Fundamentals of Vacuum Technology (1248463), страница 74
Текст из файла (страница 74)
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .69Baffle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41Baffles (vapor barriers) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . .41, 42, 44Baking (degassing) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60, 73, 146Barrier gas operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50Basis SI units . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .176Bath cryostats . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54Bayard-Alpert gauge . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86Boat (thermal evaporator) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .133Boltzmann constant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14, 148Bombing-Test (storing under pressure) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . .123Booster (oil-jet) pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43, 51Bourdon vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .77Boyle-Mariotte law . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13Break down voltage (Paschen curve for air) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .169Bubble (immersion) test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115Calibration curves of THERMOVAC gauges . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .82Calibration inspection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86Coating sources . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .133Capacitance diaphragm gauges . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .78Capsule vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .77Causes of faults if/when the desired ultimate pressureis not achieved . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .139Ceramic ball bearings (hybrid ball bearings) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47CF-flange (conflathflange) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . .73Changing the molecular sieve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .144Charles' law (Gay-Lussac's law) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13Chemical resistance of elastomer gaskets . . . . . . .
. . . . . . . .154, 155, 156Chemical vapor deposition (CVD) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .134Choked flow, critical pressure difference . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15CIS (closed ion source) . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99Clamp flange . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .73Classification of vacuum pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19Clausius-Clapeyron equation . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13Claw pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .31Closed ion source, (CIS) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .99Coating of parts . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .135Coating thickness regulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .130Cold cap baffle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . .44Cold cathode ionization vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .83Cold head . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .55Cold surfaces, bonding of gases to . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . .56Cold traps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44Collision frequency . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12Collision rate . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12Common solvents . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .1451Compression . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . .47, 48, 49Compression vacuum gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .79Condensate traps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .38Condensers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .38, 182Conductance .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11, 15Conductance of openings . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .17, 187, 188Conductance of piping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. .16, 161, 187, 188Conductance, nomographic determination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .18Conductances, calculation of . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16Connection of leak detectors to vacuum systems . . . . . . . . . . . . . . . . .121Contamination of vacuum sensors . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .144Contamination of vacuum vessels . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .139Continous flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15Continous flow cryopumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . .54Continuum theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13Conversion of leak rate units . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112Conversion of leak rate units . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .149Conversion of pressure units . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .147Conversion of pV-throughput units . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .149Corrosion protection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . .141Counter-flow leak detector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .120Cracking pattern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103Critical pressure difference (choked flow) . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . .15Crossover value . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .58Cryocondensation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .57Cryopumps . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54, 186Cryosorption . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .57Cryotrapping . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . .57Crystal Six . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .125Cut in (start) pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49, 60CVD (chemical vapor deposition) . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . .133, 134Dalton's law . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13Danger classes of fluids . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .153Data storage coating . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .137DC 704, DC 705 (Silicone oils) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44Degassing of the pump oil . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42194HomeIndexDerived coherent and not coherent SI units with specialnames and symbols . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .177Detection limit (leak detectors) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .117Determination of a suitable backing pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .69Determination of pump down time from Nomograms .
. . . . . . . . . . . . . . .70Determination of pump sizes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .66DI series diffusion pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42Diaphragm contoller, examples of application . . . . . . . . .
. . . . . . . . .91, 92Diaphragm vacuum gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .77Diaphragm vacuum pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .20DIAVAC diaphragm vacuum gauge . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . .77DIFFELEN, light, normal, ultra . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44, 166Diffusion / vapor-jet pumps, Instructions for operation . . . . . . . . . . . . . .144Diffusion pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41Diode-type sputter ion pumps . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .52Direct-flow leak detector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .120Discharge filters . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .38Displacement pumps . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . .19, 20, 182DIVAC vacuum pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .20DKD (Deutscher Kalibrierdienst) German calibration service . . . . . . . . . .87Dry compressing rotary displacement pumps . . . . . . . .
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
