Лекция №5 (Курс лекций по ВСТО)
Описание файла
Файл "Лекция №5" внутри архива находится в папке "Курс лекций по ВСТО". PDF-файл из архива "Курс лекций по ВСТО", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "вакуумные системы технологического оборудования" из 5 семестр, которые можно найти в файловом архиве МГТУ им. Н.Э.Баумана. Не смотря на прямую связь этого архива с МГТУ им. Н.Э.Баумана, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "лекции и семинары", в предмете "вакуумные системы технологического оборудования" в общих файлах.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
Вакуумные системы среднего ивысокого вакуумаВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №5Системы среднего вакуума (до 10-1 Па)В данных системах используется один илинесколько насосов как одинакового, так и разноготипов. Ионно-плазменная очистка и травление(100…10-1 Па) Отжиг (10…10-2 Па) Осаждение тонких плёнок в вакууме (10…10-4Па) Выращивание кристаллов (1…10-2 Па) Диффузия (1…10-2 Па)Получение вакуумаПолучение среднего вакуума:одна стадия Камера вакуумная CV1 Насос вакуумный NI1 Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторныйНасосы (фор)вакуумныеПолучение среднего вакуума:две стадии (ступени) Камера вакуумная CV1 Насос вакуумный NI1 Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторный Насос вакуумный NZ1 Бустерный механический –двухроторный насос типаРутсаНасосы бустерные механическиеДвухступенчатые системы (спарки)Получение среднего вакуума:три стадии (ступени) Камера вакуумная CV1 Насос вакуумный NI1 Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторный Насос вакуумный NZ1 Бустерный механическийдвухроторный насос типаРутса Насос вакуумный NZ2 Бустерный механическийдвухроторный насос типаРутсаТрёхступенчатые системыПолучение среднего вакуума:комбинированные сухие системы Камера вакуумная CV1 Пост форвакуумный: N1 1-я ступень: Кулачково-зубчатый Винтовой 2-я ступень: Бустерный механический насостипа РутсаСухие форвакуумные постыCombinationPump onlyПолучение среднего вакуума:бустерные паромасляные насосы Камера вакуумная CV1 Насос вакуумный NI1 Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторный Насос вакуумный NH1 Бустерный паромасляныйнасосБустерные паромасляные насосыМногоступенчатая системаИзмерение вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Емкостной Термопарный Сопротивления (Пирани) Конвекционный ПьезорезистивныйДатчики низкого вакуума.