Fundamentals of Vacuum Technology (1248463), страница 77
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. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .109Particle number density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9Paschen curve . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .169Penning vacuum gauges . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .83Perbunan . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .73, 156, 167Period measurement . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .127Permissible pressure units . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .147Phase diagram of water . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .170Photons . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85PIEZOVAC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . .78Pirani vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .81, 82Plastic tent (envelope) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123Plate baffle . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44PNEUROP . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .178 Ð 181PNEUROP flanges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . .73Poiseuille flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15Poisson's law . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13Positive pressure methode (leak detection) . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . .112Pre-admission cooling (roots pumps) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .31Precision diaphragm vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .78Pressure . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9Pressure and temperature as function of altitude . . . . . . . . . . . . . . . . .161Pressure converter . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. .99Pressure dependence of the mean free path . . . . . . . . . . . . . . . . .150, 160Pressure difference oil supply . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .22Pressure lubrication by geared oil pump . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . .22Pressure measurement direct / indirect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .76, 189Pressure measurement, depending on / independentof the type of gas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .76Pressure ranges in vacuum technology .
. . . . . . . . . . . . . . .14, 60, 61, 150Pressure regulation / control . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .88, 190Pressure regulation / control rough and medium vacuum systems . . . . .90Pressure regulation in high and ultra high vacuum systems . . . . . . . . .
.92Pressure regulation, continuous / discontinuous . . . . . . . . . . . . . . . .90, 91Pressure rise / drop (leak) test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113, 114Pressure units . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9, 147196HomeIndexPTB (Federal physical-technical institute) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86Pumpdown time . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .66 - 71Pump fluid . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44Pump fluid backstreaming . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44Pump fluid change cleaning (diffusion pumps) . . . . . . . . . . . . . . . . . . .144Pump oil, selection when handling aggressive vapors .
. . . . . . . . . . . . .140Pump throughput . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .11Pumping (gas sorption) of vacuum gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .83, 84Pumping chamber . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .19Pumping of gases . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62Pumping of gases and vapors . . . . . . . . . . . . . .24, 25, 40, 57, 62, 63, 140Pumping speed . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10Pumping speed units, conversion of . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .149Pumping various chemical substances . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .141Purge gas . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . .34PVD (physical vapor deposition) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .133pV-flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10pV-value . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10Quadrupole mass spectrometer . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .96Quadrupole, design of the sensor . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .96Quadrupole, gas admission / pressure adaptation .
. . . . . . . . . . . . . . . .99Quadrupole, measurement system (detector) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .98Quadrupole, separating system . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .97Quadrupole, specifications . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .101Qualitative gas analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .106Quantitative gas analysis . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .107Quantity of gas (pV value) . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .10Quartz crystals, shape of . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .126Rate watcher . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .125Reduction of adsorption capacity . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .144Reduction ratio . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .27, 28, 142Refrigerator cryopump . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .54, 56Regeneration time . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .58Relative ionization probability (RIP) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103Residual gas composition (spectrum) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49, 50Response time of leak detectors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . .122Reynold's number . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15Rigid envelope . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .123Roots pumps . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .27Roots pumps, Instructions for operation . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .142Rotary displacement pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . .21Rotary plunger pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .23Rotary vane / piston pumps, Instructions for operation . . . . . . . . . . . . .140Rotary vane pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . .21Salt, drying of . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .71Saturation vapor pressure (nonmetallic gaskets) . . . . . . . . . . . . . . . . . .167Saturation vapor pressure . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9, 26Saturation vapor pressure (cryogenic technology) . . .
. . . . . . . . . . . . . .167Saturation vapor pressure (metals) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .166Saturation vapor pressure (pump fluids) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .166Saturation vapor pressure (solvents) . . . . . . . .
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