Отзыв на автореф. от Дюкова (1105286)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

В диссертационный совет Д 501.001.66 отзыв на автореферат диссертации Купреенко Степана Юрьевича "Электронная спектроскопия материалов и микроструктур в сканирующем электронном микроскопе", представленной на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.04.- физическая электроника.

Судя по содержанию автореферата, диссертация С. Ю. Купреенко посвящена развитию методов локальной диагностики материалов и микроструктур с помощью растрового электронного микроскопа (РЭМ) с детектированием "быстрых" электронов с селекцией, а также совершенствованию средств их реализации. В работе получены новые результаты, уточняющие закономерности вторичной эмиссии и зарядки образцов с низкой электропроводностью. Можно согласиться с содержащимся в реферате утверждением, что аналитическая электронная спектроскопия на основе РЭМ не получила должного развития у исследователей.

Последние достижения по этой тематике были отражены в монографии (автор А. К1шгзЬеес1), изданной более 6 лет назад. С учетом вышесказанного актуальность темы сомнений не вызывает. В спектре вторичной эмиссии иногда выделяют упруго- и квази- упруго отражйнные, неупругоотраженные (в т, ч. с характеристическими потерями) электроны, а также "медленные" истинно вторичные (ВЭ). В то же время все "быстрые" электроны, создшощие Е-контраст, принято называть обратно рассеянными (ОРЭ или (ВЯЕ)). В реферате же вместо ОРЭ фигурирует ОЭ, что, впрочем, не мешает правильному восприятию содержания. В теоретическом разделе работы приведены полученные автором полуэмпирические выражения, описывающие форму спектров ОРЭ для массивных образцов и структур "плднка на подложке", которые, в частности, позволяют оптимизировать режимы соответствующих измерений.

Основные эксперименты выполнялись с применением РЭМ 1.ЕО-!455 с безмасляным вакуумом в камере образцов, оснащ6нным тороидальным спектрометром, а также оригинального кольцевого детектора ОРЭ. Описанные в работе результаты наглядно демонстрируют повышенные информативные возможности разработанных методик и аппаратуры, и отличаются практической полезностью. Основные результаты, изложенные в работе„были вполне полноценно представлены на ряде специализированных конференций и опубликованы в виде научных статей и тезисов докладов. В заключение можно констатировать, что в диссертации подытожены результаты обстоятельных н оригинальных исследований, которые существенно уточняют закономерности вторичной эмиссии и зарядки электронами диэлектрических структур.

Работа С. К). Купреенко носит законченной характер, имеет научную и практическую ценность„выполнена на высоком уровне и соответствует всем требованиям, предъявляемым ВАК к кандидатским диссертациям, а сам автор, без сомнения, заслуживает присуждения ученой степени кандидата физико-математических наук по специальности 01.04.04.

- физическая электроника. В,Г. Дюков НП "Лаборатория анализа микрочастиц", г. н.с. д. ф.-м. н., доц., (р. т, 499-! 27-04-96) Подпись Дюкова Валентина Георгиевича Директор, к.т.н., с.н.с. В,А. Стебельков .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации