Диссертация (1137255), страница 18
Текст из файла (страница 18)
ред.:С. У. Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов. М.: НИУ ВШЭ, 2014. С. 211-213.16.Sen A. Collective Choice and Social Welfare. San Francisco: HoldenDay; 1970. 225 gp.17.ВилкасЭ. Й.Оптимальностьвиграхирешениях.М.: ФИЗМАТЛИТ, 1990. С. 225-227.18.Катулев А.
Н. Математические методы в системах поддержки принятиярешений / А. Н. Катулев, Н. А. Северцев. – М.: Высш. шк., 2005. – 311 с.: ил.19.СаатиТ.Принятиерешений.Методанализаиерархий.–М.: Радиосвязь, 1993 г. – 320 с., илл.20.Глушко A.A., Родионов И.А., Макарчук B.B. Моделирование технологииизготовления субмикронных КМОП СБИС с помощью систем TCAD //Технологияиконструированиевэлектроннойаппаратуре.2007. №4. С.32-34.21.Sawicki J.D. DFM: What is it and what will it do? // Mentor Graphics. 2004.April. 6 p.16922.Born M., Wolf.
E. Principles of Optics: 6th ed. / Pergamon Press. Oxford,United Kingdom. 1993.986 р.23.Львов Б. Г. Основы теории технических систем. – М.: МИЭМ,1991.– 136 с.24.Арменский Е. В., Львов Б. Г., Митрофанов С. А. Стратегия построенияконцептуальной модели технического объекта. / Межвузовский сборник«МетодымоделированияиоптимизациивСАПРконструкторско-технологических работ».
– М.: МИЭМ, 1989. – с. 3 – 6.25.Половинкин А. И. Основы инженерного творчества: Учебное пособие длястудентов втузов. – М.: Машиностроение, 1988. – 368 с.26.Костомаров П. С. Концептуальный анализ проектирования устройствиммерсионной литографии на примере ультрафиолетового тракта // В кн.:INTERMATIC – 2013. Материалы Международной научно-техническойконференции"Фундаментальныепроблемырадиоэлектронногоприборостроения", 2–6 декабря 2013 г., Москва / Отв. ред.: А.
С. Сигов. Ч. 3.М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2013. С. 212-216.27.ЛазаревЛ. П.,КолючкинВ. Я.,МетелкинА. Н.Автоматизацияпроектирования оптико-электронных приборов: учеб. пособие для вузов /Лазарев Л. П., Колючкин В. Я., Метелкин А. Н. ; общ. ред. Лазарева Л. П. – М. :Машиностроение, 1986. – 216 с.28.Родионов С. А. Автоматизация проектирования оптических систем. Л.:Машиностроение, Ленинград, отд-ние.
1982. 268 с.29.СолодовниковВ. В.,Плотников В.Н.,ЯковлевА.В.Теорияавтоматического управления техническими системами – М.: Изд-во МГТУ им.Н. Э. Баумана, 1993. – 492 с.30.Костомаров П. С. Формализация процесса проектирования устройствиммерсионной ультрафиолетовой литографии // В кн.: Научно-техническаяконференция студентов, аспирантов и молодых специалистов НИУ ВШЭ.Материалы конференции / Под общ.
ред.: А. Н. Тихонов, В. Н. Азаров, У. В.170Аристова, М. В. Карасев, В. П. Кулагин, Ю. Л. Леохин, Б. Г. Львов, Н. С.Титкова. М.: МИЭМ НИУ ВШЭ, 2014. С. 235-236.31.Солодовников В. В. Теория автоматического регулирования. В 3-х кн. М.:Машиностроение. Кн. 1, 1967. 768 с.32.Лапко А. В.
Непараметрические системы обработки неоднороднойинформации/А. В.Лапко,В. А.Лапко–Новосибирск:Наука,2007. – 174 с.33.Ивашов Е. Н., Костомаров П. С. Автоматизированное проектированиесистем на этапе предварительной разработки // В кн.: Инновации на основеинформационныхикоммуникационныхтехнологий:Материалымеждународной научно-практической конференции (2013) / Отв. ред.:И. А. Иванов; под общ.
ред.: С. У. Увайсов; науч. ред.: А. Н. Тихонов. М.:МИЭМ НИУ ВШЭ, 2013. С. 207-210.34.Parzen E. On the estimation of a probability density function and mode // Ann.Math. Statist. – 1962. – P. 1065.35.Епанечников В.А. Непараметрическая оценка многомерной плотностивероятности // Теория вероятности и ее приенения. – 1969. – Т. 14,вып. 1. – С. 156 – 161.36.Болнокин В. Е., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Корпачев М.
Ю.Проектирование технологического оборудования в случае малых выборок наоснове опорных точек // Успехи современного естествознания. 2014. № 5.С. 132-136.37.Оливер Ф. Введение в асимптотические методы и специальные функции –М.: Наука 1978 – 357 с.38.Ивашов Е. Н., Князева М. П., Костомаров П. С., Анисимова Н. Т.Применение асимптотических методов в автоматизированном проектированиитехническихобъектов //Международныйобразования.
