Диссертация (Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры), страница 22
Описание файла
Файл "Диссертация" внутри архива находится в папке "Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры". PDF-файл из архива "Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве СПбПУ Петра Великого. Не смотря на прямую связь этого архива с СПбПУ Петра Великого, его также можно найти и в других разделах. , а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст 22 страницы из PDF
B. The development of a bistable microdrive for the micromechanicalgyroscopes / Y. B. Enns, R. V. Kleimanov, A. N. Kazakin, E. N. Pyatishev and A. V.Кorshunov // Journal of Physics: Conference Series. –2017. –Vol. 816. –№ 1,(https://doi.org/10.1088/1742-6596/816/1/012042)59.Эннс Я. Б. Разработка бистабильного микропривода для микромеханическихгироскопов / Я. Б. Эннс, А. Н. Казакин, Р. В. Клейманов, А. В. Коршунов, Е. Н.Пятышев // Физика полупроводников и наноструктур, полупроводниковая опто- инаноэлектроника: тезисы докладов 18-й всероссийской молодёжной конференции,2016.
C. 13560.Young W.C. Roark’s Formulas for Stress and Strain/ W.C. Young, R.G. Budynas// McGraw-Hill, Inc., pp. 93-156, 1989.61.Enns Y.B. Bistable arch-like beams with modulated profile as perspectivesupporting structures of a microelectromenchanical actuator / Y.B. Enns, E. N. Pyatishev,A. Glukhovskoy // IOP Conf. Series: Journal of Physics: Conf. Series.
–2017. –№917(doi :10.1088/1742-6596/917/8/082013)62.Enns Y.B. The development of the bistable micromechanical actuator for opticalrelay / Y.B. Enns, E.N. Pyatishev, A.N. Kazakin// IOP Conf. Series: Journal of Physics:Conf. Series . –2018. –№1124. –pp. 1-663.Zemen Y. The impact of yield strength of the interconnector on the internal stressof the solar cell within a module/ Y.
Zemen, T. Prewitz, T. Geipel // 5th World Conferenceon Photovoltaic Energy Conversion, Valencia, Spain. –2010. –pp. 4073-407864.Li L.Stress Analysis for Processed Silicon Wafers and Packaged Micro-devices/ L.Li, Y. Guo, Y. Zheng // Micro- and Opto-Electronic Materials and Structures: Physics,Mechanics, Design, Reliability, Packaging.
–2007. –pp. 677–709 (DOI: 10.1007/0-38732989-7 45)15365.Синев Л. С. Оценка механических напряжений в соединенных приповышенной температуре кремнии и стекле // Наука и образование. МГТУ им. Н.Э. Баумана. Электрон. журн. Рег. № ФС 77-48211. –2014. –№ 12. –С. 951–965.66.Синев Л. С., Рябов В. Т. Расчет коэффициентных напряжений в соединенияхкремния со стеклом // Нано- и микросистемная техника. –2014. –№ 9. –С. 32–37.67.Gleskova H.
Mechanical Theory of the Film-on-Substrate-Foil Structure: curvatureand overlay alignment in amorphous silicon thin-film devices fabricated on free-standingfoil substrates // Electronic Materials: Science & Technology. – 2009. –Vol. 11. FlexibleElectronics: Materials and Applications / ed. by W.
S. Wong, A. Salleo. Springer US. –P. 29–51.68.Bao M. Mechanics of Beam and Diaphragm Structures// In: Analysis and DesignPrinciples of MEMS Devices. Amsterdam, Elsevier. –2005. –pp. 33-114 (DOI:10.1016/B978-044451616-9/ 50003-5)69.Синев Л. С. Температурный коэффициент линейного расширения (винтервале температур от 130 до 800 K) боросиликатных стекол, пригодных длясоединения с кремнием в микроэлектронике/ Л. С. Синев, И. Д. Петров // Стекло икерамика. 2016. № 1. С. 35–38.70.Okada Y. Precise determination of lattice parameter and thermal expansioncoefficient of silicon between 300 and 1500 K/ Y. Okada, Y. Tokumaru // J.
