5. Ионно-лучевое распыление (1072732)
Текст из файла
5 . Принципиальная схема процесса нанесения тонких пленок в вакууме ионно-лучевым распылением, достоинства и недостатки.
Достоинствами метода осаждения тонких пленок ионным распылением являются:
-
универсальность (можно наносить металлы, сплавы, диэлектрики, магнитные композиции),
-
регулируемая скорость осаждения Vо
-
относительно простая конструкция.
К недостаткам относятся:
-
не высокая чистота осаждаемой пленки (из-за наличия рабочего раза),
-
низкая и нерегулируемая энергия осаждаемых частиц E.
При использовании в качестве рабочего газа смеси из Ar и химически активного газа (O2, N2 и т.п.) реализуется реактивный метод осаждения оксидов, нитридов и т.п. (типы - D10_R и D11_R).
Характеристики
Тип файла документ
Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.
Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.
Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.