ЭМ (1027634), страница 26
Текст из файла (страница 26)
– 672 с.162Электронная микроскопия30. Раков Э. Г. Химия и применение углеродных нанотрубок // Успехихимии. – 2001. – Т. 70. – № 10. – С. 934–973.31. Рембеза С. И., Рембеза Е. С. Нанокомпозиты на основе диоксидаолова // Химия твердого тела и современные микро- и нанотехнологии : Тезисы IV Международной конференции. – КисловодскСтаврополь : СевКавГТУ, 2004. – 492 с.32.
Русанов А. И. Удивительный мир наноструктур // Журнал общейхимии. – 2002. – Т. 72. – № 4. – C. 532–549.33. Рыков С. А. Сканирующая зондовая микроскопия полупроводниковых материалов и наноструктур. – СПб. : Наука, 2001.34. Рябенко Е. А., Кузнецов А. И. // ЖПХ. – 1977. – № 7. – С. 1625−1627.35. Сергеев Г. Б. Нанохимия. – М. : МГУ, 2003. – 288 с.36. СЗМ-методики – материалы сайта ru.ntmdt.ru – http://ru.ntmdt.ru/SPM-Techniques/.37.
Синдо Д., Оикава Т. Аналитическая просвечивающая электроннаямикроскопия. – М. : Техносфера, 2006.38. Технологии, оборудование и системы управления в электронноммашиностроении. В кн. : Машиностроение : энциклопедия. Т.III-8 /Ю. В. Панфилов [и др.] // Ред. совет : К. В. Фролов (председатель)[и др.]; под общ. ред. Ю. В. Панфилова. – М. : Машиностроение,2000. – 744 с.39.
Фельдман Ф., Майер Д. Основы анализа поверхности и тонких пленок. – М. : Мир, 1989.40. Физика наноразмерных систем / А. Я. Шик [и др.] // Под. ред.А. Я. Шика. – СПб. : Наука, 2001. – 160 с.41. Харрис П. Углеродные нанотрубы и родственные структуры. Новыематериалы XXI века / Пер. с англ. // Под. ред. Л.
А. Чернозатонского.– М. : Техносфера, 2003. – 336 с.42. Шмидт В. В. Введение в физику сверхпроводников. – М. : МЦНМО, 2000. – 402 с.43. Anderson P. W. // Phys. Rev. – 1958. – V. 109. – № 5. – P. 1492−1505.44. Cappella B., Dietler G. Force-distance curves by atomic force microscopy // Surface Science Reports. – 1999. – 34, 1.45. Chou S. Y.
Nano-imprint lithography and lithographically induced selfassembly // MRS Bulletin. – 2001. – 26. – P. 512–517.46. Cамойлович С. М. Автореферат канд. диссертации. – М. : МГУ, 1999.47. Electrical resistivity as characterization tool for nanocrystal metals /J. I. McGrea [et al.] // Nanophase and Nanocomposite Materials III. –Warrendale : Materials Research Society, 2000. – P.
461–466.Литература16348. Electrochemical Assembly of Ordered Macropores in Gold / E. Judith[et al.] // Adv. Materials. – 2000. – 12. № 12. – P. 888–900.49. Ellsworth M. W. Nanocomposite materials for Electronics ComponentsIndustry. – MIT-Standford-Bercley Nanotechnology Forum, Menlo-Parc,CA, 2004. – 21 p.50.
Encyclodedia of nanoscience and nanotechnology / Ed. by H. S. Nalwa //ASP. – V. 6. – 2004. – P. 321–340.51. Gleiter H. Nanostructured materials : basic concepts and microstructure// Acta Materialia. – 2000. – V. 48. – № 1. – P. 1–29.52. Hsu J. W. P. Near-field scanning optical microscopy studies of electronicand photonic materials and devices // Materials Science and EngineeringReports. – 2001. – 33, 1.53. Joannopoulos J. D. // Nature. – 2001. – V. 414.
– P. 257−258.54. John S. // Phys. Rev. Lett. – 1987. – V. 58. – № 23. – P. 2486−2489.55. Knobel R., Cleland A. New NEMS device // Nature. – 2003. – V. 424. –P. 291–294.56. Kubby J. A., Boland J. J. Scanning Tunneling Microscopy of Semiconductor Surfaces // Surface Science Reports. – 1996. – 26, 61.57. Miguez H. [et al.] // J. Lightwave Technol. – 1999. – V.
17. – № 11. –P. 1975−1981.58. Miyazaki H., Ohtaka K. // Phys. Rev. B. – 1998. – V. 58. – № 11. –P. 6920−6937.59. Mott N. F. // Adv. Phys. – 1967. – V. 16. – № 61. – P. 49−144; andMott N. F. // Philos. Mag. – 1968. – V. 17. – № 150. – P. 1259−1268.60. Nanocrystalline materials : a way to solids with tunable electronic structure and properties / H. Gleiter [et al.] // Acta Materialia. – 2001. – V. 48.– P. 737–745.61. Nanomaterials.
Synthesis, Properties and Applications / EdsA. S. Edelstein, R. C. Cammarata. – Bristol : Institute of Phesics Publishing, 1998. – 596 p.62. Newnham R. Size effects and nonlinear phenomena in ferroic ceramics //Third Euro-Ceramics / Eds. P. Duran, J. Fernandes. – Faenza : EditriceIberica, 1993.
– V. 2. – P. 1–9.63. Paesler M. A., Moyer P. J. Near-Field Optics : Theory, Instrumentationand Applications. – Wiley, 1996.64. Palumbo G., Erb U., Aust K. Triple line disclination effect on the mechanical behavior of materials // Scripta Metallurgica et Materialia. –1990. – V. 24. – P. 1347–1350.65. Rai-Choudhury P. Handbook of Microlithography, Micromachining andMicrofabrication. Bellingham : SPIE, 1997.164Электронная микроскопия66. Romanov S. G.
[et al.] // Syntetic Metals. – 2001. – V. 116. – P. 475−479.67. Sakurai T. Advances in scanning probe microscopy. – Springer-Verlag,2000.68. «The Millipede» – Nanotechnology Entering Data Storage / P. Vitter[et al.]. – 2005. – 22 p. (http://domino.research.ibm.com/comm/pr.nsf/pages/rscd.millipede-picg.html/$FILE/pv7201-preprint.pdf).69. Whitesides G., Grzybowski B. Self-assembly at all scales // Science. –2002. – 295. – P.
2418–2421.70. Yablonovitch E. // Phys. Rev. Lett. – 1987. – V. 58. – № 20. –P. 2059−2062.71. Yoshino K. [et al.] // Appl. Phys. Lett. – 1999. – V. 74. – № 18. –P. 2590−2592.72. http://ufn.ru.73. Власов А. И., Елсуков К. А., Панфилов Ю. В. Методы микроскопии. –М. : Изд-во МГТУ им. Н. Э. Баумана, 2011. – 280 с. (Библиотека«Наноинженерия» : в 17 кн.
Кн. 1).СОДЕР ЖАНИЕПРЕДИСЛОВИЕ ............................................................................................ 5СПИСОК СОКРАЩЕНИЙ .......................................................................... 7ВВЕДЕНИЕ ..................................................................................................... 81. КОНСПЕКТ ЛЕКЦИЙ..........................................................................
101.1. НАНОРАЗМЕРНЫЕ СТРУКТУРЫ: КЛАССИФИКАЦИЯ,ФОРМИРОВАНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ .................................................. 101.1.1. Общие сведения о наноразмерных структурах .................... 101.1.2. Особенности свойств наноструктур ...................................... 211.1.3. Применение наноструктур для созданияэлементов приборных устройств ........................................... 281.2. ВВЕДЕНИЕ В ЭЛЕКТРОННУЮ МИКРОСКОПИЮ ................................... 321.2.1. Введение в основы электронной микроскопии .................... 321.2.2. Существующие виды электронных микроскопов ................
361.3. ПРОСВЕЧИВАЮЩАЯ ЭЛЕКТРОННАЯМИКРОСКОПИЯ .................................................................................. 371.3.1. Основы просвечивающей электронноймикроскопии ............................................................................ 371.3.2. Конструкция просвечивающего электронногомикроскопа .............................................................................. 371.3.3. Подготовка объектов для исследованийи особые требования к ним .................................................... 411.3.4.
Формирование луча................................................................. 421.3.5. Методы визуализации............................................................. 431.3.6. Недостатки и ограничения, особенностиприменения ПЭМ .................................................................... 431.4. РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ...................................... 461.4.1.
Физические основы растровой электронноймикроскопии ............................................................................ 461.4.2. Устройство и работа растрового электронногомикроскопа .............................................................................. 501.4.3. Подготовка объектов для исследованийи особые требования к ним .................................................... 571.4.4. Технические возможности растровогоэлектронного микроскопа....................................................... 58166Электронная микроскопия1.5. ЗЕРКАЛЬНАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ ..................................... 591.5.1. Физические основы зеркальной электронноймикроскопии ............................................................................ 591.5.2.
Конструкция зеркального электронногомикроскопа .............................................................................. 611.5.3. Виды отображения результатов ............................................. 651.5.4. Разрешение и чувствительность ............................................ 681.5.5.
Применение ЗЭМ .................................................................... 701.6. РЕНТГЕНОСПЕКТРАЛЬНЫЙ МИКРОАНАЛИЗ ....................................... 711.6.1. Физические основы рентгеноспектральногомикроанализа ........................................................................... 711.6.2.
Устройство и работа рентгеноспектральногомикроанализатора ................................................................... 741.6.3. Подготовка объектов для исследованийи особые требования к ним .................................................... 751.6.4. Технические возможности рентгеноспектральногомикроанализатора ................................................................... 761.6.5. Области применения рентгеноспектральногомикроанализатора ................................................................... 782.
МЕТОДИЧЕСКИЕ УКАЗАНИЯПО ВЫПОЛНЕНИЮ ЛАБОРАТОРНЫХ РАБОТ .......................... 802.1. ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА № 1.ОСНОВЫ РАСТРОВОЙ ЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ ....................... 802.2. ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА № 2.ПРОВЕДЕНИЕ ИЗМЕРЕНИЙ НА РАСТРОВОМЭЛЕКТРОННОМ МИКРОСКОПЕ ............................................................ 862.3. ЛАБОРАТОРНАЯ РАБОТА № 3.АНАЛИЗ РЕЗУЛЬТАТОВ ИЗМЕРЕНИЙ РАСТРОВОЙЭЛЕКТРОННОЙ МИКРОСКОПИИ .......................................................... 912.4.