annot_11.03.04_te_o_2016 (1016234), страница 39
Текст из файла (страница 39)
Структура и содержание дисциплиныОбщая трудоемкость дисциплины составляет 9 зачетных единиц – 324 часов. Вструктуру дисциплины входят 48 часов лекционных и 32 часов практических занятий.Аннотация к рабочей программе дисциплины Б1.В.ДВ.5.1 «Микро- инаноситемная техника»1. Цели и задачи преподавания дисциплины.Дисциплина «Микро- и наноситемная техника» имеет своей целью способствоватьформированию у обучающихся общепрофессиональных (ОПК-2, 6, 7) ипрофессиональных (ПК-1, 5) компетенций в соответствии с требованиями ФГОС ВО понаправлению подготовки бакалавров 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» с учетомпрофиля подготовки «Твердотельная электроника».Общая целевая направленность педагогической работы состоит в формировании,развитии и закреплении у студентов: знаний об основных методов, применяемых при создании элементов микро- инаноструктурo на уровне представлений: комплекс методов применяемые при созданиимикро- и наноструктур;o на уровне воспроизведения: методы магнетронного и термическогоосаждения, электронная микроскопия и литография, ионно-лучевая фрезеровка,метод осаждения из газовой фазы под действием электронного/ионного пучка,метод динамической силовой литографии в сканирующем зондовом микроскопе;o на уровне понимания: вакуумная техника и чистые помещения,фотолитография, химическое осаждение, ионное легирование и травление,рентгеновская литография и литография в глубоком ультрафиолете,наноимпринт литография. умений применять различные методы при создании микро- и наноструктур:o теоретические: знание приборов и методов фотолитографии, химическогоосаждения, ионного легирования и травления, рентгеновской литографии илитографии в глубоком ультрафиолете, наноимпринт литографииo практические: знание приборов и методов магнетронного и термическогоосаждения, электронной микроскопии и литографии2.
Местодисциплинывструктуреосновнойпрофессиональнойобразовательной программы (ОПОП) бакалавриата.Дисциплина «Микро- и наноситемная техника» относится к циклу Б.1 ОПОП(вариативная часть). Рабочая программа курса ориентирована на студентов, изучавшихранее «Метрология, стандартизация и сертификация», «Материалы и элементыэлектроннойтехники»,«Физико-химическиеосновыпроцессовмикроинанотехнологии», «Математический анализ» и «Физика». Изучается на 4 курсе.3. Планируемые результаты обучения по дисциплине, соотнесенные спланируемыми результатами освоения программы специалитета (компетенциямивыпускников)В процессе изучения дисциплины формируются следующие компетенции:ОПК-2 - способность выявлять естественнонаучную сущность проблем,возникающих в ходе профессиональной деятельности, привлекать для их решениясоответствующий физико-математический аппарат;ФормируемыекомпетенцииОПК-6 - способность осуществлять поиск, хранение, обработку и анализинформации из различных источников и баз данных, представлять ее в требуемомформате с использованием информационных, компьютерных и сетевых технологий;ОПК-7 - способность учитывать современные тенденции развития электроники,измерительной и вычислительной техники, информационных технологий в своейпрофессиональной деятельности;ПК-1 - способность строить простейшие физические и математические моделиприборов, схем, устройств и установок электроники и наноэлектроники различногофункционального назначения, а также использовать стандартные программные средстваих компьютерного моделирования;ПК-5 - готовность выполнять расчет и проектирование электронных приборов,схем и устройств различного функционального назначения в соответствии с техническимзаданием с использованием средств автоматизации проектирования;Планируемые результаты обучения по дисциплине (модулю), характеризующиеэтапы формирования компетенцийЗнатьУметьОПК-2цели, задачи, место физикисреди других научныхдисциплин и ее влияние нанаучно-технический прогресс;основные процессы, явления,объекты, изучаемые в данномкурсе;ОПК-6способы поиска, хранения,обработки и анализаинформации из различныхисточников и баз данныхраскрывать взаимосвязь междуосновными разделами физики идругими науками;выбирать методы при изучениитого или иного явления,учитывая все их преимуществаи недостаткипредставлять информацию втребуемом формате сиспользованиеминформационных,компьютерных и сетевыхтехнологийОПК-7ПК-1Владетьметодами решенияпроизводственных задачкомпьютерными и сетевымитехнологиями в объеме,необходимом для поиска,хранения, обработки и анализаинформацииспособы получения (WWW),хранения (носители),переработки информацииполучать с компьютеранеобходимые данные в виденеобходимом для дальнейшегоиспользованияспособностью работать синформацией в глобальныхкомпьютерных сетях;готовностью учитыватьсовременные тенденцииразвития электроники,измерительной ивычислительной техники,информационных технологийпредставления обинформационныхтехнологиях, используемых впроцедурах проектированияэлектронных средств, ихклассификации, свойствах,используемых технологияхПрименять знания об основныхинформационных технологиях,применяемых в процессепроектирования электронныхсредств, технологияхфункциональногомоделирования ИТ систем,структурах построения ИТсистем , модулях, включаемыхв современные ИТ систем,построении сетевых ИТумения использоватьприобретенные знания прииспользовании современныхИТ систем, моделироватьструктуры используемыхтехнологий для задачпроектирования РЭСПК-5технологию работы на ПК всовременных операционныхсредах, основные методыразработки алгоритмов ипрограммприменять языкипрограммирования высокогоуровня, программноеобеспечение и технологиипрограммирования для типовыхинформационных объектоввычислительными средствамидля решения практическихзадач в своейпрофессиональнойдеятельности и дляорганизации своего труда.способностью собирать,обрабатывать, анализировать исистематизировать научнотехническую информацию потематике исследования,использовать достиженияотечественной и зарубежнойнауки, техники и технологии4.
Межпредметные связи.Процесс изучения дисциплины направлен на формирование следующихкомпетенций, взамосвязанных с другими дисциплинам:ОПК-2 - Алгебра и геометрия (1-2 семестры – взаимодействие);- Химия (1-2 семестры – взаимодействие);- Физика (1-3 семестры – взаимодействие);- Математический анализ (1-4 семестры – взаимодействие);- Дискретная математика (3 семестр – взаимодействие);- Основы теории цепей (3-4 семестры – взаимодействие);- Методы математической физики (3-4 семестры – взаимодействие);- Квантовая механика (4 семестр – взаимодействие);- Теория вероятности (4 семестр – взаимодействие);- Материалы и элементы электронной техники (4-5 семестры – взаимодействие);- Автоматизация эксперимента (5 семестр – взаимодействие);- Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологии (5 семестр –взаимодействие);- Квантовая и оптическая электроника (5 семестр – взаимодействие);- Статистическая физика (5 семестр – взаимодействие);- Нанотехнологии в электронике (5-6 семестры – взаимодействие);- Микросхемотехника (5-6 семестры – взаимодействие);- Физика конденсированного состояния (5-7 семестры – взаимодействие);- Технологии электронной компонентной базы (6 семестр – взаимодействие);- Физика полупроводниковых приборов (6 семестр – взаимодействие);- Фотоника (6-7 семестры – взаимодействие);- Схемотехника специализированных интегральных схем (6-7 семестры –взаимодействие);- Физика низкоразмерных структур (7 семестр – взаимодействие);- Перспективные материалы наноэлектроники (7-8 семестры – взаимодействие);- Твердотельная электроника (7-8 семестры – взаимодействие);- Основы проектирования электронной компонентной базы (7-8 семестры –взаимодействие);- Перспективные технологические процессы микро- и наноэлектроники (8 семестр– взаимодействие);- Элементы и приборы наноэлектроники (8 семестр – взаимодействие).ОПК-6 - История (1 семестр – взаимодействие);- Информатика (1 семестр – взаимодействие);- Введение в специальность (1 семестр – взаимодействие);- Химия (1-2 семестры – взаимодействие);- Алгебра и геометрия (1-2 семестры – взаимодействие);- Физика (1-3 семестры – взаимодействие);- Математический анализ (1-4 семестры – взаимодействие);- Практика по получению первичных профессиональных умений и навыков, в томчисле первичных умений и навыков научно-исследовательской деятельности (2 семестр –взаимодействие);- История и методология научных исследований (2 семестр – взаимодействие);- Информационные технологии (2-3 семестры – взаимодействие);- Экономика (3 семестр – взаимодействие);- Дискретная математика (3 семестр – взаимодействие);- Методы математической физики (3-4 семестры – взаимодействие);- Основы теории цепей(3-4 семестры – взаимодействие);- Экология (4 семестр – взаимодействие);- Квантовая механика (4 семестр – взаимодействие);- Теория вероятности (4 семестр – взаимодействие);- Материалы и элементы электронной техники (4-5 семестры – взаимодействие);- Статистическая физика (5 семестр – взаимодействие);- Автоматизация эксперимента (5 семестр – взаимодействие);- Квантовая и оптическая электроника (5 семестр – взаимодействие);- Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологии (5 семестр –взаимодействие);- Нанотехнологии в электронике (5-6 семестры – взаимодействие);- Микросхемотехника (5-6 семестры – взаимодействие);- Физика конденсированного состояния (5-7 семестры – взаимодействие);- Физика полупроводниковых приборов (6 семестр – взаимодействие);- Системы автоматизированного проектирования в электронике (6-7 семестры –взаимодействие);- Фотоника (6-7 семестры – взаимодействие);- Схемотехника специализированных интегральных схем (6-7 семестры –взаимодействие);- Физика низкоразмерных структур(7 семестр – взаимодействие);- Научно-исследовательская работа(7 семестр – взаимодействие);- Перспективные материалы наноэлектроники (7-8 семестры – взаимодействие);- Твердотельная электроника(7-8 семестры – взаимодействие);- Основы проектирования электронной компонентной базы (7-8 семестры –взаимодействие);- Перспективные технологические процессы микро- и наноэлектроники (8 семестр– взаимодействие);- Элементы и приборы наноэлектроники (8 семестр – взаимодействие);- Практика по получению профессиональных умений и опыта профессиональнойдеятельности (8 семестр – взаимодействие);- Преддипломная практика (8 семестр – взаимодействие);- Государственная итоговая аттестация (8 семестр – взаимодействие).ОПК-7 - Информационные технологии (2-3 семестры – взаимодействие);- Основы теории цепей(3-4 семестры – взаимодействие);- Материалы и элементы электронной техники (4-5 семестры – взаимодействие);- Квантовая и оптическая электроника (5 семестр – взаимодействие);- Автоматизация эксперимента (5 семестр – взаимодействие);- Физико-химические основы процессов микро- и нанотехнологии (5 семестр –взаимодействие);- Микросхемотехника (5-6 семестры – взаимодействие);- Технологии электронной компонентной базы (6 семестр – взаимодействие);- Методы диагностики и анализа микро- и наносистем (6 семестр –взаимодействие);- Системы автоматизированного проектирования в электронике (6-7 семестры –взаимодействие);- Фотоника (6-7 семестры – взаимодействие);- Схемотехника специализированных интегральных схем (6-7 семестры –взаимодействие);- Физика низкоразмерных структур(7 семестр – взаимодействие);- Научно-исследовательская работа(7 семестр – взаимодействие);- Перспективные материалы наноэлектроники (7-8 семестры – взаимодействие);- Твердотельная электроника (7-8 семестры – взаимодействие);- Основы проектирования электронной компонентной базы (7-8 семестры –взаимодействие);- Перспективные технологические процессы микро- и наноэлектроники (8 семестр– взаимодействие);- Элементы и приборы наноэлектроники (8 семестр – взаимодействие);- Практика по получению профессиональных умений и опыта профессиональнойдеятельности (8 семестр – взаимодействие);- Преддипломная практика (8 семестр – взаимодействие);- Государственная итоговая аттестация (8 семестр – взаимодействие).ПК-1 - Информационные технологии (2-3 семестры – взаимодействие);- Основы теории цепей (3-4 семестры – взаимодействие);- Материалы и элементы электронной техники (4-5 семестры – взаимодействие);- Квантовая и оптическая электроника (5 семестр – взаимодействие);- Автоматизация эксперимента (5 семестр – взаимодействие);- Нанотехнологии в электронике (5-6 семестры – взаимодействие);- Физика полупроводниковых приборов (6 семестр – взаимодействие);- Системы автоматизированного проектирования в электронике (6-7 семестры –взаимодействие);- Физика низкоразмерных структур(7 семестр – взаимодействие);- Научно-исследовательская работа(7 семестр – взаимодействие);- Элементы и приборы наноэлектроники (8 семестр – взаимодействие).ПК-5 - Информационные технологии (2-3 семестры – взаимодействие);- Нанотехнологии в электронике (5-6 семестры – взаимодействие);- Микросхемотехника (5-6 семестры – взаимодействие);- Схемотехника специализированных интегральных схем (6-7 семестры –взаимодействие);- Системы автоматизированного проектирования в электронике (6-7 семестры –взаимодействие);- Научно-исследовательская работа(7 семестр – взаимодействие);- Основы проектирования электронной компонентной базы (7-8 семестры –взаимодействие);- Практика по получению профессиональных умений и опыта профессиональнойдеятельности (8 семестр – взаимодействие);- Преддипломная практика (8 семестр – взаимодействие);- Государственная итоговая аттестация (8 семестр – взаимодействие).5.