12. Printsipialnaya_skhema_protsessa_plazmo-khimiche (1072739)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

12. Принципиальная схема процесса плазмо-химического травления, достоинства и недостатки

Схема вакуумной камеры диодного типа

С хема вакуумной камеры для радикального плазмохимического травления

1 — кварцевая камера; 2 — перфорированный цилиндр; 3 — кассета с пластинами (подложками);4 — ВЧ-индуктор; 5 — подача рабочего газа; 6 — откачной патрубок

Преимущества:
- минимальные размеры структуры – порядка 2 мкм. Зазоры между электродами – до 1 мкм;
- полная независимость от ориентации кристалла;
- глубокое травление с большим аспектным отношением ширины структуры к её толщине.

- высокая скорость по сравнению с ионным травлением

- травление проводится при существенно меньших температурах (100–300 °С) по сравнению с обычным газовым травлением

Недостатки:
- дорогое оборудование, требуется высококвалифицированный персонал;
- повышенные требования к чистоте процесса;
- медленный многооперационный метод, требующий отладки процесса.

- наличие боковой скорости травления

- ограниченное количество соединений для получения в плазме химически активных частиц,

обеспечивающих образование летучих веществ

- сложность химических реакций, протекающих в плазме и на обрабатываемой поверхности

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов ответов (шпаргалок)