0752-9-freview (1143962)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

на автореферат диссертации Эннса Якова Борисовича «Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры»„представленной в диссертационный совет Д 212.229.02 на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — технология для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. Современные тенденции развития изделий микроэлектроники и микросистемной техники предполагают использования нелинейных эффектов для гюлучения приборов с принципиально новыми качествами и характеристиками. К таким устройствам можно отнести бистабильные микроприводы, основные рабочие параметры которых основываются на явлении потери устойчивости механических подвесов.

Решение технологических и конструкционных проблем создания таких устройств является острой и важной задачей, слабо отраженной как в отечественной, так и в зарубежной литературе. Исходя из этого, тема диссертационного исследования Эннса Я.Б., связанная с изучением технологических методов формирования нелинейной арочной микростукруры, и изучением ее физических свойств, является безусловно актуальной. Согласно автореферату, автор поставил перед собой задачу изучения потери устойчивости нелинейных микромеханических структур на базе металлических пленок и объемных кремниевых балок.

К основным результатам работы следует отнести получения качественных и количественных данных о характере возникновения и методах управления внутренними напряжениями металлических пленок, а также теоретические и экспериментальные результаты исследования потери устойчивости пленочных и кремниевых микромеханических элементов.

Полученные результаты работы были использованы в ряде НИОКР, были внедрены в производство и опубликованы в ведущих российских и зарубежных изданиях. Однако к тексту автореферата имеется ряд вопросов и замечаний: — В тексте автореферата остались недостаточно раскрытыми методы для решения нелинейных эффектов; — Из текста автореферата не ясно оценивались ли погрешности результатов, полученных при численном моделировании, влияние сетки, а также степень влияния параметров моделирования. — Текст автореферата содержит ряд погрешностей стилистического и редакционного характера .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации