствует б6льшему рассеянию. С ростом температуры из-заувеличения скорости электронов время их кулоновского взаимодействия с ионами примеси уменьшаете.я, что приводит кменьшему рассеянию носителей.
Итак, при рассеянии на ионахпримеси подвижность носителей растет с увеличением температуры в соответствии с зависимостью µион ~ тз1 2 •При постоянной температуре результирующая подвижность носителей существенно зависит от конµ,центрации примеси. Если она мала,см 2 /(В·с)то,как отмечалось выше,основнуюроль, как и в беспримесных полупроводниках, играет рассеяние на тепловых колебаниях решетки (фононах),1200при этом подвижность имеет максимальное значение. С ростом концент800рациипримесиNначинаетпреобладать рассеяние на ионах при400:м:еси, вследствие чего подвижностьносителей уменьшаете.я (рис.где µп, µРо~-~~~~~~-~101310151011Puc.
1.5N,~;м-3-1.5),соответственно подвижности электронов и дырок.Зависимость подвижности от напряженностиэлектрическогопо-Глава 1. Физика полупроводников25ля носит неоднозначный характер. В слабых электрических полях, когда напряженность поля G<103 ••• 104 В/ см,дрейфовая скорость оказывается много меньше тепловой скорости электронов.При этом поле не оказывает существенного влияния на рассеяниеносителей, подвижностьµне зависит от величины{;, и дрейфовая(1.11), линейно возрастаетс ростом напряженности поля G(рис.
1.6).В сильных электрических полях({;~ 104 ••• 105 В/см) скоростьскорость vдР' в соответствии с формулойдрейфа носителей приближается к средней тепловой скорости, асредняя энергия направленного движения электронов становится достаточной для увеличения амплитуды колебаний атомов вузлах кристаллической решетки полупроводника, что приводитк увеличению частоты столкновений и, соответственно, к интенсификации процесса рассеяния носителей. В результате с ростомGподвижность носителей падает при rюстоянстве дрейфовой скорости (см. рис.1.6).В арсениде галлия зависимость подвижност:Jfболее сложная по сравнению сSi и Ge,что связано с особенностями зоны проводимости. Эти особенности анализируются в последующих главах при рассмотрении процессов в некоторых типахоптоэлектронных приборов и лазеров, а также диодов Ганна.Зная особенности поведения подвижности и концентрации взависимости от различных физических и электрофизическихусловий,можно проанализировать такой важный параметр,G>As-....._~........_~./10 7~/~/~/./ .///.
/ ,J106.////-"--,.,,//-/./~-/~-" -------~/,--,,,.'___ "-""./~-7/"~/""---._ ///10 5,,,.,,,,..~-~.....--- ----........_~/~/,------"Si-Ge, /"v102Электроны---/104103Рис.1.6Дырки10 5{;,В/смРаздел 1. ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫ26как электропроводность полупроводников. Согласно обобщенному закону Ома плотность дрейфового тока j дР' протекающего через среду, напряженность поля б и удельная электрическая проводимость средыcrсвязаны соотношением jдР= crf;.Плотностьдрейфового тока в зависимости от концентрации носителей за -ряда и их дрейфовой скорости vдР равна jдРряд частицы,N -=qNvдP' где q -законцен:грация частиц определенного вида.Для электроновN =п, а для дырокN = р.При наличии в полупроводнике зарядов обоего вида плотность тока будет определяться суммой токов положительных и отрицательных зарядов, т.
е.jдР= q(nvдp, п + рvдр,р),где vдр, n' vдр,р -соответственно дрейфовая скорость электронови дырок. Из этого соотношения и обобщенного закона Ома с учетом формулы(1.1) следует,что удельную электрическую проводимость полупроводников можно записать в следующем виде:(1.15)Зная температурные характеристики концентрации и подвижности свободных носителей, можно объяснить экспериментальcr от температуры.
Для примесных полупроводGe и Si эти зависимости приведены натемпературах Т > Т макс электропроводность опреную зависимостьников п-типа на основерис.1. 7.Приделяется произведением концентрации и подвижности собственных носителей, причем .с ростом Т подвижность носителейТ;а, См/см600 400 200 100 5050о0С-10010 210 1110- 110-2о24Рис.1. 71000/Т, к- 1Главауменьшаете.я,а1.27Физика полупроводниковконцентрацияэкспоненциальновозрастает.Уменьшение подвижности µ(Т) в этой области изменения температуры гораздо слабее, чем рост концентрации п(Т). В резу.Льтате при Т>Тмакс электропроводность полупроводника растет сувеличением температуры, и в полулогарифмическом масштабефункцияcr = f(l/T) .являете.я практически линейной с тангенсомtg Р ~ ЛЕ 3 • При температурах Т < Тмакс концентрасобственных носителей мала (п; « Nд, Na) и проводимостьугла наклонацияопределяете.я в основном концентрацией примесных носителей.Так, например, в донорном полупроводнике при температурах, характерных дл.я области работы большинства полупроводниковых приборов, когда все атомы примеси ионизованы,удельная электропроводность равнаqпµп"" qNдµп.cr =На этом участке изменения функцииcr=f(l/T)(см.
рис.1. 7)незначительное уменьшение электропроводности примесных полупроводников с ростом температуры связано лишь с уменьшением. подвижности носителей при их практически неизменнойконцентрации.ВGeзависимость подвижности носителей от температурыслабее, чем врирует рис.Si,1. 7,а величинаµ вразличных концентраций1.4.Ge больше,чем вSi. Это иллюстcr = f(l/T) дл.я двухпримеси Nд в Si и Ge.где показаны зависимостиЗаконы движения носителей заряда в полупроводникахНаправленное движение носителей заряда в полупроводниках вызвано двум.я причинами: диффузией и дрейфом под действием электрического пол.я.
Диффузия происходит· из-за градиентаконцентрациизарядов,а наличие градиента потенциалавызывает дрейф носителей (см. п.1.3)в направлении векторанапряженности электрического пол.я или против него, в зависимости от знака заряда. Наличие двух типов носителей приводитк тому, что полный ток состоит из четырех составляющих:(1.16)Здесьс.яте.яj - плотность полного тока, а индексы « n» и «р» относоответственнокэлектроннымидырочнымсоставляющим плотности диффузионного и дрейфовоrо токов jдиФ и jдр·Дл.я простоты рассмотрим одномерный случай, т.
е. будемсчитать, что движение носителей заряда происходит толькоРаздел281.ПОЛУПРОВОДНИКОВЫЕ ПРИБОРЫвдоль оси х, тогда с учетом их знаков можно записать следующие выражения:(jп)др= qnµnf; = -qnµn(dq>/dx),(1.17)(jР)дР= qpµPf; = -qpµp(dq>/dx),(1.18)(jп)диф.=dnqµnq>Tdx.)(lpдиф=dp-qµpq>Tdxгде <~>т=kTq-dnqDndx'==(1.19)D dp-q Pdx'(1.20)1-тепловой потенциал,стоянная Больцмана,Dnиk=1,38 • l0- 23 Дж/К-по-коэффициенты диффузии электDP -ронов и дырок соответственно. КоэффициентыDnиDPаналогичны по своей роли подвижностям µп и µР при дрейфовом механизме движения.