2014. Т. 2. № 1. С. 105-108.журналэкспериментального17139.Садыхов В. Э. Элементы асимптотических методов – Баку: АЗПИ им. Ч.Ильдрыма, 1985 г., 141 с.40.Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., СтепанчиковС. В. Оптимизация процессов иммерсионной ультрафиолетовой литографии вусловияхмалыхвыборок//Вкн.:Фундаментальныепроблемырадиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научнотехнической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва/ Отв. ред.: А.
С. Сигов. Ч. 3: Материалы и технологии. М.: МГТУ МИРЭА –ИРЭ РАН, 2012. С. 112-116.41.Банди Б. Методы оптимизации. Вводный курс: Пер. с англ. – М.: Радио исвязь, 1988. – 128 с.: ил. ISBN 5-256-00052-7.42.Бельков В.Н., Ланшаков В. Л. Автоматизированное проектированиетехническихсистем:Учебноепособие//Издательство «АкадемияЕстествознания», 2009 год. ISBN 978-5-91327-056-6.43.Жилинискас А., Шалтянис В. Поиск оптимума: компьютер расширяетвозможности. - М.: Наука, 1989, с. 76, ISBN 5-02-006737-7.44.Зельдович Б.
Я. Обращение волнового фронта – М.: Наука, 1985 г., 247 с.45.Дмитриев В. Г. Нелинейная оптика и обращение волнового фронтафронта – М.: ФИЗМАТЛИТ, 2001 г., 256 с.46.Розанов Л. Н. Вакуумная техника – М.: Высшая школа, 1982 г., 207 с.47.Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., Лучников П. А.
Повышение качествасветового потока в литографии // В кн.: INTERMATIC – 2013. МатериалыМеждународнойнаучно-техническойконференции«Фундаментальныепроблемы радиоэлектронного приборостроения», 2–6 декабря 2013 г., Москва /Отв. ред.: А. С.
Сигов. Ч. 2. М.: МГТУ МИРЭА – ИРЭ РАН, 2013. С. 200-203.48.Визильтер Ю.В. Обобщенная проективная морфология / Компьютернаяоптика. – Том 32, № 4 ÷ 2008 С. 384 – 399.17249.Визильтер Ю.В., Желтов С.Ю. Сравнение и локализация фрагментовизображенийсиспользованиемпроективныхморфологий.//Вестниккомпьютерных и информационных технологий, – №2, – 2008, С.
14 – 22.50.ИвашовЕ. Н.,КорпачевМ. Ю.,КостомаровП. С.Задачаморфологической коррекции в литографической технологии для опто- инаноэлектроники //Вкн.:Опто-,наноэлектроника,наноматериалыимикросистемы: Труды XV международной конференции. Ульяновск: УлГУ,2012. С.
54-55.51.Ивашов Е. Н., Костомаров П. С. Модель морфологической коррекции влитографическойтехнологии //Вкн.:Фундаментальныепроблемырадиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научнотехнической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва/ Отв. ред.: А. С. Сигов. Ч.
1. М.: МГТУ МИРЭА, 2012. С. 163-166.52.Родионов И.А. Методы коррекции оптических эффектов близости //Наукоемкие технологии и интеллектуальные системы 2007: Сборник трудов 9ой Всероссийской научно-технической конференции. М. 2007. С. 174 – 178.53.Родионов И.А. Исследование влияния параметров технологическогопроцесса литографии на минимальные критические размеры элементов,получаемыхнакремниевойпластине//Наукоемкиетехнологиииинтеллектуальные системы 2007: Сборник трудов 9-ой Всероссийской научнотехнической конференции.
М. 2007. С. 219 – 224.54.Норенков И. П.Введениевавтоматизированноепроектированиетехнических устройств и систем. М.: Высшая школа, 1980. 384 с.55.Аоки М. Введение и методы оптимизации. М.: Наука, 1977. 343 с.56.Родионов С. А. Автоматизация проектирования оптических систем. Л.:Машиностроение, Ленинград, отд-ние, 1982. 268 с.57.Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., СтепанчиковС. В. Критерий качества в автоматизированном проектировании устройств173оборудования иммерсионной литографии // Оборонный комплекс - научнотехническому прогрессу России. 2012. № 3. С. 69-77.58.Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е.
Н., Костомаров П. С., СтепанчиковС. В. Обобщенный критерий оценки качества оборудования иммерсионнойультрафиолетовойлитографии //Вкн.:Фундаментальныепроблемырадиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научнотехнической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва/ Отв. ред.: А. С. Сигов. Ч.
7: Проблемы надежности и качества. М.: МГТУМИРЭА – ИРЭ РАН, 2012. С. 88-92.59.Балан Н. Н., Васин В. А., Ивашов Е. Н., Костомаров П. С., СтепанчиковС. В. Стратегия технического обслуживания оборудования иммерсионнойультрафиолетовойлитографии //Вкн.:Фундаментальныепроблемырадиоэлектронного приборостроения. Материалы Международной научнотехнической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7 декабря 2012 г., Москва/ Отв. ред.: А.
С. Сигов. Ч. 3: Материалы и технологии. М.: МГТУ МИРЭА –ИРЭ РАН, 2012. С. 117-121.60.Ивашов Е. Н., Костомаров П. С. Обобщенный критерий качества винформационной технологии проектирования оборудования иммерсионнойультрафиолетовой литографии // В кн.: Инновации на основе информационныхикоммуникационныхтехнологий:материалымеждународнойнаучно-технической конференции (2012) / Отв.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
