Заключение совета (1105282)
Текст из файла
ЗАКЛЮЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 501.001.66 НА БАЗЕФГБОУ ВО «МОСКОВСКИЙ ГОСУДАРСТВЕННЫЙ УНИВЕРСИТЕТ ИМЕНИМ.В. ЛОМОНОСОВА» ПО ДИССЕРТАЦИИ НА СОИСКАНИЕ УЧЕНОЙСТЕПЕНИ КАНДИДАТА НАУКаттестационное дело № ______________________решение диссертационного совета от 1 июня 2017 г., № 2О присуждении Купреенко Степану Юрьевичу, гражданину РФ, ученойстепени кандидата физико-математических наук.Диссертация «Электронная спектроскопия материалов и микроструктур всканирующем электронном микроскопе» по специальности 01.04.04 – физическаяэлектроникапринятакзащите23марта2017г.,протокол№1П,диссертационным советом Д 501.001.66 на базе Московского государственногоуниверситета имени М.В.Ломоносова (119991, Москва, Ленинские горы, д.1),созданным 19.10.2007, приказ № 2048-1287.Соискатель Купреенко Степан Юрьевич, 1990 года рождения, в 2013 годуокончил физический факультет Московского государственного университетаимени М.В.
Ломоносова, в 2017 году окончил аспирантуру физическогофакультета Московского государственного университета имени М.В. Ломоносова,работает сервисным инженером в ООО «Нанопроимпорт».Диссертация выполнена на кафедре физической электроники физическогофакультетаФедеральногогосударственногобюджетногообразовательногоучреждения высшего образования Московский государственный университетимени М.В. Ломоносова.Научный руководитель – доктор физико-математических наук Рау ЭдуардИванович, главный научный сотрудник кафедры физической электроникифизическогофакультетаобразовательногоФедеральногоучреждениявысшегогосударственногообразованиягосударственный университет имени М.В.
Ломоносова.Официальные оппоненты:бюджетногоМосковский2Филиппов Михаил Николаевич, доктор физико-математических наук, профессор,заведующий лабораторией химического анализа Федерального государственногобюджетного учреждения науки Институт общей и неорганической химии им. Н.С.Курнакова Российской академии наук,Якимов Евгений Борисович, доктор физико-математических наук, профессор,главныйнаучныйсотрудниклабораториилокальнойдиагностикиполупроводниковых материалов Федерального государственного бюджетногоучреждениянаукиИнститутпроблемтехнологиимикроэлектроникииособочистых материалов Российской академии наукдали положительные отзывы на диссертацию.Ведущая организация Федеральное государственное бюджетное учреждениенауки Физико-технологический институт Российской академии наук (Москва) всвоем положительном заключении, подписанном старшим научным сотрудникомлаборатории микроструктурирования и субмикронных приборов, кандидатомфизико-математических наук Мяконьких А.В.
и утвержденном директором,членом-корреспондентомРАН,докторомфизико-математическихнаукЛукичёвым В.Ф. указала, что диссертация Купреенко С.Ю. представляет собойзаконченную научно-исследовательскую работу по актуальной современнойтематике. В работе получен ряд новых научных и прикладных результатов, всовокупности представляющих существенный вклад в развитие электроннозондовых технологий и методов диагностики микро- и наноструктур.
По новизнеи объёму достигнутых результатов, достоверности, научной и практическойзначимостивыводовонаудовлетворяеттребованиям,предъявляемымМинистерством образования РФ к кандидатским диссертациям, а её автор –Купреенко Степан Юрьевич является высококвалифицированным специалистом вобласти микроэлектроники и электронно-зондовой микроскопии. Купреенко С.Ю.заслуживает присуждения учёной степени кандидата физико-математическихнаук по специальности 01.04.04 – физическая электроника.Соискатель имеет 13 опубликованных работ (5 статей в журналах из перечня ВАКи 8 тезисов на российских и международных конференциях), в том числе по темедиссертации 13 работ, опубликованных в рецензируемых научных изданиях 5.3Публикации содержат новые оригинальные результаты по методикам электроннозондовой диагностики материалов и микроструктур. Вклад соискателя вподготовку публикаций является определяющим.1.
Рау Э.И., Дицман С.А., Зайцев С.В., Лермонтов Н.В., Лукьянов А.Е.,Купреенко С.Ю. Анализ формул для расчета основных характеристикотраженных электронов и сравнение с экспериментальными результатами// Известия РАН. Серия физическая. 2013. Т. 77, № 8, с. 1050-10582. Зайцев С.В., Купреенко С.Ю., Лукьянов А.Е., Рау Э.И.
