4. Магнетронное распыление (1072731)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

К недостаткам МРС относятся.

• сравнительно невысокий коэффициент использования материала мишени (около 25% для плоской мишени) и необходимость для его увеличения усложнения формы мишени или конструкции магнитной системы;

• сравнительно невысокая однородность осаждаемой пленки по толщине на неподвижную подложку за счет распыления материала из узкой зоны эрозии мишени, имеющей форму кольца или эллипса в виде V - образной канавки; повышение равномерности пленки требует или возвратно-поступательного движения, или сложного перемещение магнитной системы;

• наличие потока высокоэнергетических электронов создающих основную тепловую нагрузку на подложку (до 60%), что требует изоляции подложкодержателя и установки перед ним дополнительного анода;

• наличие потока отраженных нейтрализованных ионов аргона с энергией в несколько сот электронвольт, требующее их термализации (уменьшения их энергии до тепловой ), когда осаждение пленок производится на тонкие радиационно-чувствительные слои, что обычно достигается выбором давления и расстояния мишень - подложка;

• сравнительно высокое давление рабочего газа (аргона) (0,3 - 1,5 Па) требующее его эффектной очистки для устранения загрязнения пленок.

Достоинства

• низкие температуры проведения процессов осаждения;

• сохранение стехиометрии сложных соединений и сплавов;

• простота автоматизации и интеграции с процессом ионной очистки поверхности подложки;

• длительный ресурс мишеней;

• лучшая адгезия пленок;

• упрощение и удешевление систем обеспечения высокой однородности пленок по толщине на подложках большого диаметра, и в случае реализации его в магнетронных распылительных системах (МРС) не уступает термо-вакуумному по скорости осаждения.

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов ответов (шпаргалок)