Fundamentals of Vacuum Technology (1248463), страница 78
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. . . . . . . . . . . . . . . . . .166Saturation vapor pressure and vapor density of water . . . . . . . . . .152, 170Sealing passage . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .20, 21Seal-off fitting . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .75Selection of pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .60Selection of pumps for drying processes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .71Sensitivity of quadrupole sensors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . .101Sensitivity of vacuum gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .84Separating system of mass spectrometers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .96Shell baffle . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44Silicone oils, DC 704, DC 705 . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44, 166Small flange . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .73Smallest detectable concentration . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . .101Smallest detectable partial pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101Smallest detectable partial pressure ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101Sniffer technology . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . .123Software for TRANSPECTOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .108SOGEVAC pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .21Solvents . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .151Sorption pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50, 186Specific volume of water vapor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .152, 169Spinning rotor gauge (SRG) . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81Spray technique (Helium) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .122Sputter ion pumps, Instructions for operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .145Sputter pumps . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50Sputtering . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .134Sputtering (cathode sputtering) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .134Sputter-ion pumps . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50, 51SRG (spinning rotor gauge), VISCOVAC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81Stability for noble gases (sputter ion pumps) . . . . . . . . . . . . . . . .51, 52, 53Standard pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9Standards in vacuum technology . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .178 Ð 181Static expansion method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87, 88Steam ejector pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . .46Storage under pressure (bombing test) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123Stray magnetic field . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .52Stray magnetic field (sputter ion pumps) . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .52Sublimation pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50, 51Symbols and units, alphabetical list . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .171 Ð 174Symbols used in vacuum technology . . . . . . . . . . . . . . . . . .157, 158, 159Temperature comparison and conversion table .
. . . . . . . . . . . . . . . . . .160Temperature in the atmosphere . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .161Terms and definitions (leak detection) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112Test gas accumulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . .124Test leaks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .118Thermal conductivity vacuum gauge, constant / variable resistance . . . .82Thermal conductivity vacuum gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .82Thermal evaporator (boat) . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .133THERMOVAC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81Thickness control with quartz oscillators . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .125Thickness measurement . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .125Thin film controllers . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .125, 131, 191Throtteling of pumping speed when using condensers . . . . . . . . . . .39, 40Time constant . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .67, 121Titanium sublimation pump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51Titanium sublimation pumps, Instructions for operation . . . . . . . . . . . . .145Torr and its conversion . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .147Total pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9Transfer standard . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87Transmitter .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81TRANSPECTOR . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .96Triode sputter ion pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . .52197HomeIndexTRIVAC pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .21Trochoid pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . .24Tuning / adjustment and calibration of leak detectors . . . . . . . . . . . . . .118Turbomolecular pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .46, 185Turbomolecular pumps, Instructions for operation . . . . . . . . . . . . . . . . .143TURBOVAC pumps . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50Turbulent flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15Types of leak . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .110Types pV flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14UL 200 dry, UL 500 dry . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .118UL 200, UL 500 . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .119Ultimate pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9Ultra high vacuum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .14, 16, 65, 66, 188ULTRALEN . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .45, 160Units, symbols . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .171 Ð 177U-tube vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . .79Vacumm meters, instructions on installing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .145Vacuum coating techniques . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .135Vacuum control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . .76Vacuum equipment, Instructions for operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .139Vacuum gauge contant . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .84Vacuum method (leak detection) . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113Vacuum physics . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9Vacuum pumps, literature references . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .182Vacuum pumps, survey, classification . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . .19, 20Vacuum ranges (Pressure ranges) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .16, 59,. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .61, 150, 167, 168Vacuum regulation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .76Vacuum symbols .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .157, 158, 159Vacuum coating technology . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .133Values of important physical constants . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . .149Valves . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .73, 188Van der Waals' equation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13Vapor density of water . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . .152, 170Vapor pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9, 43, 166, 167, 170Vapor-jet pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .41, 43, 46, 144Venturi nozzle . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .43Viscous (continuum) flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15VISCOVAC vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81Vitilan, Viton .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .73, 156, 167Volume . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10Volumetric efficiency (roots pumps) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . .28Volumetric flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10Water jet pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .45Water ring pumps . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .21Water vapor tolerance . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .26Web coating . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .135Wet processes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62Working pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9Working ranges of vacuum pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .167X-ray effect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85XTC, XTM . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .131Zeolith . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50Z-Match technique . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . .127198Home.
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