11. Printsipialnaya_skhema_protsessa_ionno-luchevogo (1072738)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

1. А Принципиальная схема процесса ионно-лучевого травления, достоинства и недостатки.

D420 – Ионное осаждение.

Ионно-лучевой источник с горячим катодом: 1 – электромагнит, 2 – термокатод, 3 – анод, 4 – рабочая камера, 5 – подложка.

К материалам маски при ионном травлении предъявляются следующие требования: высокая разрешающая способность; термостойкость; минимальная скорость травления по отношению к скорости травления слоя.

Общая часть из предыдущего.

Особенности ионного травления:

• Универсальность, возможно очищать от любых загрязнений поверхности любых материалов.

• Низкая избирательность травления различных материалов из-за чисто физического мезанизма процесса распыления, это затрудняет локальную обработку, так как материал маски тоже травится.

Достоинства ионного травления:

• Приимущ. Травление в направлении нормали к поверхности, что обеспечивает хорошие результаты при локальной обработке, так как практически отсутсвует боковая составляющая скорости травленяи.

• Безынерциальность, процесс травления прекращается сразу же после снятия с образцов потенциала.

Недостатки ионного травления.

• Низкие скорости травления (0.1-1нм/с)

• Значительные радиационные воздействия, вызывающие разрушение контактных масок, деградацию электрофиз параметров структур и необходимость охлаждения образцов при травлении.

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов ответов (шпаргалок)