Fundamentals of Vacuum Technology (1248463), страница 76
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. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43Leak detection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110, 190Leak detection using Helium leak detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .122Leak detection without leak detector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113Leak detection, leak test . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110Leak detectors with 180¡ sector mass spectrometer . . . . . . . . . . . . . . .119Leak detectors with mass spectrometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116, 190Leak detectors with quadrupole mass spectrometer . . . . . . . . . . . . . . .119195HomeIndexLeak detectors, how they work . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116Leak rate, hole size, conversion . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12, 110, 111, 112Leak test (chemical reactions, dye penetration) . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115Leak test, using vacuum gauges sensitive to the type of gas . . .
. . . . . .114LEYBODIFF-Pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42LEYBOLD-INFICON Quartz crystal controllers . . . . . . . . . . . . . . . . . . .131Line width . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . .101Linearity range of quadrupole sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102Liquid filled (mercury) vacuum gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .79Liquid ring pumps . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .20Liquid sealed rotary displacement pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .20Liquid-filled vacuum gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .79Literature references . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . .182 Ð 193LN2 cold traps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44Local leak rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
.112Loschmidt's number (Avogadro constant) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14, 148Magnetic suspension (bearings) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47, 48Mass flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . .11, 108Mass flow (leak detection) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .108Mass range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101Mass spectrometer, general, historical . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . .95, 190Maximum backing pressure (critical forevacuum pressure) . . . . . . . . . . .41McLeod vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .79Mean free path . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12, 147, 160Measuring range of vacuum gauges . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . .168Measuring range, favorable . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .76Measuring ranges of vacuum gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .168Measuring vacuum, vacuum gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .76, 189Medium vacuum adsorption trap . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . .38MEMBRANOVAC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .78Mercury (pump fluid) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41, 44,166Mode-lock oscillator . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . .128Molar gas constant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9, 14, 148Molar mass (molecular weight) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9, 12, 13Molecular flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . .15Molecular sieve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50, 145Monolayer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12Monolayer formation time . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . .12, 16, 65National standards, resetting to . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86NEG pumps (non evaporable getter pumps) . . . . . . . . . . . . . . . . . .50, 53Neoprene . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . .73, 154, 155, 156Nitrogen equivalent . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .76, 83Nominal internal diameter and internal diameter of tubes . . . . . . . . . . .151Nomogram . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .70Nomogram: conductance of tubes / entire pressure range . . . . . . . . . .164Nomogram: conductance of tubes / laminar flow range . . . . . . . . . . . . .161Nomogram: conductance of tubes / molecular flow range . . . . .
. .161, 163Nomogram: pump down time / medium vacuum, taking inaccount the outgasing from the walls . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .165Nomogram: pump down time / rough vacuum . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
.162Non evaporable getter (NEG) pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50, 53Non gas-tight area . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110Nude gauge (nude system) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . .77Oil backstreaming . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44, 186Oil change . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .139Oil consumption . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .139, 140, 141, 142Oil contamination . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .139Oil diffusion pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . .41Oil sealed rotary displacement pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .21Oil vapor ejector vacuum pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43Oil-free (hydrocarbon-free) vacuum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
.44, 65Oils (pump fluids) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44Open (normal) ion source . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .96Optical coatings . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .136Oscillation displacement pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .20Oscillator, ( active, mode-lock) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .127, 128Outgasing of materials . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . .150Outgasing rate (referred to surface area) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12, 65Outside-in leak . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112Overpressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . .9Oxide-coated cathodes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .84, 96Partial final pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .79Partial flow opeartion . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . .120Partial flow ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .121Partial pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9Partial pressure measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .106Partial pressure regulation . . . .
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