071a-orgreview (1143639), страница 2
Текст из файла (страница 2)
lloкaзaнa I]OЗМo}кIIoс1.Ьс,Гlloi'o ,I'pal]JIrI{ИяКaНaЛa B ПрoLIессе ПpoиЗBollс.lBa. /-{aнaмеIIия ГиДрaBЛиЧескOГOс0ПpO1.иBЛеI]ИЯПpoцессa' кOTOpaЯ исТoд(Икa oценкИ N4aксиМaJIьrIoйTеМrrrpaTypЬI rIрOI3е/JеIIИЯкЛЮЧar.ГПrpеxol{ сис.геМЬIB pе}кИМ сaМopaЗoГprBa.Р с к о м е l t / { а ц и и t I t l и с t I t l J ] Ь З O l 3 а l I и tpt еl з y J l Ь T a Т o B и t } Ь t B o / l o l зp а б о .
l ' ь l .бьt.гt,pекoMrlIДoB?I{I,Il(JIЯисlloJII)ЗoI]aниЯI] HayЧPезyльr.aтьl paбoт.Ьrtt4or.y.ГlloДpaЗДеЛенияX llpе/lllриЯ.rиЙ,, paбoТarorr{ИХв oблaстишЬIХ и ПpoиЗBOl{с"l.l]еннЬIXpaзpaбoтки и ПрoиЗBoДсTBayстpoйсTB ЭЛекTpсlннoйи Микpoсистемнoй TеХ}lики'(Сaнк.г(Carrкr'-ГIе.r.еpбyрг),OAo <Aвaнr.apд>AO ((I.ИPOOГI.ГИI{A)>B Чaс.l'lIOс.ги(Мoсквa), OAO(Сaltкr.-Ilеr.еpбypГ)'OOo <<Мaпttер>>Ao <Свсэ.г.ltаtra>>ГIетеpбypr.),Ao ''LIГ[П''ЭJIAP''Ao (ЗFI,l.Ц)(ЗеленoгpaД),BЗПП кМикporl>(I}oporrеж),oAo (HПП Paдap МMC))(Caнкт-Петеpбypг),Ao F{To (Сaнкт-Петеpбypг)(Мoсквa),I_IГIФсDГУI1(I]I-IИИAиМениII.
JI./{yхoвa><Ми(Carrкт-l1етеpбypг),К p a Н ) ) ( 1 . o м с к ) , I-LIt ] P( D A O''l);Iек.t.ptllIрибop' ' r к.l .''КсlltЦеptr''I(Сal\LlИИМИЭT (Зе"lrенo.MГУ (Мoсквa),FIИУ ИTMo (Сaнк,г-l1етеpбypг),ГIе.гербyрг),МФTИ (Мoсквa)и ДР'Ql].Иим. A.сIr'Иoфсpе(Сaнк'г-Пе.геpбypг),Гpa/]),Заме.lаllL|'| И t}tlПpосЬttIо сollеpжaltиltl/l1rссер.гаllиинrскoJlЬкo грaфиКoB' I{a кo,1.oрЬIХrrри бo"тьLIJИXl. B paбо.l.е IIpе/iс].aI]JIеI]opaДиyсax Пoкaзaнa скOpOсTЬ Oсaх(Дrния MеI{еr 1 нм/мин. К сожaлеIfИIo' ДЛЯ нИХпoдрoбrto не paсПИсaнo кaк Э.ГИДaнI.IЬIесoотBеl.с.Гl]yroTфизинескoмy Пpoцессyo l ] с р o я .
Г Н o с , Г Иl I a р y I I I е l I и ЯI J I r I ] К И ,M o r к I t o J I и I . O B O p И 1 . ЬO с a ) к / I е I { И я . t ' с r t l к с tl ЙсПJIOшIIOсTиГIЛеHкИ'OжИ/]a.гЬсМrНy МеXaнИЗN4aеё pос.t.aB Э.гИХoб;raсr.ях?2. . B ГЛaBе 5 пpи otlИсaнии BoЗМox{нЬIxкoнс.гpyкций MиI(popraк.гopa /(Л'IЛoкaJIЬI]oГoxиMИЧескoГo oсaж/.{rl{ияИЗ ГaЗoвoй фaзьI FIr скaзaнo o неoбхoДимоС Т \ 4И с t l t l с o б екo[I.l.poЛя ДaBJТеIIИЯ B ЗaзOре Mе)кilyЭтo.I. МoMеI{.l' /lос.Гa.ГoЧIIO l]a)ilil1'.к. rIрollrссМикpopсaКТOpoMХ()Г(tи псlД:ltlжкoйЯ B J I ' I с .
Г с Я Ч y i ] с . I . l ] И . I . е J I I > I I Ь IКМДaBЛеI{иIO.aниЗoTpoliiloГo TрaBJIеTсХI]oЛOГии}кИ/{кOс.ГHогO3. B глaве 6 пpи oГIИCaIП4Ине paссMa,IрИBaсl'НИя креМпия 1]МикрopеaК.Гopе l] lIJIaс1'инекpеMI{ИЙ-нa-с.l.екJIесЯ l]OГlpoс O l]JIияrIИи liaГtp'l)(сIiIlOГO сJIOя IIa ГрillIИtlе. Исхr>Дsl и:] OIIИсattгtсlй.l.ех-ilorlсlt'ии aнoДнo1.o сoеДИнеHИЯ IПIaC,П4FIMo}к}Io o}киДaTЬ' ЧTo FIa Гpal{ИЦе кpеМнИЯи с1rкЛaобpaзyетсясвoйствaХrrpOМежy.ГOЧнЬIй слойOксиДaкpеМIIИя.Из-зapaЗ[Iиi{ЬI l]ЭTих Ma1'rpиaJIOl] B ПЛaсTиIIl иМеIO.гся OсTa.гoЧнЬIе IIaПpЯ)ксIlИЯ, КO1.O-и , B O : ] М o я { н O I, I a a I { и З o , Г p o I I И l ( ) .р Ь I е M o l . у . I .l ] J I И Я . I .кЬa К i ] a с К O p ( ) с . l ' I , .
