Замчалов Ю.П. - Проектирование автоматизированных участков производства электронных приборов (1037539), страница 18
Текст из файла (страница 18)
Детали и сборочные единицы с конвейера и 2 перегружаются на конвейер и 1 и доставляется во все сборочные цеха, а готовая продукция из цехов конвейером и 1 транспортируется на склад корпуса 11. Стеклозаготовки в сборочные цеха достанляются из корпуса 11 конвейером 3 1. транспортирование деталей и сборочных единиц на сборочных лпяях в сбо- рочных цехах может быть осуществлено ленточни~и и ценник транс- портерами. - 153- Таблица П-1 йй п/п Действительный йонд времени работы (час в год) Наименование оборудования Е 2 5.
8, 3810/5590% 3. 4. Примечание: и - для трехсменного рекима работы оборудования. Фонд времени работы оборудования А. Производство полупроводниковых приборов и микросхем Оборудонание резки кристаллов Оборудовая~е ФотолитограФии Дис4узионное оборудование Оборудование напыления в вакууме Сварочное оборудование Контрольно-классификационное Б.
Производство ПЗЛТ Конвейерное оборудование нанесения лиминоФорных покрытий, алюьинирования Ионтэжное оборудование сборки электронно-оптических систем Оборудование эанарочное Конвейеры териовакуумной обработки Конвейеры тренировки и испытаний 3935 4015 3935 3890 3975 3725 3875/5900м 3975/5900и 3810/5590и 3810/5590и - 154— Табжца П-2 Еолвчество единиц оборудования, об- слутиваемсго одваз нгладчиком Наименование оборудоваищ Стеклозаготовптельное оборудование Оборудование растворное Мешины мойки 10 20 4 Ультразвуковые ванны Установки нанесения экрана: 14 5 2 10 4 - карусельные папины - конвейерные манж Установки нанесе~шя аленкв Установки металлизаяш Заварочные ставни - карусельные машины - станки заварки Машины откачки 1 10 0,2 Установка прсоига, кс~е;тзнпй, треш- рожя на конвепере Испытательные стенды Термическое оборудование: - леры - печи стинга 9 20 5 20 Установка монтака взрывозащты Сборочное оборудование Бор~и обслукивания наладчиков в производстве кинескопов — 155- Таблица П-3 Нормы обслужвания наладчиков в производстве полупроводниковых приборов .
Наименование цехов, групп оборудования 7-10 7-10 1 наладчик на комплекс 3-7 наладчиков на коятлекс 2. Цех механической обработки полупроводниковых материалов 7-10 8-12 8-1О 1. Цех сотошаблонов й~крссотонаборные установки и аотопйвторители Коордннатограры Репродуидонные камеры Оборудоваие для резки стекла, торцовки и снятия дасок Оборудование для шлис,.овкч н пслироии стекла Оборудование для ионно-плазме нного напыления металлов Комплект оборудования для изготовления копий ~ютошаблонсв Оборудование УЗК, АСУ, ТП Оборудование для оптической ориентации Оборудование,пля резки слитков на заготовки и пластины Оборудование для шлибювки и полировки 3.
Цех зпитзксиахьных структур Оборудование плазмохнмической очистки Колле ство единиц оборудонавия, обслуливаемого одним наладчиком - 156- Проложение табл. П-3 10-15 Автоматизированные диффузионные электропечи с кожлектом сервйсного оборудоважя Линии о:отолитогра.;ии типа "Лада" Оборудование для соьзещения и экспонирования Оборудование для осакдення монокрзсталлкческого и паикрнсталжческого кре,ап:я Пеавтоыа-.лзировакнач установка для контроля электрсслзическпх парахетров 4.
Цех полупроводяпсовых структур Ионне-г~чевые установки Оборудование для вакуу:лого напыленя металлов 1 наладчик на линию 7-10 10-15 4-5 6-12 Оборудование визуального контроля структур Оборудована для зокдово.": разбранил структур Оборудование для приготовлен.я йоторе- зиста и легатуры (хймска4вядры, весы и т.д.) 5. Цехи сборки Лазерные скра2беры Оборудование для разделения пластины на кристаллы установка монтана кристаллов в корпус устанои'а приварки выводов настольного типа Устанонка приварки выводов с управлежем от ЗБ1 8-10 10-14 8-12 8-12 Оборудование химической очистки 1 налад%ж на участок - 157- Продолжение табл.
П-З 12-15 Установка контроля качества ионтека Оборудование для герметизации холодной сварки Оборудование для герметизации пайкой Оборудование для герметизации пластмассой 10-12 7-10 8-10 6. Цехи измерений и испытаний Оборудование для контроля герметичности гелиеиьл методом 8-12 12-16 Оборудование для климатических испытаний Универсальное измерительное оборудование с управлением от ЭВЗ 7-10 Специализированное измерительное оборудование Оборудование для сортировки Стенды злектротермотренировки Оборудование для луяения Оборудование для нанесения покрыткй Оборудование для маркировки и упаковки 8-11 10-12 12-15 12-14 14-16 14-16 Примечание.
Пенышке значения принимаются для опытного оборудования, менее надежного в работе, более сложного в обслуживании, большие - для серийно выпускаемого оборудования, получившего широкое внедрение в отрасли. бублипа П-4 Исходные данные для определения численности вспомогательных рабо пи (кроке наладчиков или уборциков цеховых поыеиений) - 159- Таблица П-5 Исходные данные для определения численности ИТР Нолкность ИТР 750 200 ХООО ЗСО 500 Начальник цеха 1 Х 18 23 34 7,7 6,8 5,8 5,9 9,0 Заы. начальника цеха по производству Зам.
начальника цеха по подготовке производства Начальник сиены Иастер Старпий пастер ИТР технологического бюро НТР планово-диспетчерс- кого бюро ИТР бюро труда и зарплаты ИТР зконоыического бюро Ыехзяик цеха Итого. ИТР, И от численности рабочйх Численность ИТР, человек при численности рабочих цеха 1 2 18 5 7 1 2 12 3 6 1 2 25 6 10 таолнца И-В Исходные данные для определення 'шсленностн слукащих -162- уаб ица П-6 Удельяые плогд~л дхч оборудования полупроводяпового производства Название цехов, групп оборудования и рабочих мест Зспоиогате~п ная площадь и от произ водственно2 плоцади цеха 1. Цех еотошаблонов Макросютонаборные установ ки и установки фотолпто- грзсли 13-15 12-15 37-40 7-3 Оборудована дзя пж.-овн~ и полировки стекла 5-6, 5 Оборудование для ионно- -плаз:хенного напылешя металлов 12-14 ноыплект оборудования для изготовлены котин 4сто- ыаблонов 16-23 (на ко.шлект) 54-72 (на 1 ко:,шлект) 2.
Цех мехышческо2 об полупроводжкокс~ иа работки терзалов 13-15 Фкрсзотонабсрные установ ки и установки с;отатлто- граЬни в чистых коьлатах Еосрдинатограм репродукционные катеры Оборудование для резки стекла, торцовки и снятия Фасон Управляспий вычислзтельш~2 коьшлекс дСу П1 Удельная производственная плошадь' на едиБпу оборуд овыия и рабочего песта, уд ыо - 163- 18-20 7,5-8 4,5-6 10-12 3.
Цех зпитаксиальных структур Оборуцование плазмохимнческой очистки 4>5-5,5 13-15 4,5-6,5 7-10 Оборудование оптической ориентащы Рентгеновские установки Оборудование для резки слитков на заготовки и пластины Оборудование для отмывки пластин после резки Оборудование для плнФовки и полировки Оборудование для приготов- ления суспензии Автоматизированные диауззион- ные электропечи с конйлектом сервисного оборудовайия Линии 4отолитографни типа п))адан Оборудование для совмещения и экспонирования Оборудование для осэлдения монокристаллического и поли- кристаллического кремния Неавтоматизнрованные установ- ки для контроля злектро4изи- ческих параметров Автоматизированные системы контроля электроожзических параметров с управлением от 3)Й Продолкенпе табл. П-8 Г -20 на комплект) 0-35 на линию) 13-15 уктур 20-25 П-13 4,5-5,5 4>5-5,5 4,5-5 15-18 4,5«5 ° 5 4,5-5,5 4>5-6>5 8-10 6-6, 5 4.
Пех пслупроводшкозых стр Ионне-лучевые устанонки Оборудование для вакууыного напыления ыетзллоз Оборудозаызе визуального контроля структур Оборудонание для зондовод разбраковки структур Оборудование для приготов- ления йоторезистра и лига- туры (хиискасандры, весы и т.д.) 5. Мнх сборки Лазерные скраОберы Оборудоваше длн разделения пластин на кристаллы Установки ионтека кристаллов в корпусе Устаношс~ приварки выводов настольного типа Устанонки приварки выводов с управлениеы от Ж1 установки контроля качества цонтаха Оборудование для герметиза- ции холодно2 'озерко.! Оборудозание идя герметиза- ции пайсон Оборудоваже для гериетнза- ции пластыассо2 Продолнение табл. П-8 4,5-5,5 4,5-6,5 4-5 ° 6 Продоксенне табл.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
