Автореферат (1143640), страница 4
Текст из файла (страница 4)
Найденырешения задач локального осаждения функциональных покрытий в технологии производстваизделий электронной и микросистемной техники: полупроводниковых газовых датчиков,микроэлектромеханических гироскопов и акселерометров. Описан метод решения задачиоптимизации технологического процесса ХОГФ, основанный на систематическом проведениибольшого количества опытов по локальному осаждению в микрореакторе.4) Разработана и экспериментально проверена технология жидкостного анизотропноготравления кремния в микрореакторе.
Создана модель, описывающая изменение геометрии игидравлического сопротивления микроканала во время травления. Предложена методика расчетамаксимальной температуры проведения процесса. Показано, что с увеличением площади18травления при фиксированной теплоотдаче, уменьшается критическая температура системы, припревышении которой она переходит в режим неконтролируемого саморазогрева.5) Показано, что с применением технологии жидкостного анизотропного травлениякремния в микрореакторе можно создавать статически уравновешенный микрофлюидныймостикУинстона,являющийсячастьюновойсистемывысокоточногоизмерениядифференциального давления.
На основе этой технологии предложен новый, более простойтехнологический процесс изготовления теплораспределяющего модуля на основе тепловыхмикротрубок со сложным профилем поперечного сечения.19ОСНОВНЫЕ НАУЧНЫЕ ПУБЛИКАЦИИ И ПАТЕНТЫ ПО ТЕМЕДИССЕРТАЦИОННОЙ РАБОТЫПатенты1Патент РФ № 172 269, 01.02.2017. Конаков С.А. Шипуля Н. Д. Датчикдифференциального давления //опубл. 03.07.2017. Бюл. № 19.2Патент РФ № 2 572 252, 11.07.2014.
Конаков С.А., Гринько Д.В. Конструкцияветроэнергетической установки//опубл. 10.01.2016. Бюл. № 1.3Патент РФ № 153 984, 01.04.2015. Конаков С.А. Конакова Е.В. Попова И.В.Микротермоэлектрогенератор //опубл. 10.08.2015. Бюл. № 22.Публикации1Конаков С. А., Дзюбаненко С. В., Влияние явления проскальзывания скорости на режимыработы и другие характеристики газового химического микрореактора //Нано-имикросистемная техника.
– 2017. – Т. 19. – №. 10. – С. 598-604. (перечень ВАК)2Конаков С. А. Технология микрореакторного осаждения тонких пленок и наноструктур –новый подход к исследованию процесса химического осаждения из газовой фазы//Наноиндустрия. – 2017. – №. 4. – С. 76-82. (перечень ВАК)3Конаков С. А. Технология травления в микроканалах для создания элементов изделиймикрофлюидной техники //Успехи современной науки. – 2017. – Т. 4. – №.
2. – С. 93-95.(перечень ВАК)4Konakov S. A., Krzhizhanovskaya V. V. Novel approach to investigation of semiconductorMOCVD by microreactor technology//Journal of Physics: Conference Series. – IOP Publishing,2017. – Т. 917. – №. 3. – С. 032011. (SCOPUS)5Konakov S. A. et al. Numerical simulation of novel gas separation effect in microchannel with aseries of oscillating barriers //Microfluidics and Nanofluidics. – 2017. – Т.
21. – №. 7. – С. 116.(SCOPUS)6Konakov S. A., Dzyubanenko S. V., Krzhizhanovskaya V. V. Computer simulation approach indevelopment of propane-air combustor microreactor //Procedia Computer Science. – 2016. – Т.101. – С. 76-85. (SCOPUS)7Konakov S. A., Krzhizhanovskaya V. V. A novel three-jet microreactor for localized metalorganic chemical vapour deposition of gallium arsenide: design and simulation //Journal ofPhysics: Conference Series.
– IOP Publishing, 2016. – Т. 741. – №. 1. – С. 012018. (SCOPUS)208Shipulya N. D., Konakov S. A., Krzhizhanovskaya V. V. Development and simulation ofmicrofluidic Wheatstone bridge for high-precision sensor //Journal of Physics: ConferenceSeries. – IOP Publishing, 2016. – Т. 738. – №.
1. – С. 012071 (SCOPUS)9Konakov S. A., Krzhizhanovskaya V. V. 3D simulation and analytical model of chemicalheating during silicon wet etching in microchannels //Journal of Physics: Conference Series. –IOP Publishing, 2016. – Т. 681. – №. 1. – С. 012035 (SCOPUS)10Konakov S.
A., Krzhizhanovskaya V. V. Modeling chemical vapor deposition of silicon dioxidein microreactors at atmospheric pressure //Journal of Physics: Conference Series. – IOPPublishing, 2015. – Т. 574. – №. 1. – С. 012145. (SCOPUS)11Konakov S. A., Krzhizhanovskaya V. V. A mathematical model and simulation results of plasmaenhanced chemical vapor deposition of silicon nitride films //Journal of Physics: ConferenceSeries. – IOP Publishing, 2015. – Т. 574. – №. 1. – С. 012144. (SCOPUS)12Конаков С.А.
Повышение эффективности ветроэнергетических установок / С.А. Конаков,Д.В. Гринько // Известия Оренбургского государственного аграрного университета – 2014.–№5(49) – С. 77-80. (перечень ВАК)13Конаков С.А., Повышение эффективности ветроэнергетических установок большоймощности // Lambert Academic Publishing, 2015 – 52 с.14Конаков С.А., Микрореакторные технологии для газофазного синтеза чувствительныхслоев в химических сенсорах // Сборник трудов II Международной научно-практическойконференции «Sensorica – 2014», – СПб: НИУ ИТМО, 2014..
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
