Лекция №4 (Курс лекций по ВСТО)

Вакуумные системы низкого исреднего вакуумаВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №4Системы низкого вакуума (до 10 Па)В данных системах используется один илинесколько насосов одинакового типа –форвакуумные насосы. Пайка (100…1 Па) Плазмохимическое травление (100…10 Па)Создание вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Вакуум-компрессор Водокольцевой Мембранный Спиральный Кулачково-зубчатый Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторныйНасосы (фор)вакуумныеИзмерение вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Компрессионный Деформационный Мембранный Емкостной Термопарный Сопротивления (Пирани) Конвекционный ПьезорезистивныйДатчики низкого вакуумаОтсечение вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Проходной или угловой Кран, клапан или затвор Полное или частичноеотсечение Тип привода: Ручной Пневматический Электромагнитный ЭлектромеханическийЗапорная арматураНапуск атмосферы Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Зависит от объёма камерыКлапаны напуска атмосферыПроверка работоспособности насоса Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Датчик вакуума PT2 Должен измерять предельныедавления насосаПовышение качества вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Датчик вакуума PT2 Ловушка вакуумная B1 Механическая Сорбционная Каталитическая Заливная азотнаяЛовушки форвакуумныеПодача рабочего газа Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Датчик вакуума PT2 Ловушка вакуумная B1 Натекатель VF1 Игольчатый Ручной Электромеханический Пропорционального напуска Регулятор расхода газа (РРГ)НатекателиПримеры установокПримеры установокПримеры установокПримеры установок.