9. Классификацмя и сущность травления (1072736)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

9. Классификация и сущность методов вакуумно-плазменного травления микроструктур.

Ионное травление — удаление вещества с поверхности твёрдого тела под действием ионной бомбардировки (инертным газом). Процесс ионного травления зависит от интенсивности пучка, вида, энергии и угла падения ионов, а также от материала и состояния мишени. В процессе ионного травления вследствие распыления, дефектообразования, имплантации ионов и атомов отдачи меняются элементный состав и структура поверхности: происходит обогащение поверхности отдельным элементом, кристаллизация или аморфизация поверхностного слоя.

Химическое травление – процесс взаимодействия химических реагентов с поверхностью обрабатываемого материала.

Ионно-химическое травление — совместное воздействие распыления и химической реакции. ИХТ осуществляют в тех же установках, что и ионное травление, только в качестве рабочего используют не инертный, а химически активный газ.

Наименьшей селективностью травления и наименьшей погрешностью размеров обработки обладает ионное травление ("ИТ"); наибольшую скорость травления и наименьший нарушенный слой обрабатываемой поверхности можно получить при химическом травлении ("ХТ"); наилучшим сочетанием точности обработки и производительности оборудования обладает ионно-химическое травление ("ИХТ").

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов ответов (шпаргалок)