ЭМ (1027634), страница 20
Текст из файла (страница 20)
Моменты первого и второго рода.3. Правила обработки многократных наблюдений.4. Порядок обработки результатов наблюдений.5. Коэффициент Стьюдента. Вычисление коэффициента Стьюдента.6. Оценка достоверности результатов испытаний.7. Оценка результатов измерительного контроля.8. Ошибки первого и второго рода.9. Формирование ошибок контроля.3. МЕТОДИЧЕСКИЕ МАТЕРИАЛЫ3.1. НОРМАТИВНАЯ ДОКУМЕНТАЦИЯПО ДИСЦИПЛИНЕ3.1.1.
УЧЕБНО-МЕТОДИЧЕСКИЙ КОМПЛЕКС ПО ДИСЦИПЛИНЕЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯНаправление «Нанотехнология» с профилем подготовки«Наноинженерия»Кафедра ИУ-4Канд. техн. наук, доцент Андрей Игоревич Власов,тел. (499) 263-65-52Кирилл Андреевич Елсуков, тел. (499) 263-65-52Илья Алексеевич Косолапов, тел. (499) 263-65-52Основная цель дисциплины: изучение основных методови средств проведения измерений в области электронной микроскопии, освоение базовых методик проведения научного эксперимента средствами электронной микроскопии.Планируемые результаты изучения дисциплиныЗадачи дисциплины – получение теоретических и практических навыков работы с методами и средствами электронной микроскопии, а также формирование знаний, умений и навыков последующим направлениям деятельности:♦ работа с образцами для различных методов электронноймикроскопии;♦ методы проведения измерений электронной микроскопии;♦ принципы работы на основных типах приборов электронной микроскопии;114Электронная микроскопия♦ основы применения исследуемых методов в работе;♦ поиск новых конструкторско-технологических решенийи методических приемов при проведении микроскопии.В результате изучения дисциплины приобретаются следующие профессиональные знания, умения и навыки.Студент должен знать:♦ классификацию основных методов электронной микроскопии;♦ функциональный состав и принцип работы приборов дляпроведения электронной микроскопии;♦ основные подходы и методики проведения электронноймикроскопии.Студент должен уметь:♦ разрабатывать методики проведения электронной микроскопии;♦ проводить измерения нанообъектов и наносистем изучаемыми методами электронной микроскопии.Студент должен приобрести навыки:♦ применения различных методов электронной микроскопии на широком классе средств электронной микроскопии;♦ проведения научных экспериментов методами электронноймикроскопии и обработки их результатов.Место дисциплины в учебном плане специальностиДисциплина способствует формированию навыков работыс методами визуализации объектов микромира, решению системных задач в области электронной микроскопии, возникающихпри курсовом и дипломном проектировании.Дисциплина требует активного применения ранее полученныхзнаний и умений по технологии, физике, математике, информатике.Структура1.
Наноразмерные структуры: классификация, формирование и исследование.Общие сведения о наноразмерных структурах, особенностисвойств наноструктур, термодинамические свойства, свойстваМетодические материалы115проводимости, магнитные свойства, применение наноструктурдля создания элементов приборных устройств.2. Введение в электронную микроскопию.Введение в основы электронной микроскопии. Физическиеосновы электронной микроскопии.3. Просвечивающая электронная микроскопия (ПЭМ).Основы просвечивающей электронной микроскопии, конструкция просвечивающего электронного микроскопа, подготовкаобъектов для исследований и особые требования к ним, формирование луча, методы визуализации, недостатки и ограничения,особенности применения.4.
Растровая электронная микроскопия (РЭМ).Основы растровой электронной микроскопии, конструкциярастрового электронного микроскопа, принцип работы растрового электронного микроскопа, устройство и работа растровогоэлектронного микроскопа, подготовка объектов для исследований и особые требования к ним, технические возможности растрового электронного микроскопа, применение.5. Зеркальная электронная микроскопия (ЗЭМ).Физические основы зеркальной электронной микроскопии, конструкция зеркального электронного микроскопа, виды отображения результатов, разрешение и чувствительность, применение.6. Рентгеноспектральный микроанализ.Физические основы рентгеноспектрального микроанализа,устройство и работа рентгеноспектрального микроанализатора,подготовка объектов для исследований и особые требованияк ним, технические возможности рентгеноспектрального микроанализатора, области применения рентгеноспектрального микроанализатора.Организация учебных занятий по дисциплинеДисциплина построена по модульному принципу, изучениемодулей завершается выполнением студентами контрольных работ.
Отдельные вопросы предлагаются для самостоятельного ознакомления.Все практические занятия проходят в компьютерном классес использованием специализированного компьютерного программного обеспечения и мультимедийных средств.116Электронная микроскопияПо всем объему курса разработаны мультимедийные презентации, которые используются при проведении лекционных и лабораторных занятий.Семестр – 9-й (зачет).Методическое обеспечениеОсновная литература1. Зенгуил. Физика поверхности.
– М. : Мир, 1990.2. Вудраф Д., Делчар Т. Современные методы исследования поверхности. – М. : Мир, 1989.3. Фельдман Ф., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. – М. : Мир, 1989.4. Моррисон С. Химическая физика поверхности твердого тела.– М. : Мир, 1989.5. Синдо Д., Оикава Т. Аналитическая просвечивающая электронная микроскопия. – М. : Техносфера, 2006.6. Лукьянов А. Е., Спивак Г. В., Гвоздовер Р. С.
Зеркальная электронная микроскопия // Успехи физических наук. – 1973. –Т. 110. – Вып. 4.7. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия / Я. С. Уманский [и др.]. – М. : Металлургия, 1982. – 632 с.Дополнительная литература8. Методы анализа поверхностей / Под ред.
А. Задерны. – М. :Мир, 1979.9. Серия «Methods of Experimental Physics» // Solid State Physics:Surfaces / Edited by Pobert L. Park and Max G. Lagally, Academic Press. – 1985. – V. 22.10. Manual for the SUPRA (VP) and ULTRA scanning Electron Microscopes.Мультимедийные и интерактивные средства,электронные учебникиДля информационно-методического обеспечения курса разработан интерактивный портал http://nanotech.iu4.bmstu.ru/. На портале в электронном виде размещены методические материалы длялекций и самостоятельного изучения разделов курса, электроннаярабочая тетрадь по практическим занятиям, подсистема электронного тестирования. Представлены дополнительные справочные материалы, библиотека литературы и глоссарий терминов.Методические материалы117Объем.
Всего 102 ч, в том числе лекции – 34 ч, лабораторныхработ (практических семинаров) – 34 ч, самостоятельная проработка разделов курса – 34 ч.Приложения (на CD-диске)♦ Конспект лекций по курсу.♦ Рабочая тетрадь для проведения практических занятий покурсу.♦ Билеты по курсу.♦ Примеры ДЗ.♦ Дополнительные методические материалы.118Электронная микроскопия3.1.2. ПРИМЕРНАЯ БАЗОВАЯ ПРОГРАММА ДИСЦИПЛИНЫГосударственное образовательное учреждениевысшего профессионального образования«Московский государственный техническийуниверситет имени Н.
Э. Баумана»(МГТУ им. Н. Э. Баумана)УТВЕРЖДАЮПервый проректор –проректор по учебной работеМГТУ им. Н. Э. Баумана_______________ Е. Г. Юдин«___» _____________ _____ г.Дисциплина для учебного плана специальности(ей): магистров по направлениюподготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия».Факультета(ов) – Информатика и системы управления (ИУ)ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯАвтор(ы): доцент А.
И. Власов, К. А. Елсуков, И. А. КосолаповКафедра ИУ-4 «Проектирование и технология производстваэлектронной аппаратуры»Виды занятийЛекцииСеминарыЛабораторные работыСамостоятельная работаИтого:Проверка знаний:Виды самостоятельнойработы и контрольныхмероприятийДомашнее задание № 1№2Рубежный контроль № 1№2№3Контрольная работа № 1№2Курсовой проектКурсовая работаВсего1–10,52,5Объем занятий, зач. ед.9-й семестр17 недель1–10,52,5ЗачетОбъем, зач.
ед. / выполнение, неделя выдачи-сдачиВсего, 9-й семестрзач. ед.17 недель––––––––––Москва, _____Методические материалы119Программа составлена на основании Государственного образовательного стандарта высшего профессионального образования.Содержит государственные требования к минимуму содержанияи уровня подготовки магистра по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия».Раздел 1.
Цели и задачи дисциплиныЦель дисциплины: изучение основных методов и средств проведения электронной микроскопии, освоение базовых методикпроведения научного эксперимента средствами микроскопии.Задачами дисциплины являются:♦ получение теоретических и практических навыков работыс методами и средствами электронной микроскопии;♦ изучение основных методов электронной микроскопии;♦ изучение методов и средств просвечивающей электронноймикроскопии;♦ изучение методов растровой электронной микроскопии;♦ изучение методов рентгеноспектрального микроанализа;♦ изучение областей применения различных методов электронной микроскопии.Примечание.
Изучение данной дисциплины базируется наследующих курсах (разделах курсов):♦ «Основы нанотехнологий»;♦ «Физика»;♦ «Математическое моделирования МЭМС / НЭМС»;♦ «Технологические процессы в наноинженерии».После освоения данной дисциплины студент подготовлен дляизучения следующих курсов учебного плана:♦ исследовательской части курсового проекта, квалификационной работы магистра;♦ курса «Технологические процессы формирования микрои наноструктур».Раздел 2.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