l . p i i I 3 J I e I I И Я , . l . l 1 кl{ сoхсaлсIiИlо, aв.Гoр рaботьr IIс y/lеЛиJl BtIиМaI{ис ЭтOMy BoГIpoсy.4. fляIIре/1JIoх(еlrнoйкpеМHия l] МикрoкallaЛе.геХнoЛoгИИ )ки/lКoсTI{OГo aнИЗo.ГpollнoГO .l.paBJIеI{ИЯIlpиl]е/lенЬI pеЗyJIЬ.Гa.ГЬIрaсЧеTa и ЭксПериNirII,ГaЛьIII,Ie.Ц&НlIЬIe() ГrOМrTрИИ сеЧеIIиЯ КaнaЛa, I{O ПрaкTИЧrскиI'IиЧсГO не скaЗaНO O,г0N4'сyulес.Гl]yе]. JIи ll:]МеHеIIИс Э.ГoГOсеЧrНИя Bl{oJIЬ OсИ кaI.IaЛa.С-тrе,цyет OТМеТиTЬ) Ч.гo yкaзaII}IЬIе зaMеЧaIIия нoся.I.
Ч?C.I.LIЬIй,yтсlнitяtotI{иltХaрaк.Гер и Hе сIIих(aIOT BЬIсOКoГo кaЧесTBa ДИссrpTaцирI{нOй paбoTЬt.Зaк.lItо.lеllие13сдyrr1aяOрГaIlИЗ'lцИ'l сЧИ.ГarT, ЧTO /lИссrр1.aцИOIIIIaЯрaбo.гa I{otтaкoвaСr]епaнa Ан/llэеевиЧa (I-Iporк.Гt]poljallИe И рaсЧе]. ХиMИЧескИХ N{ИItpOpеaК.l.OpOBДnЯ исПoЛЬЗoBanИЯ BTеХнoЛoГии yсTpoйсTBПocBященa aкTy€ L ЛЬнoй нar{нoйМикpoсисTеМI{oй Tеxники))ПpoбЛеMе, ЯBЛяеTся зaкoнЧеEнoйнayчнo.кBanификaциoннoй paботoй, BЬIПoЛненнoйaвтopoМ caМoсToяTеЛЬнoнa BЬIсoкoМyрoBнr' сoДеpжиT }IoBЬlеHayЧнЬIеpеЗyЛЬTaTЬI,иМelT l]paкTическoе ПpиМенение.Пo aктyaлЬнocTи' нayvнoй нoBиЗ}Iе, ПpaкTической ЗнaЧи]\,Ioс.tИ14ypoBl{roПpoвеДенияиссЛеДoBaHИЯ ДиссеpTaЦиo}IHaя paбoтaПoЛнoсTЬloсooTBеTсTByеTBсеМтpебoвaниямBAК PФ (в T.Ч.ПП.
9-10 <ПoЛo)кенияo ПopядкеПpисyжДeHИЯyченЬIx степеней), yTBеpx(.цеIIHoгoПостaнoвЛениеNI ПpaBиTелЬсTBaPoссийскoйФедеpaции oT 24 ceнтябpя 20|З г. ^гs842(с измeнeъ|ИЯNIИПoстaнoвлениЯот 28aBГyсTa 2О17 г. ]r{ Ia24), ПpеДЪяBЛЯrМЬII\,Iк кaнДи.цaTскиМ ДиссrpTaциям, a еёaвTop' Конaкoв Cтепaн Aндpеевич' зaсЛyil(иBarT Пpисyж(Дения y.lёнoй сTrПеникaнДиДaTa Tеxllt{Чeских Hayк Пo сПrЦиaЛЬнoсTи 05.27,06 -<<TехнoЛoгияиoбoрyдoвaние ДЛя пpoизBoДсTBa ПoЛyПpoBoДникoB' ПIaTеpиaЛoBи пpибоpовэЛекTpoIlнoй техникll>>.МaтеpиaлЬIкaфедpьlДиссеpTaцииxимическoйpaссМoTpеI{ЬI T4 OTЗЬIB yTBер)KДен нaнal{oTеxlloЛoГии 14 МaTеpиzLIIoB эЛекTpol{нoй теxники0 5 . 0 92 0 1 8 г .oтзьrв Пo.цГoToBил:гrpoфессoр кaфедpЬIХиI\4иЧескoйIIaНoTеXнoJloГиии N{aTеpиuLJIoBэЛекTpOнной текникиC aнкт-Петеpбypгскс}Гo ГoсyДapсTBеHIIoГоTеХI{oЛoГиЧескoГoиFIсTиTyTa(теxни.rескoГo yl{иBеpcитетa)(02.00.21пpофессopД.Х.}i.tО2.aФ.21)).Ежoвский lopий КoнстaнтиI{oBичПoчтoвьrЙ aдpec1900 13,, г.Сaнкт-Петеpбypг,Москoвский TIp.26Тeл.*7 9Т1998зз52Зaсе.цaнииЕ-maii: еzhovski\@mai|.ru.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
