Лекция №6 (Курс лекций по ВСТО)

Вакуумные системы высокоговакуумаВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №5Системы высокого вакуума (до 10-4 Па)В данных системах используется нескольконасосов разных типов (форвакуумные ивысоковакуумные). Осаждение тонких плёнок в вакууме (10…10-5 Па) Ионная очистка и травление (10-1…10-3 Па) Эпитаксия (10-2…10-4 Па) Ионная имплантация (10-3…10-4 Па) Электронная, ионная и рентгеновскаялитография (10-3…10-4 Па) Диффузионная сварка (10-2…10-4 Па) Электронно-лучевая сварка (10-3…10-4 Па) Лазерное легирование (10-3…10-4 Па)Получение высокого вакуума:общая схема Камера вакуумная CV1 Насос форвакуумный NI1 Насос высоковакуумный N2 Диффузионный Турбомолекулярный КриогенныйПолучение высокого вакуума:диффузионный насосМасляный вакуумПолучение высокого вакуума:диффузионный насосУсловно безмасляный вакуумДиффузионные насосыПолучение высокого вакуума:криогенный насос(Условно)безмасляный вакуумКриогенные насосыКриогенные насосыПолучение высокого вакуума:турбомолекулярный насос(Условно)безмасляный вакуумТурбомолекулярные насосы сподшипниковыми опорамиТурбомолекулярные насосы смагнитным подвесом ротораПолучение высокого вакуума:турбомолекулярный насосБезбайпасная система откачкиПолучение высокого вакуума:турбомолекулярный насосВакуумные откачные постыВысоковакуумные откачные постыПолучение высокого вакуума:гибридные молекулярные насосыБезбайпасная система откачкиГибридные молекулярные насосыИзмерение вакуума Камера вакуумная CV1 Насос форвакуумный NI1 Насос высоковакуумный N2 Датчик вакуума PT1, PT2 Емкостной Термопарный Сопротивления (Пирани) Конвекционный Пьезорезистивный Датчик вакуума PM1, PM2 Емкостной Ионизационный Магниторазрядный(инверсно-магентронный) ШирокодиапазонныйДатчики высокого вакуумаКонтроллеры датчиковСистемы с диффузионными насосамиСистемы с диффузионными насосамиСистемы с криогенными насосамиСистемы с турбомолекулярныминасосамиСистемы с турбомолекулярныминасосами: безбайпасная откачка.