Лекция №3 (Курс лекций по ВСТО)

Вакуумные системы низкого исреднего вакуумаВакуумные системы(нано)технологического оборудованияЛекция №4Системы низкого вакуума (до 10 Па)В данных системах используется один илинесколько насосов одинакового типа –форвакуумные насосы. Пайка (100…1 Па) Плазмохимическое травление (100…10 Па)Создание вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Вакуум-компрессор Водокольцевой Мембранный Спиральный Кулачково-зубчатый Винтовой Золотниковый Пластинчато-роторныйИзмерение вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Компрессионный Деформационный Мембранный Емкостной Термопарный Сопротивления (Пирани) Конвекционный ПьезорезистивныйОтсечение вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Проходной или угловой Кран, клапан или затвор Полное или частичноеотсечение Тип привода: Ручной Пневматический Электромагнитный ЭлектромеханическийНапуск атмосферы Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Зависит от объёма камерыПроверка работоспособности насоса Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Датчик вакуума PT2Повышение качества вакуума Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Датчик вакуума PT2 Ловушка вакуумная B1Подача рабочего газа Камера вакуумная CV1 Насос (фор)вакуумный NI1 Датчик вакуума PT1 Клапан вакуумный V1 Клапан напуска атмосферы V2 Датчик вакуума PT2 Ловушка вакуумная B1 Натекатель VF1Вакуумные технологические процессыинтегральной микроэлектроникиИонно-плазменная очистка и травление (100…10-1 Па)Отжиг (10…10-2 Па)Осаждение тонких плёнок в вакууме (10…10-4 Па)Выращивание кристаллов (1…10-2 Па)Диффузия (1…10-2 Па)Ионная очистка и травление (10-1…10-3 Па)Эпитаксия (10-2…10-4 Па)Ионная имплантация (10-3…10-4 Па)Электронная, ионная и рентгеновская литография (103…10-4 Па)Электронно-лучевая сварка (10-3…10-4 Па)Лазерное легирование (10-3…10-4 Па)Лазерная эпитаксия (10-5…10-6 Па)Молекулярно-лучевая эпитаксия (10-6…10-8 Па)3D микросборкиВакуумные технологические процессывакуумной (микро)электроники Пайка (100…1 Па) Плазмохимическое травление (100…10 Па) Отжиг (10…10-2 Па) Ионная очистка и травление (10-1…10-3 Па) Диффузионная сварка (10-2…10-4 Па) Электронно-лучевая сварка (10-3…10-4 Па) Осаждение тонких плёнок в вакууме (10…10-5 Па)Image amplifiers (tubes)Основные элементы вакуумнойсистемы Камера (реципиент) – рабочий объём, в которомпроисходят различные технологическиепроцессыОсновные элементы вакуумнойсистемы Вакуумные насосы – устройства,предназначенные для создания вакуумаразличными способамиОсновные элементы вакуумнойсистемы Ловушки – предназначены для улучшениясвойств получаемого вакуума (давление,чистота)Основные элементы вакуумнойсистемы Запорная арматура (клапаны, затворы,натекатели) – предназначена для герметичногоперекрытия вакуумных линий, а также дляподачи рабочих газов в объём камеры или втребуемые элементы вакуумной системыОсновные элементы вакуумнойсистемы Приборы измерения, регистрации и контроля –предназначены для регистрации, измерения иконтроля различных параметров вакуумаВакуумная принципиальная схема ГОСТ 2.797-81 ЕСКД.

Правила выполнениявакуумных схем ГОСТ 2.796.95 ЕСКД. Элементы вакуумныхсистемЭлементы вакуумных систем.НасосыПервая буквакода(обязательная)NГруппа видовэлементовНасосвакуумныйПримеры видов элементовДвухбуквенный кодМеханическийNIВращательный объемный без газобалластаNVВращательный объемный газобалластныйNLДвухроторный (насос Рутса)NZТурбомолекулярныйNRВодокольцевойNWСтруйныйNBЭжекторныйNHДиффузионныйNDЭлементы вакуумных систем.НасосыПервая буквакода(обязательная)NГруппа видовэлементовНасосвакуумныйПримеры видов элементовДвухбуквенный кодСорбционныйNSАдсорбционныйNAИспарительный геттерныйNGКриосорбционныйNCИспарительный ионныйNEМагнитный электроразрядныйNMКриогенныйNKКомбинированныйNPЭлементы вакуумных систем.ЛовушкиПервая буквакода(обязательная)BГруппа видовэлементовПримеры видов элементовЛовушкаОхлаждаемая циркуляцией жидкости(отражатель)Двухбуквенный кодBWОхлаждаемая воздухомОхлаждаемая жидкостью, заливаемой врезервуарТермоэлектрическаяВАСорбционнаяBSИоннаяBEBLВТЭлементы вакуумных систем.ВакуумметрыПервая буквакода(обязательная)PГруппа видовэлементовПримеры видов элементовВакуумметр ДеформационныйДвухбуквенный кодPDЖидкостныйPLИонизационныйPAМагнитный электроразрядныйРМТепловойРТЭлементы вакуумных систем.Запорная арматураПервая буквакода(обязательная)VГруппа видовэлементовКлапан(затвор)Примеры видов элементовДвухбуквенный кодТарельчатый (дисковый)VTРегулировочный, дозирующийVFС ручным приводомVП (VR)С дистанционным управлениемVAС пневмоприводом или гидроприводомVPС электромагнитным приводомVEС электроприводомVMЭлементы вакуумных систем.Камеры вакуумные и другие элементыПервая буквакода(обязательная)CГруппа видовэлементовКамераПримеры видов элементовДвухбуквенный кодКамера вакуумнаяCVКолпак вакуумныйПрогреваемая часть вакуумнойсистемыCNСТSМассспектрометр——GТечеискатель——AУстройство(общееобозначение)——.