Appl. Phys.–1984. –Vol. 56. –no. 2. –P. 314–32071.Эннс Я.Б. Бистабильное микромеханическое реле на основе потериустойчивости нелинейных упругих структур / Я.Б. Эннс, Пятышев Е.Н., Ю.Д.Акульшин, П.Б. Эннс// нано- и микросистемная техника. 2018. Том 20, № 11. С.688-695. doi: 10:17587/nmst.20. 688-69572.Dziuban J.A. Bonding in Microsystem Technology// - Netherlands: Springer. –2006. –p. 34573.Эннс Я.Б. Моделирование вибрационных микромеханических гироскопов /Эннс Я.Б., Клейманов Р.В., Казакин А.Н., Пятышев Е.Н., Коршунов А.В. // В154сборнике: «Наука и инновации в технических университетах» Материалы ДесятогоВсероссийского форума студентов, аспирантов и молодых ученых. 2016.
С. 3174.Эннс Я.Б. Моделирование бистабильногомикропривода первичныхколебаний микромеханического гироскопа / Я.Б. Эннс, E.Н. Пятышев // Неделянауки СПБПУ: материалы научной конференции с международным участием.Институт металлургии машиностроения и транспорта. 2016.
C. 9775.Pyatyshev E.N. A micromechanical gyroscope with bistable suspension ofmicrodrive / E.N. Pyatyshev, Ya.B. Enns, I.M. Komarevtsev, M. Wurz, A. Glukhovskoy// 24th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems.2017. P 379-38276.Pyatishev E.N. Increasing the capacity of micromechanical gyroscope combactuator using bistable suspension / E.N. Pyatishev, Y.B. Enns, R.V. Kleimanov and et.al.// 25th Saint Petersburg International Conference on Integrated Navigation Systems.2018, pp. 1-3, DOI: 10.23919/ICINS.2018.840590377.Э16 Pyatishev E.N. A Sensing element for a high-precision micromechanical LL-type gyroscope / E.N. Pyatishev, Y.B. Enns, Y.A.
Nekrasov //25th Saint PetersburgInternational Conference on Integrated Navigation Systems. 2018, pp. 1-5, doi:10.23919/ICINS.2018.840590278.Семёнов А.С. Вычислительные методы в теории пластичности: Учебноепособие. – СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2008. – 210 с79.Acar C. MEMS Vibratory Gyroscopes.
Structural Approaches to ImproveRobustness/ Cenk Acar, Andrey Shkel// Springer. –2009. –P. 26280.Zheng C. COMSOL Simulation of a Dual-axis MEMS Accelerometer with T-shapeBeams/C Zheng, X. Xiong, J. Hu// COMSOL Conference in Boston 2015, URL:https://www.comsol.ru/paper/download/257391/zheng_paper.pdf. – (Дата обращения:11.11.2018).81.Зинер К. Упругость и неупругость металлов: Сборник / под ред. С.В.Вонсовского. М.: ИИЛ, 1954. С.
9–168.15582.Munson B.R. Fundamentals of Fluid Mechanics/ B.R. Munson, D.F. Young, andT.H. Okiishi// Iowa: John Wiley and Sons. –200283.Roy S. Modelling gas flow through microchannels and nanopores/ S. Roy, R. Raju// Journal of applied physics. –2003. –№93. –pp.4870-487984.Gorelick S. Air damping of Oscillating MEMS Structures: Mjdeling andComparison with Experiment/ J. R. Dekker, M. Leivo, U. Kantojarvi// COMSOLConference in Rotterdam. –201385.Trusov A. A. Micromachined rate gyroscope architecture with ultra-high qualityfactor and improved mode ordering/Alexander A. Trusov, Adam R.
Schofield, Andrei M.Shkel//Sens. Actuators A: Phys. –2010. (doi:10.1016/j.sna.2010.01.007)86.Sarah J. Geiger Pressure-dependence of MEMs Devices in Air, Helium, and ArgonGases// university of florida material physics reu program. –201287.Табор М. Хаос и интегрируемость в нелинейной динамике//«ЕдиториалУРСС» . –2001. –320 с.88.Кузнецов А.П. Нелинейные колебаний/ А.П. Кузнецов, С.П. Кузнецов, Н.М.Рыскин // учеб. пособие для вузов. -М.:Издательство физико-математическойлитературы.
–2002. –292 с.89.Патент РФ №2244271, МНК G01H11/06 Способ контроля качестваизготовления микромеханических устройств / Некрасов Я.А., Моисеев Н.В. //приор.13.05.2003 ФГУП ЦНИИ "Электроприбор", опубл. 10.01.2005 Бюл. №190.Thompson J.M.T. Instabilities and catastrophes in science and engineering // NewYork: John Wiley & Sons.
–1982. –p.254.
