Заключение совета (1105282), страница 2

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 2)

Выявленыиизученыособенностиэлектронно-лучевойзарядкидиэлектрических мишеней, подвергнутых предварительному облучению ионнымии электронными пучками, выявлена специфика в кинетике зарядки такихобразцов, как Al2O3 (сапфир) и SiO2.Теоретическая значимость исследования состоит в том, что:1. На основе анализа и необходимой модификации выражений дляпараметра затухания электронов в твёрдом теле и наиболее вероятной глубиныотражения обратнорассеяных электронов получена полуэмпирическая формуладля энергетических спектров, пригодная для практических применений.2. Обоснованы методы определения толщин ультратонких локальныхплёнок, нанесённых на массивные подложки, по измерениям интегральных илидифференциальных коэффициентов отражения электронов.

Указаны возможностии перспективы нового подхода к проблеме трёхмерной реконструкции топологии6поверхности микроструктур, основанного на детектировании энергетическиотфильтрованных вторичных или отражённых электронов.3. Теоретически изучен новый сценарий кинетики зарядки диэлектрическихмишеней, впервые учитывающий эффект повышения эмиссии вторичныхэлектронов за счёт термализованныхсвободныхпервичныхэлектронов,ускоренных в поле дипольного слоя зарядов облучаемой диэлектрическоймишени.Значение полученных соискателем результатов исследования для практикисостоит в том, что:1.

Полученные модифицированные выражения для ряда параметровобратного рассеяния электронов позволили применять сравнительно простыеаналитические выражения для прикладных исследований и экспресс-оценокэнергетических спектров отражённых электронов, толщин тонких плёночныхпокрытий, коэффициентов отражения и средней энергии отражённых электронов.2.

После полной реализации нового подхода по трёхмерной реконструкциитопологии поверхности микроструктур сканирующая электронная микроскопияполучит новый количественный метод трёхмерной визуализации микрорельефа,т.е. практически новый режим работы сканирующего электронного микроскопа синтересными и важными информативными возможностями.3. Раскрытие новых нюансов процесса электронной зарядки диэлектрическихмишеней позволяет предсказывать такие практически важные характеристики,как критические потенциалы зарядки поверхности, пробойные напряжения,количество аккумулируемых зарядов, дозовые зависимости зарядки, что важно вкосмическойтехнике,радиационно-чувствительноймикроэлектронике,электронно- и ионно-пучковых технологиях.Оценка достоверности результатов исследования выявила, что результатыисследованиямногократнопроверялисьсиспользованиемсовременнойаппаратуры, а также согласуются с широким спектром как экспериментальныхработ, так теоретических исследований из обширного списка цитируемойлитературы.7Личный вклад соискателя: приведённые в работе теоретические расчёты, атакже результаты экспериментальных исследований получены лично автором илипри его непосредственном определяющем участии.На заседании 1 июня 2017 г.

диссертационный совет принял решениеприсудить Купреенко С.Ю. ученую степень кандидата физико-математическихнаук.При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве22 человек, из них 7 докторов наук по специальности рассматриваемойдиссертации, участвовавших в заседании, из 25 человек, входящих в составсовета, проголосовали: за присуждение ученой степени – 22, против – нет,недействительных бюллетеней – нет.Председатель диссертационного совета,профессорАлександров Андрей ФедоровичУченый секретарь диссертационного совета,доцентКарташов Игорь Николаевич.

Характеристики

Список файлов диссертации