Fundamentals of Vacuum Technology (1248463), страница 75
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. . . . . . . . . . . . .27Dry processes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .62Drying of paper . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .72Drying processes . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .64Drying processes, selection of pumps for . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .71DRYVAC-Pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .33D-Tek . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116Duo seal (sealing passage) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .20, 21, 22Dust separator (dust filter) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . .38Dynamic expansion method . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .88ECOTEC II . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .119Effective pumping speed . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .38, 67Elastomer gaskets . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . .74, 154, 155, 156Electrical break down voltage(Paschen curve air) . . . . . . . . . . . . . . . . .169Electron beam evaporators (electron guns) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .134Envelope test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .122, 123Envelope test (concentration measurement) . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . .123Evacuation in the rough / medium / high vacuum region . . . . . . .66, 67, 68Evacuation of gases / vapors . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .71Evaluating spectra . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102Expansion method static / dynamic . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87, 88Extractor ionization vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86Fast regeneration (partial regeneration) .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .58Fingerprint . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103Flanges and their seals . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .73, 187Floating zero-point suppression . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .117Fluid entrainment pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .40, 185Foam spray leak test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .115Fractionation of pump fluids . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42Fragment distribution pattern . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103Fundamental pressure measurement methods . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .87Gas analysis . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .95, 106, 107, 190Gas ballast . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .24, 25, 117Gas composition as a function of altitude . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .161Gas constant, general (molar) . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9, 14, 149Gas density . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .9Gas dependent pressure reading, vacuum gauges with . . . . . . . . . . . . .81Gas discharge . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .51, 83Gas independent pressure reading, vacuum gauges with . . . . . . . . . . . .77Gas laws . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . .13Gas locks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .75Gas sorption (pumping) of vacuum gauges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .83, 84Gas storage in the oil of rotary vane pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
.117Gaskets . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .73, 154, 155, 156Gay-Lussac's law . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13General gas constant (Molar gas constant) . . . . . . . . . . . . . . . . .9, 14, 148Getter pumps . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50Glass coating . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .137Halogen leak detector . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116, 191Helium leak detectors with 180¡ sector mass spectrometer . . . .
. .114, 115Helium spray equipment . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .122Helium standard leak rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112High frequency vacuum test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . .115High pressure ionization vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .86High vacuum range . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .67, 68HLD 4000 . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .116HO-factor (diffusion pumps) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .42Hot cathode ionization vacuum gauge . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .84HY.CONE pumps . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .49Hybrid ball bearings (Ceramic ball bearings) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .47Hydrocarbon-free vacuum . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .44, 65IC 5 . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .131Ideal gas law . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 9, 13Impingement rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .12Industrial leak testing . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .124Influence of magnetic / electrical fields . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .146Internal compression (claw pumps) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .32Inside-out leak . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .112Integral leak rate . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .113Internal reflow (roots pumps) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . .28Ion desorption effect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .85Ion sputter pumps . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .50, 51Ionization vacuum gauge for higher pressures up to 1 mbar . . . . . . . . . .85Ionization vacuum gauges . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .83Ionization, specific (gas analysis) . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .103Isotopes . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .102Kammerer compression vacuum gauge . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . .79Kinetic gas theory . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .13Kinetic of gases, diagram of . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .160Kinetic of gases, formulas . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .148Knudsen flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15Krypton 85 test . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .
. . . . . . . . . . . . . . . .115Laminar flow . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .15Langmuir-Taylor-effect . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . .117Laval nozzle . . . . . . . . . . . . . . . . . .
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