ЭМ (1027634), страница 23
Текст из файла (страница 23)
Содержаниесоответствующих тем разделов должно быть направлено на усиление роли фундаментальных знаний в теоретической и профессиональной подготовке студента, способствовать формированиюу студента фундаментальных системных знаний, развивать творческие способности будущего специалиста.Заключение139Прикладные вопросы должны ориентировать студентов на решение задач моделирования и проектирования ТП, выбор адекватных физическим процессам моделей, методов, алгоритмов, прикладных пакетов и технических средств, обладающих максимальной эффективностью.
Поэтому во всех разделах предусмотренытемы, содержание которых связано с формированием и развитиему будущих специалистов практических навыков решения задачс использованием ЭВМ, САПР.В основу методических материалов по дисциплине «Электронная микроскопия» положены курсы, читаемые авторами в МГТУим. Н. Э.
Баумана.Материалы учебно-методического комплекса соответствуют программам подготовки бакалавров / магистров, реализуемым в МГТУим. Н. Э. Баумана. Разработаны с привлечением и в кооперации сНИИСИ РАН, ИРЭ РАН, РНЦ «Курчатовский институт», ФТИАНРАН и другими предприятиями ННС. Структура и состав учебнометодического обеспечения соответствуют требованиям федеральных законов от 10.07.1992 № 3266-1-ФЗ «Об образовании» (с изменениями и дополнениями) и от 22.08.1996 № 125-ФЗ «О высшем и послевузовском профессиональном образовании» (с изменениями и дополнениями), Типового положения об образовательном учреждениивысшего профессионального образования (высшем учебном заведении), утвержденного постановлением Правительства РФ от 14 февраля 2008 г.
№ 71.ПРИЛОЖЕНИЕ 1. РАБОЧАЯ ТЕТРАДЬМосковский государственный технический университет имени Н. Э. БауманаКафедра ИУ-4«Проектирование и технология производства ЭС»Учебно-методическое обеспечение для подготовки бакалавров по программамвысшего профессионального образования для тематического направленияННС «Наноинженерия»ЖУРНАЛПРАКТИЧЕСКИХ РАБОТпо курсу: «ЭЛЕКТРОННАЯМИКРОСКОПИЯ»Для студентов приборостроительных специальностей20___/___ учебный годСтудент ____________________________ Группа ___________________________фамилия, и.
о.)Преподаватель ____________ Допуск к экзамену (зачету) _____ Подпись_______фамилия, и. о.)(число)Москва, _____Приложение 1. Рабочая тетрадь141Программа по курсу«ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ»Кафедра ИУ-4 «Проектирование и технология производстваэлектронной аппаратуры»Виды занятийЛекцииСеминарыЛабораторные работыСамостоятельная работаИтого:Проверка знаний:Виды самостоятельнойработы и контрольныхмероприятийДомашнее задание № 1№2Рубежный контроль № 1№2№3Контрольная работа № 1№2Курсовой проектКурсовая работаВсего1–10,52,5Объем занятий, зач. ед.9-й семестр17 недель1–10,52,5ЗачетОбъем, зач. ед. / выполнение, неделя выдачи-сдачиВсего, 9-й семестрзач. ед.17 недель––––––––––Программа составлена на основании Государственного образовательного стандарта высшего профессионального образования.Содержит государственные требования к минимуму содержанияи уровня подготовки магистра по направлению подготовки «Нанотехнология» с профилем подготовки «Наноинженерия».Общие положения.
Методическое обеспечение практикума покурсу «Электронная микроскопия» является частью УМК, разработано в соответствии с требованиями федеральных законов от10.07.1992 № 3266-1-ФЗ «Об образовании» (с изменениями и дополнениями) и от 22.08.1996 № 125-ФЗ «О высшем и послевузовском профессиональном образовании» (с изменениями и дополнениями), Типового положения об образовательном учреждениивысшего профессионального образования (высшем учебном заведении), утвержденного постановлением Правительства РФ от14 февраля 2008 г.
№ 71, и одобрено научно-координационным советом по наноинженерии МГТУ им. Н. Э. Баумана.142Электронная микроскопияДатаОтчет по лабораторной работе № 1.Основы растровой электронной микроскопииОценка (max 5)Бонус за сложностьПодписьЦели работы1.2.3.4.Изучение основ растровой электронной микроскопии.Изучение конструкции и принципов работы РЭМ Zeiss Ultra 55.Изучение режимов работы РЭМ.Получение навыков загрузки образцов.Решаемые задачи1.
Изучение на практике общей конструкции прибора ZeissUltra 55 с использованием руководства пользователя и ресурсов сети Интернет (http://nanotech.iu4.bmstu.ru).2. Изучение принципов работы с программой управления прибором Zeiss Ultra 55.3. Получение навыков предварительной подготовки образцовк сканированию.4. Анализ поставленной задачи сканирования, подбор ускоряющего напряжения и режима исследования.5. Анализ результатов работы, формулировка кратких выводовпо работе, оформление отчета и представление его к защите.Методические указания. Прежде чем приступить к работе нарастровом электронном микроскопе Zeiss Ultra 55, следует изучитьруководство пользователя прибора.Техника безопасности.
Прибор управляется напряжением220 / 380 В. Эксплуатацию растрового электронного микроскопаZeiss Ultra 55 производить в соответствии с ПТЭ электроустановокпотребителей и ПТБ при эксплуатации электроустановок потребителей для электроустановок напряжением до 380 В.Приложение 1. Рабочая тетрадь143Краткий конспект теоретической частиИз каких основных компонентов состоит растровый электронный микроскоп?________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Какие действия необходимо провести для загрузки образца?________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________144Электронная микроскопияКакие факторы влияют на качество получаемых изображений?________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Подготовка к проведению лабораторной работы1.
Выбор образцов для исследования: тестовый образец NPX200и 2-3 образца по выбору преподавателя.2. Подготовка образцов к исследованию.3. Загрузка образцов для исследования в микроскоп.Проведение лабораторной работы1. Изучение теоретической части и подготовка краткого конспекта.2. Изучение на практике общей конструкции прибора ZeissUltra 55.3.
Ознакомление с программой управления прибором ZeissUltra 55.4. Предварительная подготовка образцов к сканированию подруководством преподавателя.5. Загрузка образцов для сканирования под руководством преподавателя.6. Анализ результатов работы, оформление и защита отчета.Порядок загрузки образцовПри загрузке непосредственноПри использовании камерыв основную камеру с использованиемпредварительной загрузки«затепления»Приложение 1. Рабочая тетрадь145Анализ вариантов загрузки образцов:Выводы:Контрольные вопросы1.2.3.4.5.6.Функциональный состав растрового электронного микроскопа.Назначение отдельных составных частей микроскопа.Методика проведения измерений.Принцип работы растрового электронного микроскопа.Особенности подготовки образцов для измерений.Возможности растрового электронного микроскопа.146Электронная микроскопияОтчет по лабораторной работе № 2.Проведение измерений на растровом электронном микроскопеДатаОценка (max 5)Бонус за сложностьПодписьЦели работы1.
Изучить принципы подбора ускоряющего напряжения в соответствии с выбранным образцом и режимом исследования(от 2 до 20 кВ), произвести загрузку образцов.2. Изучить основные принципы получения предварительное изображение. Произвести фокусировку и настройку стигмацийдля получения наиболее четкого изображения.3. Изучить принципы сканирования в 2-х режимах (по выборупреподавателя).4. Провести сканирование подготовленных ранее образцов, набрать некоторые данные о линейных размерах измеряемыхобъектов (по указанию преподавателя).Решаемые задачи1.
Осуществление подбора ускоряющего напряжения в соответствии с выбранным образцом и режимом исследования(от 2 до 20 кВ), произвести загрузку образцов.2. Получение предварительного изображения. Произвести фокусировку и настройку стигмаций для получения наиболее четкого изображения.3. Проведение сканирования при различных режимах сканирования (InLens и SE2) и при разных увеличениях.
Сохранениерезультатов сканирования.4. Проведение измерений линейных размеров объектов (по указанию преподавателя).5. Проведение обработки полученных изображений. Обработкаэкспериментальных данных каждым студентом индивидуально.6. Анализ результатов работы, формулировка кратких выводовпо работе, оформление отчета и представление его к защите.Методические указания. Прежде чем приступить к работе нарастровом электронном микроскопе Zeiss Ultra 55, следует изучитьруководство пользователя прибора. Также необходимо наличиевыполненной лабораторной работы № 1.Техника безопасности.
Прибор управляется напряжением220 В. Эксплуатацию производить в соответствии с ПТЭ электроустановок потребителей и ПТБ при эксплуатации электроустановок потребителей для электроустановок напряжением до 220 В.Приложение 1. Рабочая тетрадь147Краткий конспект теоретической частиИз каких элементов состоит основная колонна растровогоэлектронного микроскопа?________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Как осуществляется подбор ускоряющего напряжения?________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________148Электронная микроскопияКаковы причины возникновения астигматизма? Методы егоустранения.________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________________Подготовка к проведению лабораторной работы1.
![](https://s.studizba.com/z.php?f=/templates/si/i/noavatar.png&w=100&h=100&t=1"){kind=avatar}
