Замчалов Ю.П. - Проектирование автоматизированных участков производства электронных приборов (1037539), страница 15
Текст из файла (страница 15)
При этом с фотоповторптелеы должно работать постоянное количество персонала«1 или 2 оператора. Говоря о воздушной среде, еле;С«ет отлетить ваш«ость соблюде«пп«допустил«х пределов влажности воздуха 45 л 5 ~. Это вызвано влияниеы в«ачности воздуха на гер««етическпе разперы полпыерных пленок и фотоэ«4ульспю. Кроме этого, повышенная влажность покет вызвать коррозию направл«по:ш«х прецизионных столов и снизить точность их работы.
Планировка цеха фотошаблонов. Состав оборудования цеха 4Б выбирается, исходя из технологического процесса (рпс.40 и 41), требуеыой точности Щ «ан«с«лльного рааиера элецента топологии. Количество оборудования и его раз««еще«п«е определяются исходя из обьеиов наиечаеыого выпуска фотошаблонов и производительности используеыого оборудования. Разыещение оборудования даап«о обеспеп«вать поточность производства, воэыожность передан« изделий на последующие операции через ш«позы между поыеще«пюпш, оперативную связь между всеыи сотрудника«ш и руководителем участка, искюшть излив«ее хождение и переыещение ««атерпалов из помещения в поыещение, чтобы ые нарушить строгих гигиенпчес«п«х требова«п«й производства.
При этом надо та««же учитывать, что изготовление эталонных и рабочих фотошаблонов — сугубо спе«п«фпческие производства, связанные между собой только на этапе передачи эцульсионного кю« металлизированного эталонного фотошаблона для фотопечати с него рабочих фотошаблонов. Поэтому оба эти производства могут быть организованы самостоятельно, в раздельных помещениях.
Следует отметить, что операции, связанные с подготовкой подложки для изготовления эталонного фотошаблона: отмывка и сушка, напыление хрома, нанесение и сушка фоторезиста (рис.40), могут выполняться не в цехе изготовления фотошаблонов, а в соответст- вулщвх цехах (участках) производства микросхем. На рис.42 приведена примерная планировка цеха изготовления фотошаблонов, рассчитанная на крупносерийное производство как эталонных, так и металлизированных рабочих фотошаблонов. Иэ этой схемы видно, что цех представляет собой замкнутый объем помещений, имеющих две производственные зоны. отличающиеся степенью очистки воздуха от пылевых частиц и термостабнлнэацией.
Доступ во все производственные помещения участка возможен лишь через гардеробную комнату б, где персонал переодевается в рабочую одежду, и через коридор 23 проходит на рабочие места. Исключительно важное значение имеет спецодежда персонала, которая долина максжшльно закрывать тело, одежду, волосы работника. рабочий халат должен быть изготовлен из материата, не выделяющего пылевые частицы, например из капроновой моноволоконной ткани или специальной хлопчатобумажной ткани, изготовленной особым переплетением нитей из длинноволокнистого хлопка. Все помещения, доступные непосредственно из этого коридора, являются помещениями класса чистоты 1.000.
В помещениях 3, 14, 15, 16, 18, 19 обеспечены более высокие требования по запыленности, вследствие чего для прохода в эти помещения сотруднитя должны в комнате 13 вторично переодеть 1ЪМЪ Г Ж ®- вам е Щ- ~ю аг~ «Ю Р~% >~~ы У ~а с ю гис. ~2 -131- спецодачцу. Кроме того, комнаты 14, 15 и 16, где установлены фотоповторители, являются "чистюль комнатаьм" со стабилизированной температурой с точностью л 0,2 о и допустиьппе ковгчеством пылинок размером более 0,5 ыкы не выше 3,5 шт в 1 литре воздуха (класс чистоты - 100).
Рассмотрим подробнее назначение помещений и состав оборудо« ванна типового цеха изготовления фотошаблонов (рис.42). Прием чертежей фотошаблонов, коррекция, контроль топологии. 1,1 - 1,6 — рабочие столы операторов; 1,7 — шкаф для хранения чертежей. ~цм~~ Контроль и коррекция программ для генераторов изображений (кзготовление промежуточного фотошаблона) . 2,1 - 2,4 — 2,5 - комплект ЭВМ "Электроника 60", 2,2 - столы обслуживающего персонала, 2,6 — 2,7 - шкафы. ье маз Изготовление промежуточных фотошаблонов.
3.1 — 3.3 - генераторы изобрачения ЭМ-559Б; 3,5 - 3,5 — столы обслуживающего персонала; 3 — 6 - рабочий стол мастера участка. Нуд~~ 4 Размещение планово-экономической службы цеха. оме ение 5 Размещение диспетчерской службы участка. 5.1; 5,2 — рабочие столы службы диспетчера; 5,3 - настенное световое табло; 5 ° 4 — пульт ввода данных в ЭВМ вычислительного центра предприятия; 5,5; 5,6 — пульт оперативного управления и связи. Ддт ~Б Размещение "гардероба в 1". 6,1 - 6,3 - ш~двцдуельные шкафы для хранения спецодежды и обуви. и е ение 7 Склад материалов и пощфабрикатов.
7,1 - 7,2 — стеллали, шкафы; 7,3 - стол кладовщика. оме е ие 8 Туалеты. Н~д~9 Размещение служб контроля готовой продукции и склад готовой прсдукхЧпц 9,1 - шкаф для хранения фотошаблонов; 9,2; 9,3- - микроскопы типа Нуй - Е(2); 9,4 - установка совмещения; 9,6 - 9,9 — проекторы; 9,10 - 9,15 - микроскопы; 9,16 - спектрофотометр; 9,17 — интерферометр; 9,18 - специальный прибор для коытроля дефектов поверхности пластин; 9,19 - микроскопы 9,20; 9,21 - шкайм для хранения готовой продукции; 9,22- - 9,24 - рабочие стоги оотруд: .св.
Яййейение Щ Приготовление хв~ическнх растворов 10.1 - шкаф вытяжной 2-х секционный; 10,2 — шкаф вытяжной Жх секционный; 10,3; 10,4 - весы; 10,5 - рабочий стол лаборанта; 10,6 - шкаф для хранения хжлпсатов. яаиа~ и участок отмывки подложек. 11,1 - 11,3 - агрегат ультразву= козой мойи; 11,4 - устройства для перегрузки пластин; 11,5, 11,6 - шкафы для кратковременного хранения готовой продукции.
оме ение 2 Участок централизованной форвакуумной откачки. 12,1; 12,2 - форвакуумные откачные системы; 12,3 — пульт управ- оме ение Размещение "гардероба второго переодевания" перед входом в особо чистые помещения. 13,1 — 13,5 — индивидуальные шкафчики для персонала; 13,6 - рабочий стол дежурного. Участок мультипликации 14,1; 14,4; 15,1; 15,4; 16,1; 16,4— - фотоповторители с блоками управления типа "ЭИ-5625". 14,2; 15,2; 16,2 — коцпицконеры; 14,3; 15,3; 16,3 — обеспыленные скафандры для зарядки кассет. П',омйщйнке Д Размещение участка приготовления хиаческих растворов для участка обработки фотопластин.
17,1 - шкаф вытяжной 3-х секционный; 17,2 - шкаф вытякной 2-х сещионный лдя хранения фотохвмреактивов; 17,3 - весы; 17,4 - рабочий стол химика-лаборанта. Дрмейеййй Щ~ Участок обработки промежуточных и эталонных оригиналов. 18,1; 18,2 - установка для фотохимической обработки; 18,3 - шкаф для хранения продукции; 18,5 и 18,4 — рабочее место операторов. Домеейенйр ~9 Размещение службы контроля эталонных и промежуточных фото- шаблонов, а такте группы монтажа промежуточных фотошаблонов.
19,1 — 19,4 — установки ретуши и микроскопы для ориентации промежуточных фотошаблонов при монтаже, 19,5 - 19 8 — микроскоп. 19,9 — специальные стеллажи для хранения продукции; 19,10 - специальные шкафы для хранения инструментов. п~~р~ Участок изготовления металлизированных рабочих фотошаблонов; 20,1 - 20,4 — линейки фотолитографии на металлизированных фоторезистовых пластинах; 20,5; 20,11; 20,14 - специальное хранилище - 134- для готовой продукции, приспособлежй, зталонньх фотспаблонсв и т.д. 20,6 - 20,10; 20,13; 20,15 — 20,19 - контрольно-измерительные приборы, мщюскопы; 20,12 — рабоч~~ стол мастера.
ме ение 2 Участок пездумного нанесения пленок на стекляшке подлоикн. 21,1 - 21 ° 6 - установки вакуумного напьиення; 21,9; 21,10- - спеща,ъные хранилща готовой продуьзпгл и стекпнных подложек; 21,11 - течеискателя; 21,12 - 21,15 - контрапные приборы; 21,16 — стол рабо пй. Ечд,д~ 22 Участок центратизованного нанесения фоторезиста на хромированные подложи.
22,1 — скафандр для контроля заготовок; 22,2- - скафандр для нанесения фоторезиста; 22,3 - установка для тер- мообработки фоторезпста; 22,4 - скафандр для контроля и увлеки в тару; 22,5 — 22,6 - контро;пные приборы; 22,7 — специальное храннчце готовой продукги; 22,9 — стол мастера; 22,6 — 22,10— - линейка для очистки и пршотсвлени фоторезиста. оье ение 23 Обций коридор. ~4 Размецение ремонтного участка.
24,1 — 24,3 — слесарные верстаки 24,4; 24,5 - спе~да.плие стеллаяи и икафи. р~2 5 Гардероб с индивидуа-.ьнь".гл пкафеми для верхней одеяды и обуви сотрудников, а таю~е для хранения .очных вецей. )~~~ 26 Кожата для отдыха персоне:.а цеха. Рассмотренная структурная схема участка изготовления фотошаблоыов наиболее приемлема д.тя серб)ного завода или группы заводов, выпускающих алтарные полупровоюапсовые приборы или интегральные ьпиросхемы. $ 7. ансис тине системы автоматиз ованных астков Транспортные системы являются важной необъемлемой частью автоматизированных участков, автоматических жной и комплексов.
Онп предназначены для перемецения объектов производства при загрузке, обработке и выгрузке с оборудопаытя и их межпознционной передаче. Транспортные системы могут выполнять помимо транспортных еще и оперы~ли накопления, адресования, переориентации обрабатываеьзпс изделий. Транспортные системы во многом определяют структурно-компоновочное решение проектируемого участка, степень автоматизыгли процессов производства на участке, технико-эконоьюческие параметры проекта. В проьзшленности ф)ппсдонируют многочисленные транспортные систеьщ, с раз.очными фуньзпппли.
Рассмотрим прньлер автоматизированной транспортной системы участков прецизионной физико-термической обработки полупроводниковых пластин (линии диффузии), которая представляет собой рельсовую трассу 4 (рисАЗ), по которой двжьутся тележки 2 с автсном- ньпь приводом. несущие контейнеры 1 с пластиков.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
