Заключение кафедры (1091013), страница 2

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла (страница 2)

Для модификации зондов кантилеверов применена технология ионно-лучевого препарирования и осаждения вольфрама из газовой фазы. Для изменения площади контактной области зонда произведена сверхлокальная обработка острия зонда путем воздействия фокусированного ионного пучка с током 1нА. Для осаждения вольфрама применен ионный пучок с ускоряющим напряжением 30 кИ и током 100пА.

Обсуждение диссертации; Сообщение доцента В.И. Индришенка. Ознакомившись с рукописью диссертации и автореферата Ю.Л. Шиколенко, я пришел к выводу, что тема диссертации является важной и актуальной, а полученные результаты— новыми и обоснованными. Результаты представленной работы имею~ важное практическое значение для выявления дефектов ячеек энергонезависимой памяти, а также для увеличения процента выхода годных кристаллов при производстве современных ИМС с внутренней памятью.

Считаю, что мы должны рекомендовагь диссертацию Ю.Л. Шиколенко к защите на соискание ученой степени кандидата технических наук. Председатель. Какие будут предложения? Предложение д,ф.-м.н., профессора А.А. Щуки: Предлагаю утвердить положительное заключение о диссертации аспиранта Шиколенко Ю.Л. и рекомендовать диссертацию к защите на соискание ученой степени кандидата технических наук.

Председатель: Есть другие предложения? Других предложений нет. Председатель: Предлагается принять открытым голосованием следующее заключение. Кафедра полупроводниковых приборов рекомендует диссертацию аспиранта Ю.Л. Шиколенко «Развитие методов сканирующей зондовой микроскопии для диагностики электрофизических параметров элементов хранения энергонезависимой памяти», к защите на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01- «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и нано- электроника„приборы на квантовых эффектах». Итоги открытого голосовании: За - 7, против - нет, Председатель; Предложение принято единогласно.

ПОСТАИОВИЛИ: рекомендовать диссертацию аспиранта Ю.Л, Шиколенко Ученый секретарь кафедры полупрОвОдниковых приборов к.х.н., доцент ,т: ' ' ' Г.Ф. Буря Заведующий кафедрой полупроводниковых приборов д.ф.-м.н., профессор, чл.-корр. РАН В.Ф.Лукичев «Развитие методов сканирующей зондовой микроскопии для диагностики электрофизических параметров элементов хранения энергонезависимой памяти», к защите на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01«Твердотельная электроника, радиоэлектронные компон~нты, микро- и нано- электроника, приборы на квантовых эффектах», .

Характеристики

Список файлов диссертации