Оптимизациякольцевых полупроводниковых детекторов обратно рассеянныхэлектронов в РЭМ // Известия РАН. Серия физическая. 2014. Т. 78, № 9, с.1077-10833. Зайцев С.В., Купреенко С.Ю., Рау Э.И., Татаринцев А.А. Характеристикии применения полупроводниковых детекторов отражённых электронов всканирующем электронном микроскопе // ПТЭ. 2015. № 6, с. 51-594. Купреенко С.Ю., Орликовский Н.А., Рау Э.И., Тагаченков А.М.,Татаринцев А.А. Определение толщин ультратонких поверхностныхплёнок в наноструктурах по энергетическим спектрам отражённыхэлектронов // ЖТФ. 2015. Т. 85, № 10, с. 101-1045.
Зайцев С.В., Купреенко С.Ю., Лукьянов А.Е., Рау Э.И., Татаринцев А.А.,Хайдаров А.А. Новые возможности и некоторые артефакты режимакатодолюминесценции в сканирующей электронной микроскопии //Известия РАН. Серия физическая. 2016. Т. 8, № 12, с. 1623-1628На диссертацию и автореферат поступили отзывы:1. Дюков В.Г., д.ф.-м.н., доц., г.н.с. НП «Лаборатория анализа микрочастиц».Без замечаний.2. Афанасьев В.П., д.ф.-м.н., проф. каф. Общей физики и ядерного синтезаНИУ МЭИ. Без замечаний3. Боргардт Н.И., зав. каф.
общей физики НИУ МИЭТ. Замечания: «Хотя вавтореферате говорится об использовании большого числа вычислений иэкспериментов для получения полуэмпирической формулы для расчёта4коэффициента отражения от плёнок заданной толщины, однако остаётсянеясным, каким образом определялись входящие в неё парметры, дляобразцов скольких элементов выполнялось сравнение расчётных иэкспериментальныхвычислятьданных,коэффициентрасположенныхнапозволяютотраженияповерхностилиотполученныевыраженияметаллическихактуальныхдляплёнок,микроэлектроникикремниевых подложек.»Все отзывы положительные.
Указывается, что сделанные замечания не снижаютзначимости полученных в диссертации результатов и не влияют общуюположительную оценку работы.Выбор официальных оппонентов и ведущей организации обосновывается тем, чтооппоненты являются специалистами в области сканирующей электронноймикроскопии и электронно-зондовой диагностики, имеют публикации поуказаннойтематике,достижениямиваведущаяобластиорганизациясканирующейширокоэлектроннойизвестнасвоимимикроскопииивзаимодействия заряженных частиц с твёрдым телом.Диссертационный совет отмечает, что на основании выполненныхсоискателем исследований:1.
Получено новое полуэмпирическое выражение энергетических спектровобратнорассеянных электронов, хорошо коррелирующее с экспериментальнымиданными для массивных мишеней из элементов с различными порядковыминомерами Z (алюминий, медь, золото) при энергиях первичного пучка E0 ≥ 10 кэВ.2. Предложенановаяконфигурациякольцевыхполупроводниковыхдетекторов отражённых электронов в сканирующем электронном микроскопе спеременным углом наклона и различной шириной кольцевых полосок детектора внесколько раз повышающая их эффективность (в 4 раза при угле детектированияθ = 60° и в 8.5 раз при θ = 70°).
Разработана новая модель трёхмернойреконструкциитопографическогорельефаповерхностимикроструктурвсканирующем электронном микроскопе с помощью сигналов отфильтрованныхпо энергии вторичных или отраженных электронов.53. Усовершенствованы электронно-зондовые методы определения толщинлокальных ультратонких плёнок на гладких массивных подложках придетектировании либо интегральных, либо дифференциальных (по спектрам)сигналов отраженных электронов на основе предложенных соотношений и сучетом аппаратной функции отклика детекторов. Пределы применимости,чувствительность в определении толщин, погрешности измерений зависят отсоотношения порядковых номеров Z материалов плёнки и подложки и от энергиипервичного пучка E0.
Погрешности предложенных методов, как правило, лежат вдиапазоне от 5 до 30 %.4. Разработаны два новых метода оценки поверхностных высоковольтныхпотенциалов заряженных диэлектриков, основанных на измерении сигналовкатодолюминесценции и средней энергии эмитированных электронов.5. Предложен новый сценарий зарядки диэлектрических мишеней приэлектронном облучении на основе впервые обнаруженного нового эффектаповышения коэффициента эмитированных электронов за счет ускоренных вдвухслойном зарядовом поле термализованных первичных электронов – ”псевдоМалтер-эффект”.6.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
