Лекция №9 Газовые системы и компоненты (Курс лекций по ВСТО)

Системы подачи газа и ихкомпонентыВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №9Системы подачи газаНабор компонентов для дозированного ввода газа(или смеси газов):В рабочую камеру для обеспечениятехнологического процессаВ форвакуумные или турбомолекулярные насосыдля продувкиВ криогенные насосы для ускорения процессарегенерацииДля разгерметизации камер и других элементовКомпоненты систем подачи газа.Газовые баллоныГазовый баллон – сосуддля хранения газа. Наиболеераспространённыеобъёмы: 1, 5, 10, 40,50 л Стандартноедавление: 150 атм.Компоненты систем подачи газа.Генераторы газовГенераторы газовпредназначены дляполучения ряда газовиз воздуха Кислород Водород АзотКомпоненты систем подачи газа.Редукторы баллонныеБаллонный редуктор – устройство дляпонижения (редуцирования) давления.Компоненты систем подачи газа.Редукторы баллонныеКомпоненты систем подачи газа.Регулятор давленияРегулятор давления –устройство дляустановления истабилизациидавленияКомпоненты систем подачи газа.ФильтрыФильтр – устройстводля повышениячистоты и газа. Механические КаталитическиеКомпоненты систем подачи газа.НатекателиНатекатель –устройство длядозированнойподачи газа (какправило в формфакторе клапана). Игольчатые КлапаныпропорциональногонапускаКомпоненты систем подачи газа.Регулятор расхода газа (РРГ)РРГ – устройство длядозированнойподачи заданногопотока газа (собратной связью) Тепловые КориолисовыеКомпоненты систем подачи газа.СкрубберыСкруббер – устройство(система) длянейтрализацииопасных газовГазовые панелиГазовые шкафы (кабинеты)Типы газов Технические газы 99,5% Чистые газы 99,999% Особочистые газы 99,9999%Типы соединений Неопределённого типа С резиновыми уплотнениями С металлическими уплотнениямиПример газовой системы установкиМВТУ-11-1.