сведения о вед.орг (1105292)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физикотехнологический институт Российской академии наук (ФТИАН РАН)адрес: 117218, г. Москва, Нахимовский проспект, д. 36/1телефон: +7 (499) 129-54-92e-mail: lukichev@ftian.ruсайт: ftian.ruСписок основных публикаций работников организации по теме диссертацииза последние 5 лет:1) Привезенцев В.В., Куликаускас В.В., Затекин В.В., Кириленко Е.П.,Горячев А.В., Батраков А.А., Исследование кремния, легированногоионами 64Zn+ в условиях горячей имплантации // Известия РАН. Серияфизическая, 2016.т. 80, № 2, с.

168.2) Privezentsev V.V., Kulikauskas V.S., Palagushkin A.N., Steinman E.A.,Tereshchenko A.N., Batrakov A.A., Ksenich S.N., ZnO nanoparticleformation in 64Zn+ Ion implanted Al2O3 // Solid State Phenomena, 2016.Vol. 242, p. 396-401.3) Брук М.А., Жихарев Е.Н., Стрельцов Д.Р, Кальнов В.А., Спирин А.В.,Рогожин А.Е., Некоторые особенности нового метода формированиямикрорельефа путём прямого электронно-лучевого травления резиста //Компьютерная Оптика, 2015. т. 39, № 2, c. 204-210.4) Privezentsev V.V., Shemukhin A.A., Petrov D.V., Trifonov A.Y., SaraykinV.V., Lutzau A.V., ZnO nanoparticle formation in Si by co-implantation ofZn+ and O+ ions // Solid state phenomena, 2014. Vol.

205-206, pp. 502-508.5) Брук М.А., Жихарев Е.Н., Стрельцов Д.Р, Кальнов В.А., Спирин А.В.Новый метод формирования маскирующего изображения (рельефа)путём прямого электронно-лучевого травления резиста // В кн. ТрудыФТИАН, 2014. т. 24 “Квантовые компьютеры, микро- инаноэлектроника (физика, технология, диагностика и моделирование)”,М: Наука, 264 с. – с. 155-162.6) Брук М.А., Жихарев Е.Н., Кальнов В.А., Спирин А.В., Стрельцов Д.Р,Новый сухой метод формирования маскирующего изображения(рельефа) непосредственно в процессе электронно-лучевогоэкспонирования // Микроэлектроника, 2013.

Т. 42, № 5, с. 331-340.7) Кальнов В.А., Новиков Ю.А., Орликовский А.А., Работа электронноголитографа в режиме растрового электронного микроскопа //Микроэлектроника, 2012. Т. 41, № 6, с. 426..

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации