Диссертация (1137255), страница 20

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 20)

М.: Энергоатомиздат,2010. С. 302-303.104. Костомаров П. С. Патент РФ на полезную модель №104509. Устройстводляформированиянанодорожек /Ивашов Е. Н.,Корпачев М. Ю.,Костомаров П. С., Кузнецов П. С., Лучников П. А. – № 2010146415/07. Заявл.15.11.2010; опубл. 20.05.2011, Бюл. № 14.105. Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю., Костомаров П. С. Фотомозаика чипа дляфракционирования ДНК на основе литографических технологий // В кн.:Фундаментальные проблемы радиоэлектронного приборостроения. МатериалыМеждународной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2012», 3–7декабря 2012 г., Москва / Отв. ред.: А.

С. Сигов. Ч. 2. М.: МГТУ МИРЭА, 2012.С. 112-113.106. Turner, S. W., A. M. Perez, A. Lopez and H. G. Graidhead. 1998. Monolithicnanofluid sieving structures for DNA manipulation. J. Vac. Technol. B 16(6): 38353840 (Nov/Dec 1998).180ПРИЛОЖЕНИЯПриложение 1.

Программа для ЭВМ «Расчет параметров иммерсионнойсистемы ультрафиолетовой литографической установки»Настоящаяпрограммапозволяетвыполнятьрасчетпараметровиммерсионной системы: числовую апертуру проекционной системы, длинуволны излучения после прохождения проекционной системы, длину волныпосле прохождения иммерсионной системы, минимальный размер элементабудущей топологии и соотнести их с проектными нормами, под которыеподходит данный технологический процесс.Блок-схема программы расчета параметров иммерсионной системыультрафиолетовой литографической установки представлена на рис.

5.1.1.Основное окно пользовательского интерфейса, которое появляется послеоткрытия данной программы, представлено на рис. 5.1.2.Пользователь может посмотреть справочную информацию, нажав кнопку«О программе» (где перечислены: краткая аннотация, версия программногопродукта, имена разработчиков и их контактные данные (рис. 5.1.3)), илипрейти к выбору данных, нажав на кнопку «Задать исходные данные». В этомслучае программа предлагает ввести следующие параметры иммерсионнойсистемы ультрафиолетовой литографической установки, необходимые дляпоследующих расчетов (рис.

5.1.4):1) длину волны электромагнитного излучения источника;2) иммерсионную жидкость (жидкости в списке расположены в порядкевозрастания их показателя преломления);3) использование методик уменьшения длины волны;4) коэффициент разрешающей способности проекционной системы.После внесения в программу всех необходимых параметров пользователюнеобходимо нажать кнопку «Произвести расчет параметров».181Система производит расчеты, основываясь на математических выкладках,приведенных в главе 1 данной работы. Параметры иммерсионной системы,рассчитанные с помощью данной программы, представлены на рис. 5.1.5.После завершения расчетов пользователь может произвести повторныйввод расчетных параметров, нажав на кнопку «Ввод новых параметров», илизакончить расчеты, выбрав кнопку «Выход из программы».Тип ЭВМ: IBM PC-совместимые ПК.Язык программирования: Delphi XE.Операционная система: Windows XP/2003/Vista/2008/Seven/8/8.1/10.Объем программы: 1013 Kb.182Рис.

5.1.1. Блок-схема программы расчета параметров иммерсионной системыультрафиолетовой литографической установки183Рис. 5.1.2. Основное окно пользовательского интерфейса программыРис. 5.1.3. Справочная информация о программе184Рис. 5.1.4. Ввод необходимых для расчета параметров установкиРис. 5.1.5.

Расчетные параметры иммерсионной системы185Код программыПримечание:иммерсионнойвсесистемынадписивпрограммеультрафиолетовой«Расчетпараметровлитографическойустановки»выполнены с использованием кодировки UTF-8.Логика программы:unit Unit5;interfaceusesWindows, Messages, SysUtils, Variants, Classes, Graphics, Controls, Forms,Dialogs, StdCtrls;typeTForm5 = class(TForm)Label1: TLabel;Label2: TLabel;Button1: TButton;Button2: TButton;procedure Button1Click(Sender: TObject);procedure Button2Click(Sender: TObject);private{ Private declarations }public{ Public declarations }end;varForm5: TForm5;implementationuses Unit6, Unit7;186{$R *.dfm}procedure TForm5.Button1Click(Sender: TObject);beginForm5.Hide;Form6.Show;end;procedure TForm5.Button2Click(Sender: TObject);beginForm5.Hide;Form7.Show;end;end.unit Unit6;interfaceusesWindows, Messages, SysUtils, Variants, Classes, Graphics, Controls, Forms,Dialogs, StdCtrls;typeTForm6 = class(TForm)Label1: TLabel;Label2: TLabel;Label3: TLabel;Label4: TLabel;Label5: TLabel;Label6: TLabel;187Label7: TLabel;Label8: TLabel;Button1: TButton;Label9: TLabel;Label10: TLabel;Label11: TLabel;Label12: TLabel;Label13: TLabel;Label14: TLabel;Label15: TLabel;procedure Button1Click(Sender: TObject);procedure FormClose(Sender: TObject);private{ Private declarations }public{ Public declarations }{задать переменные для запоминания}end;varForm6: TForm6;implementation{$R *.dfm}uses Unit5;procedure TForm6.Button1Click(Sender: TObject);beginForm6.Close;Form5.Show;188end;procedure TForm6.FormClose(Sender: TObject);beginForm6.Close;Form5.Show;end;end.unit Unit7;interfaceusesWindows, Messages, SysUtils, Variants, Classes, Graphics, Controls, Forms,Dialogs, StdCtrls;typeTForm7 = class(TForm)Label1: TLabel;Label2: TLabel;Label3: TLabel;Label4: TLabel;Label5: TLabel;Label6: TLabel;Label7: TLabel;Label8: TLabel;Label9: TLabel;ComboBox1: TComboBox;ComboBox2: TComboBox;Label10: TLabel;Label11: TLabel;189ComboBox3: TComboBox;Label12: TLabel;ComboBox4: TComboBox;Button1: TButton;procedure Button1Click(Sender: TObject);private{ Private declarations }public{ Public declarations }NA:real;{числовая апертура системы}dlvpro:real; {длина волны после прохождения проекционной системы}dlvimm:real;{длинаволныпосле прохождениясистемы}К:real; {разрешение проекционной системы}razmer:real; {минимальный размер элемента}normy:integer; {проектные нормы техпроцесса}Ksystem:real; {коэффициент оптической системы}end;constsinO=0.973;varForm7: TForm7;иммерсионной190dlv:integer; {длина волны электромагнитного излучения}pokprel:real; {показатель преломления иммерсионной жидкости}koef:real;{коэффициент разрешающей способности системы}implementationuses Unit5, Unit8;{$R *.dfm}procedure TForm7.Button1Click(Sender: TObject);beginif ((ComboBox1.ItemIndex=-1) or (ComboBox2.ItemIndex=-1)or (ComboBox3.ItemIndex=-1) or (ComboBox4.ItemIndex=-1)) thenbeginshowmessage('Не все параметры определены!');endelsebeginif ((ComboBox1.Text='157')) thendlv:=157else if ((ComboBox1.Text='193')) thendlv:=193;if ((ComboBox2.Text='Деионизированная вода 1,445')) thenpokprel:=1.445else if ((ComboBox2.Text='Вазелиновое масло 1,503')) thenpokprel:=1.503else if ((ComboBox2.Text='Монобромнафталин 1,656')) thenpokprel:=1.656else if ((ComboBox2.Text='Йодистый метилен 1,741')) then191pokprel:=1.741;if (ComboBox3.Text='Не использовать') thenbegindlvpro:=dlv;endelse if (ComboBox3.Text='Использовать') thenbegindlvpro:=dlv*0.4;end;if ((ComboBox4.Text='0.30')) thenkoef:=0.3else if ((ComboBox4.Text='0.35')) thenkoef:=0.35else if ((ComboBox4.Text='0.40')) thenkoef:=0.4;NA:=sinO*pokprel;Form8.Label8.Caption:=floattostr(NA);Form8.Label9.Caption:=floattostr(dlvpro);dlvimm:=dlvpro/pokprel;Form8.Label10.Caption:=floattostr(dlvimm);razmer:=(koef*dlvimm)/NA;if ((razmer>63) and (razmer<=88)) then192normy:=90else if ((razmer>43) and (razmer<=63)) thennormy:=65else if ((razmer>31) and (razmer<=43)) thennormy:=45else if ((razmer>27) and (razmer<=31)) thennormy:=32else if ((razmer>23) and (razmer<=27)) thennormy:=28else if ((razmer>21) and (razmer<=23)) thennormy:=24else if ((razmer>18) and (razmer<=21)) thennormy:=22else if ((razmer>6) and (razmer<=17)) thennormy:=20;Form8.Label11.Caption:=floattostr(razmer);Form8.Label12.Caption:=inttostr(normy);Ksystem:=(razmer*NA)/dlvimm;if ((Ksystem<0.25) or (Ksystem>0.4)) thenForm8.Label15.Caption:='Не соответствует'elseForm8.Label15.Caption:='Cоответствует';Form8.Label17.Caption:=floattostr(Ksystem);Form7.Hide;Form8.Show;193end;end;end.unit Unit8;interfaceusesWindows, Messages, SysUtils, Variants, Classes, Graphics, Controls, Forms,Dialogs, StdCtrls;typeTForm8 = class(TForm)Label1: TLabel;Label2: TLabel;Label3: TLabel;Label4: TLabel;Label5: TLabel;Label6: TLabel;Label7: TLabel;Button1: TButton;Button2: TButton;Label8: TLabel;Label9: TLabel;Label10: TLabel;Label11: TLabel;Label12: TLabel;Label13: TLabel;Label14: TLabel;Label15: TLabel;194Label16: TLabel;Label17: TLabel;procedure Button1Click(Sender: TObject);procedure Button2Click(Sender: TObject);private{ Private declarations }public{ Public declarations }end;varForm8: TForm8;implementationuses Unit5, Unit6, Unit7;{$R *.dfm}procedure TForm8.Button1Click(Sender: TObject);beginForm8.Close;Form7.Show;Form7.ComboBox1.ItemIndex:=-1;Form7.ComboBox2.ItemIndex:=-1;Form7.ComboBox3.ItemIndex:=-1;Form7.ComboBox4.ItemIndex:=-1;end;procedure TForm8.Button2Click(Sender: TObject);beginForm8.Close;195Form7.Close;Form5.Close;end;end.Описание используемых форм:object Form5: TForm5Left = 0Top = 0Caption =#1056#1072#1089#1095#1077#1090''#1087#1072#1088#1072#1084#1077#1090#1088#1086#1074''#1080#1084#1084#1077#1088#1089#1080#1086#1085#1085#1086#1081''#1089#1080#1089#1090#1077#1084#1099''#1091#1083#1100#1090#1088#1072#1092#1080#1086#1083#1077#1090#1086#1074#1086#1081' '#1083#1080#1090#1086#1075#1088#1072#1092 +#1080#1095#1077#1089#1082#1086#1081''#1091#1089#1090#1072#1085#1086#1074#1082#1080' 'ClientHeight = 310ClientWidth = 500Color = clBtnFaceFont.Charset = DEFAULT_CHARSETFont.Color = clWindowTextFont.Height = -11Font.Name = 'Tahoma'Font.Style = []OldCreateOrder = False196Position = poScreenCenterPixelsPerInch = 96TextHeight = 13object Label1: TLabelLeft = 59Top = 56Width = 395Height = 18Caption=#1055#1088#1086#1075#1088#1072#1084#1084#1072''#1088#1072#1089#1095#1077#1090#1072''#1087#1072#1088#1072#1084#1077#1090#1088#1086#1074''#1080#1084#1084#1077#1088#1089#1080#1086#1085#1085#1086#1081''#1089#1080#1089#1090#1077#1084#1099' 'Font.Charset = DEFAULT_CHARSETFont.Color = clWindowTextFont.Height = -15Font.Name = 'Tahoma'Font.Style = []ParentFont = Falseendobject Label2: TLabelLeft = 88Top = 91Width = 332Height = 18Caption=#1091#1083#1100#1090#1088#1072#1092#1080#1086#1083#1077#1090#1086#1074#1086#1081'197'#1083#1080#1090#1086#1075#1088#1072#1092#1080#1095#1077#1089#1082#1086#1081' '#1091#1089#1090#1072#1085#1086#1074#1082#1080Font.Charset = DEFAULT_CHARSETFont.Color = clWindowTextFont.Height = -15Font.Name = 'Tahoma'Font.Style = []ParentFont = Falseendobject Button1: TButtonLeft = 192Top = 224Width = 105Height = 33Caption = #1054' '#1087#1088#1086#1075#1088#1072#1084#1084#1077TabOrder = 0OnClick = Button1Clickendobject Button2: TButtonLeft = 152Top = 152Width = 185object Form6: TForm6Left = 0Top = 0Caption = #1054' '#1087#1088#1086#1075#1088#1072#1084#1084#1077ClientHeight = 350ClientWidth = 500198Color = clBtnFaceFont.Charset = DEFAULT_CHARSETFont.Color = clWindowTextFont.Height = -11Font.Name = 'Tahoma'Font.Style = []OldCreateOrder = FalsePosition = poScreenCenterPixelsPerInch = 96TextHeight = 13object Label1: TLabelLeft = 24Top = 16Width = 431Height = 18Caption=#1056#1072#1089#1095#1077#1090''#1087#1072#1088#1072#1084#1077#1090#1088#1086#1074''#1080#1084#1084#1077#1088#1089#1080#1086#1085#1085#1086#1081''#1089#1080#1090#1077#1084#1099''#1091#1083#1100#1090#1088#1072#1092#1080#1086#1083#1077#1090#1086#1074#1086#1081Font.Charset = DEFAULT_CHARSETFont.Color = clWindowTextFont.Height = -15Font.Name = 'Tahoma'Font.Style = []ParentFont = Falseendobject Label2: TLabel199Left = 24Top = 40Width = 195Height = 18Caption=#1083#1080#1090#1086#1075#1088#1072#1092#1080#1095#1077#1089#1082#1086#1081' '#1091#1089#1090#1072#1085#1086#1074#1082#1080Font.Charset = DEFAULT_CHARSETFont.Color = clWindowTextFont.Height = -15Font.Name = 'Tahoma'Font.Style = []ParentFont = Falseendobject Label3: TLabelLeft = 72Top = 184Width = 95Height = 13Caption = 'Product version :'Font.Charset = DEFAULT_CHARSETFont.Color = clWindowTextFont.Height = -11Font.Name = 'Tahoma'Font.Style = [fsBold]ParentFont = Falseendobject Label4: TLabelLeft = 173200Top = 184Width = 16Height = 13Caption = '1.0'endobject Label5: TLabelLeft = 72Top = 203Width = 67Height = 13Caption = 'Developers:'Font.Charset = DEFAULT_CHARSETFont.Color = clWindowTextFont.Height = -11Font.Name = 'Tahoma'Font.Style = [fsBold]ParentFont = Falseendobject Label6: TLabelLeft = 173Top = 203Width = 88Height = 13Caption = #1050#1086#1089#1090#1086#1084#1072#1088#1086#1074''#1055'.

Характеристики

Список файлов диссертации