Диссертация (1137255), страница 13
Текст из файла (страница 13)
Поэтому, отношение « » должно бытьтранзитивным [67].Подкласс совокупности сущностей формирует уровень безопасности тойинформации, которая в нем содержится. Следует также предусмотретьвозможность для передачи информации самой себе, применительно к однойсовокупностисущностей.Значит,отношение« »следуетсчитатьрефлексивным.Схема реализации адаптивного управления.Теперь рассмотрим схему реализации адаптивного управления спомощью прогностической оценки параметра эффективности, заложенной воснову методики выбора альтернативных вариантов управления.116Пусть в некоторый момент времениопределённыхвариантовреализуется один изфункционирования литографическойустановки (далее ЛУ), который имеет вектор состояния(векторразмерности, векторРазвитие вектора состоянияпереходаразмерностипри).обеспечивается с помощью оператора(3.5.6):(3.5.6)здесь– одномерный шумовой вектор, который воздействует на систему;– один из вариантов управления ЛУ на момент .Для траекторий системыопределены потери, выражаемые функцией.
Схема определения вариантов управления ЛУзаключается в нахождении различных вариантов управленияпри, которые обеспечивают решение оптимизационной задачи (3.5.7)(3.5.7)применительно к множеству допустимых значений (3.5.8)(3.5.8)Такая постановка задачи является общей и состоит из различных частныхслучаев выбора наиболее оптимальных вариантов управления [68].Полагаем, что ЛУ характеризуется как n-мерныйгде– m-мерныйструктуруивектор,параметрический вектор, который описывает состав,вариантыфункционированиярассматриваемойФункционирование ЛУ происходит в интервале временинеравенством.Натраекторияхустановки.и описываетсяЛУопределен векторный критерий эффективности для даннойустановки –с размерностью.
Семействопредставляетсобой многомерный случайный процесс, который задан в некоторомпространстве вероятностейc совокупным множеством событий117, где– элементарное событие,– ϭ-алгебра, асобытия, которая определена на множествахСлучайныйлитографическийпоследовательностью),[63].процессопределеннавозрастающейпри(отрезкеадаптированным, если для каждогопредставляетсяcϭ-алгебркоторый– вероятность,называетсятакого процессаизмеримым. Полагаем, чтопредставляетсобой возрастающую совокупность семейств ϭ-подалгебр ϭ-алгебры. Длякаждого момента остановки литографического процесса сопоставляетсяϭ-алгебра подмножествво множествепри любых, которые удовлетворяют условию. События подмножестваследуетсчитать предшествующими к .Определим верхнюю (3.5.9) и нижнюю (3.5.10) временные границы двухнезапланированных моментов остановкиипосредством отношенияпорядка моментов:(3.5.9)(3.5.10)здесь область определения естьЕсли[66].является некоторым вероятностным пространством,– момент, в который произошла остановка ЛУ, определенный наприменительноквозрастающемуявляетсяслучайнымадаптирован кмножествосемействумногомерным,процессом,, то отображениебудет являтьсяакоторыймножествавизмеримым, при условии, что для моментаостановки полагаем счетное множество совокупных значений [63].Рассмотрим многоэтапное функционирование ЛУнекоторой последовательности моментов остановкипосредством, обозначив за118число отдельных этапов технологического функционирования ЛУ [69].
Этапыопределены как результат выполнения целевых операций, при которыхпроисходит уменьшение условий функционирования ЛУ. Это связано с тем, чтоЛУ функционирует в различных областяхСлучайные моменты остановкимоментами во множествафазового пространства.для ЛУ определены временными, причем множестваимеют попарных пересечений:не.Пусть совокупность множествсоответствует свойствамнеобратимости применительно к времени функционирования ЛУ (3.5.11):(3.5.11)при условии, чтоиВ этом случае.– вероятность, которая задана применительно кфазовому пространству траекторий для рассматриваемой ЛУ. Совокупностьмножествформирует функционирование ЛУ.
При этом возврат напредыдущие этапы невозможен при возможности перехода на другие этапыфункционирования, которые имеют индексы отличия более единицы (3.5.12):(3.5.12)прии.Для нескольких альтернатив в ходе технологического функционированияЛУ не представляется возможным выполнение только некоторых этаповфункционирования [70].Покажем, что для каждого этапа функционирования ЛУпримножество критериевопределяют цели ифункциональные задачи каждого из модулейкритериевЛУ,. Каждый изопределяет цель функционирования ЛУна i-м этапе. В технологических задачах управления каждому модулюопределеноконечноеколичествослучаевцелевогофункционирования.119Например, i-му этапу для модулейбудет соответствовать числоцелей (3.5.13):для 1-го модуля,для 2-го модуля,(3.5.13)…..для М-го модуляпри,.
Для критерияопределено качество выполнениятехнологической цели функционирования для j-гомодуля ЛУ накаждом i-м этапе[71].из совокупностиС учетом наличия общего критерия эффективности, которыйотражает качество исполнения целевого задания всей совокупности модулей наУФ-тракте при i-м этапе, функционирование отдельно взятого модуля ЛУможет быть оптимизировано, а все его альтернативные решения содержатся впараметрическом множествемножества.
Поэтому структура параметрическогобудет иметь иерархический вид (3.5.14):(3.5.14)здесьявляется первым компонентом параметра, который определятсявыбором цели функционирования для j-го модуля при(3.5.15):(3.5.15)При объединении двух последних включений в одно с индексомлогично полагать, чтокомпонентоввектора. Для возможных значенийопределяются альтернативные наборыпараметров для целевой реализации функционирования отдельных модулейЛУ [63].Еслипервыйкомпонентвыбран,тоединственным изменяемым.
Будем полагать, чтопринадлежитевклидовупространствувторойпредставляется– m-мерный вектор, который.Сучетомвыполнения120компьютерных алгоритмов управления крайне важен случай, когда значениекомпонентовпредставляет собой дискретное множество.Для того, чтобы решить задачу выбора варианта управления защищеннойсистемой, необходимо учесть ряд следующих особенностей: структурную сложность защищенной системы; функциональную сложность режимов защищенной системы; изменения сложности и целевых задач в ходе функционирования; многофакторность и непредсказуемость заведомо характера условийпроцесса функционирования.Данные особенности приводят к необходимости использования систем садаптивным управлением. Адаптация – способность системы к гибкомуреагированию на факторы реального процесса функционирования.
Ихвнедрениесвязаносраспространениемиразвитиемсовременныхвычислительных средств, которые позволяют реализовывать управление вмасштабе реального времени. При создании современных систем управлениястремятся рационально комбинировать принципы управления автономного и собратной связью.121Выводы по главе 31.Использование эффекта обращения волнового фронта обеспечиваетсоздание высоконаправленного светового потока, компенсируя искажения повсей трассе прохождения пучка лучей. Рассмотрены основные направленияприменения данного эффекта, подходящие для использования в устройствах,направленных на получения элементов с проектными нормами не более 32 нм.2.Предложеноформальноеописаниеобобщеннойпроективнойморфологии. Приведена краткая сводка ее свойств и способов ее применения взадачах анализа изображений. Исследованы различные конструктивные схемыпостроения проективных операторов анализа цифровых данных.3.Решение задачи морфологической коррекции в литографическойтехнологии позволяет сравнивать результаты моделирования с первоначальнойтопологией.Вслучаенесоответствияосуществляетсякорректировкапервоначальной модели, которая повторяется итерационно до тех пор, пока призаданных допусках условия оптимальности не будут достигнуты.4.Рассмотрена задача оптимизации объекта проектирования в ИУФЛс использованием метода группового учета аргументов.
Использование данногометода для проведения оптимизации УФТ позволяет существенно сократитьресурсы ЭВМ, прежде всего машинное время, поскольку «первичная модель» вэтом случае используется лишь для получения 10–20 значений целевойфункции, образующих общую последовательность.5.Предложенный обобщенный критерий оценки качества позволяетоптимизировать процесс формирования топологии объектов в ИУФЛ, учитываяфункционально-технологические,структурно-параметрические,экономико-экологические требования с последующим выбором наиболее рациональноговарианта УИУФЛ.1226.Проведено физико-математическое моделирование оптимальногоуправления процессом формирования электронных объектов методом ИУФЛ стем,чтобыдефектов.предотвратитьпоявлениенежелательныхтехнологических123ГЛАВА4.СИНТЕЗАЛГОРИТМОВПОИСКАТЕХНИЧЕСКИХРЕШЕНИЙ УСТРОЙСТВ ОБОРУДОВАНИЯ ДЛЯ ИММЕРСИОННОЙУЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ ЛИТОГРАФИИ4.1.Спецификаморфологическогоанализа-синтезапривыборетехнических решений устройств ультрафиолетовой литографииМетод морфологического анализа-синтеза позволяет, проанализировавосновные функциональные и структурные признаки группы устройств ИУФЛ,произвести выбор альтернативных вариантов изготовления оборудования иреализации технологического процесса.
Различные сочетания вариантов иреализаций определяют множество альтернативных решений, некоторые изкоторыхбудутпредставлятьинтерессточкизренияпрактическойреализации [72].Данный метод подразумевает алгоритмическое выполнение операций.Общую функцию проектируемого УИУФЛ расчленяют на частные функции,после чего отыскивают возможные способы их выполнения. Таким образом,вариант одного из технических решений (4.1.1) представляется тем или инымсочетаниемнайденныхспособоввыполненияполученныхчастныхфункций [72, 73].(4.1.1)где– конкретный элемент из совокупности технических решений;совокупность полного множества технических решений;реализации функции ;–– способ– совокупность способов выполнения функции .В случае составления варианта технического решения УИУФЛ спомощью подбора различных сочетаний способов выполнения частныхфункций, их общее количество составит (4.1.2)124(4.1.2)где– общее количество частных функций;– общее количество средствдостижения конкретной частной функции.В процессе выполнения процедуры проектирования устройство ИУФЛдолжно получить сначала функциональное описание, затем – структурное.С помощью схемы, приведенной на рисунке 4.1.1, можно представитьлюбое техническое решение [74].Рис.
4.1.1. Обобщенное техническое решение устройства ИУФЛНа схеме прямоугольниками обозначают следующие функциональныеэлементы:– совокупность входных параметров;выходных параметров;– совокупность– совокупность неизменных структурных величин;– совокупность управляющих воздействий.125Затем можно создать дифференцированную функциональную схему,выделяя частные функции [75, 76].Функционально описание технического решения устройства ИУФЛможет быть получено с применением другого подхода, основанного на модели«черного ящика».
Форма описания функции исследуемого устройства,указывающая только на его состояния в начальный и конечный период, имеетвид (4.1.3):(4.1.3)где–функцияисследуемоготехнического– состояние устройства в начальный период,заключительный период,ДругойподходустройстваИУФЛ,– состояние устройства в– знак, определяющий преобразование.кфункциональномуописаниюосновываетсянаэлементарной форме описания функции, включающей в себя специальныеусловия и ограничения (4.1.4):(4.1.4)где– специальные условия и ограничения.Элементарная форма в виде трех компонент имеет вид (4.1.5):(4.1.5)где– действие, производимое устройством ИУФЛ, приводящее получениюжелаемого результата;– объекты, подвергаемые воздействию в ИУФЛ;– специальные условия [74].В процессе функционального описания может выясниться, что действийи объектовбудет несколько, причем чаще всего они объединяютсялогическими связями (конъюнкция, дизъюнкция).Совершенствовать функциональную модель возможно путем сокращениячисла функций и увеличения их гибкости.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
