отзыв ведущей организации (1090732)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

УТВЕРЖДАЮЗаместитель председателя НТС,директор центра микроэлектроники главный конструкторОТЗЫВ ВЕДУЩЕЙ ОРГАНИЗАЦИИна диссертацию и автореферат диссертации Дорошевича ПавлаВикторовича на тему:«Методы ускоренных испытаний сверхбольших интегральныхмикросхем на надежность»,представленных на соискание ученой степени кандидататехнических наук по специальности 05.02.23 - «Стандартизация иуправление качеством продукции»Актуальность темы исследованийОбеспечениекачестваинадежностимикросхемимеютособуюзначимость, так как характеристики этих изделий во многом определяюттактико-технические характеристики радиоэлектронной аппаратуры (РЭА)созданной на их основе.Существующие методы ускоренных испытаний на безотказность инаработкудоотказаразработаныприменительнокмикросхемамспроектными нормами 2, 3 мкм и более.

За последние годы предприятиямиразрабатываются сверхбольшие интегральные схемы (СБИС) с размерамиэлементов 0,6-0,13 мкм. Проводятся работы по разработке технологическихпроцессов для производства указанных СБИС. Уменьшение топологическихнорм делает необходимым уменьшение напряжений, толщин слоев окисла иметалла, а также диффузионных глубин и возрастаний легирования. Все этовлияет на физико-технические процессы, на энергию активации, характерву J 6- ю с 0^/31- ZOSS- ОТЖ 06.

АСНГотказов. В связи с этим возникает необходимость в исследованиях поопределению энергии активации, механизмов отказов и разработке методаускоренных испытаний на безотказность и наработку до отказа для СБИС сразмерами элементов 0,6-0,13 мкм. Проблемы определения возможныхвидов и причин отказов указанных СБИС, уточнения методов ускоренных иэкспериментальныхиспытанийв частирежимови плановконтроля,определения энергии активации актуальны и востребованы в современноммикроэлектронном производстве.В связи со сказанным, диссертационные исследования, направленныена решение проблемы проведения ускоренных испытаний на безотказность инаработку до отказа для СБИС с размерами элементов 0,6- 0,13 мкм,являются актуальными.Цельюисследованийявляетсярешениепроблемыопределенияэнергии активации, уточнения методов ускоренных и экспериментальныхиспытанийв частирежимови планов контроля,разработка методаускоренных испытаний на безотказность и наработку до отказа СБИС спроектными нормами 0,6 - 0,13 мкм.Для достижения поставленной цели в диссертационной работе авторомсформулированы и решены научные задачи:проведен анализ полученных результатов испытаний на безотказность,наработку до отказа и электротермотренировку СБИС с топологическиминормами 0,6 - 0,13 мкм и определены возможные виды и причины отказовСБИС;рассмотрены возможные методы ускоренных и экспериментальныхиспытаний и определены методы проведения исследований СБИС;уточнены методы ускоренных и экспериментальных испытаний в частирежимов и планов контроля;определены типы СБИС, на которых проведены испытания;2*определена энергия активации для СБИС с проектными нормами0,6 - 0,13 мкм;разработан метод ускоренных испытаний СБИС на безотказность инаработку до отказа.В ходе решения указанных задач автором получен ряд новых научныхрезультатов;1.

Результаты анализа и обобщения испытаний СБИС с проектныминормами0,6-0,13мкмнабезотказность,наработкудоотказаиэлектротермотренировку позволяющие определить виды и причины отказов,изменения (деградацию) параметров в процессе испытаний.2. Уточнены методы ускоренных и экспериментальных испытанийприменительно к СБИС в части режимов и планов контроля (коэффициентускорения).3. Определена энергия активации для СБИС с проектными нормами 0,60,13 мкм.

Значение энергии активации составляет величину на 0,1-0,15 эВбольше, чем значение энергии активации для микросхем с проектныминормами 2, 3 мкм и более.4. Разработан метод ускоренных испытаний СБИС на безотказность инаработку до отказа, позволяющий сократить время и затраты на испытанияна 30 %.Личныйвкладавторазаключаетсявразработкенаучныхрекомендаций, позволяющих провести ускоренные испытания СБИС спроектными нормами 0,6-0,13 мкм.Практическаяразработанныйзначимостьметодработыпозволяетзаключаетсяпроводитьвтом,ускореннуючтооценкуработоспособности СБИС.

За счет этого сокращаются сроки и стоимостьпроведениявозможныхускоренныхпричиниспытаний.отказовРекомендациипозволяютпоустранениюпроводитьуточнениетехнологического процесса для повышения надежности СБИС.3’Достоверность и обоснованность результатов подтверждаются тем,что основные результаты работы предложены и приняты для включения внормативно-техническуюдокументацию,регламентирующуюоценкунадежности микросхем.Вместе с тем, несмотря на общее положительное впечатление одиссертационной работе, исходя из содержания автореферата, необходимовыделить некоторые недостатки:в автореферате не приведено обоснование выбора метода проведенияэкспериментальных испытаний;соискателем не предложены рекомендации для ускоренных испытанийна безотказность и наработку до отказа для других групп однороднойпродукции.Данные недостатки не снижают ценность диссертационной работы.Приведенныевдиссертациивыводыирекомендацииимеютнепосредственную научную и практическую ценность.Заключение по работеРабота выполнена на высоком научном уровне, изложена четкимнаучнымязыком, содержание автореферата соответствует содержаниюдиссертации.

По теме диссертации имеется 7 научных публикаций (из них 7в журналах ВАК).Предоставленная на отзыв диссертационная работа соответствуетпаспорту специальности 05.02.23 «Стандартизация и управление качествомпродукции», по следующим пунктам:- пункт 1 «Методы анализа, синтеза и оптимизации, математические иинформационные модели состояния и динамики качества объектов»;- пункт 2 «Стандартизация, метрологическое обеспечение, управлениекачеством и сертификация»;-пункт7«Технико-экономическиеосновыстандартизациииразработка системы стандартов»;4*-пункт 8 «Совершенствование направлений сертификации продукции(услуг), систем качества, производств».Такимобразом,Викторовича,диссертационнаясодержащаяобороноспособностистранырешениекрупнойработаДорошевичаактуальнойпроблемы-иважнойускореннаяПавладляоценканадежности СБИС с проектными нормами 0,6-0,13 мкм, по актуальности,новизне,научномууровнюипрактическойзначимостиполностьюсоответствует требованиям ВАК России, предъявляемым к кандидатскимдиссертациям, а автор работы заслуживает присуждения ему ученой степеникандидата технических наук по специальности 05.02.23 - «Стандартизация иуправление качеством продукции».Отзыв обсудили и одобрили на заседании научно-технического советаОАО «Ангстрем» (протокол № 84 от 02.06.2015 г.).СекретарьНТС,ведущийнаучныйсотрудник ОАО «Ангстрем», к.ф.м.н.В.В.

Минаев124460, г. Москва, Зеленоград, Проезд № 4806, д. 4, стр. 3E-mail: minaev@angstrem.ru тел. 8 49972083065.

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации