Диссертация (1137255), страница 22
Текст из файла (страница 22)
Копии Патентов РФ и Свидетельств о государственнойрегистрации программ для ЭВМВ диссертационной работе представлены технические решения устройств,защищенных патентами Российской Федерации на полезные модели:1.Патент на полезную модель 104508 Российская федерация, МПК7B 82 B 1/29;B 82 B 19/00.B 82 B 5/00;Устройстводляформированиянанодорожек на подложке / Костомаров П. С., Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.,Степанчиков С.
В., Якункин М. М.; заявитель и патентообладатель Москва.МИЭМ. - № 2010146414/07; заявл. 15.11.2010; опубл. 20.05.2011, Бюл. № 14.2.Уведомлениеопоступлениизаявки.Входящий№ 015333.Регистрационный № 2015109671. Дата поступления 19.03.2015. Устройство длявыполнения литографических операций / Костомаров П. С., Ивашов Е. Н.3.Патент на полезную модель 106969 Российская федерация, МПК7G 02 F 1/015.УстройствоКостомаровП. С.,Лучников П.
А.;формированияИвашов Е. Н.,заявительиизображениянаКорпачев М. Ю.,патентообладательподложке /Кузнецов П. С.,Москва.МИЭМ.-№ 2010146413/28; заявл. 15.11.2010; опубл. 27.07.2011 Бюл. № 21.4.Патент на полезную модель 104509 Российская федерация, МПК7B 82 B 1/29;нанодорожекB 82 B 5/00;/B 82 B 19/00.Костомаров П. С.,УстройстводляИвашов Е. Н.,формированияКорпачев М. Ю.,Кузнецов П. С., Лучников П.
А.; заявитель и патентообладатель Москва.МИЭМ. - № 2010146415/07; заявл. 15.11.2010; опубл. 20.05.2011, Бюл. № 14.А так же программа «Расчет параметров иммерсионной системыультрафиолетовой литографической установки»:5.программыСвидетельство 2012615832 РФ об официальной регистрациидля ЭВМ.ультрафиолетовойРасчетпараметровлитографическойиммерсионнойустановки/системыКостомаров П. С.,Ивашов Е. Н., Корпачев М. Ю.; заявитель и патентообладатель Москва. МИЭМ.- № 2012613387; заявл.
26.04.2012; зарег. 26.06.2012.221222223224225226Приложение 3. Копии наградных Дипломов за участие в Международныхнаучно-технических конференцияхРезультаты научных исследований, изложенных диссертационной работе«Моделированиепроцессаформированияобъектоввиммерсионнойультрафиолетовой литографии» были представлены на Международныхнаучно-техническихконференциях«INTERMATIC–2013»и«INTERMATIC – 2014», где были получены наградные дипломы:1.Диплом лауреата конкурсной программы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2013» в области материалов итехнологий.2.Диплом лауреата конкурсной программы Международной научно-технической конференции «INTERMATIC – 2014» в области материалов итехнологий.227228229Приложение 4.
Акты внедрения результатов работыРезультаты научных исследований, изложенных диссертационной работе«Моделированиепроцессаформированияобъектоввиммерсионнойультрафиолетовой литографии» были внедрены:1)в учебный процесс Московского института электроники иматематики Национального исследовательского университета «Высшая школаэкономики»;2)в научно-исследовательский процесс Научно-исследовательскогоинститута предельных технологий.Ниже представлены соответствующие акты.230231.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
