0752-1-freview (1143953)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

ОТЗЫВ на автореферат диссертации Эннса Якова Борисовича «Исследование потери устойчивости для нелинейной микромеханической структуры», представленной в диссертационный совет Д 212.229.02 на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.06 — технология для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники, Диссертационная работа Эннса Я.Б. посвящена решению актуальной задачи современной микросистемной техники — разработке конструкции и технологии изготовления нелинейных микроэлектромеханическнх систем с двумя или более устойчивыми состояниями, В своей работе автор исследует процессы формообразования внеплоскостных пленочных и объемных микробалок, а именно арочных микромеханических структур, форма профиля которых влияет на статическое и динамическое поведение и механическую устойчивость конструкции.

Поставленная автором цель — разработка технологических методов изготовления подобных структур и создания на их основе устройств микросистемной техники представляется весьма актуальной для развития микромеханики. Это подтверждается серией НИР и ОКР, лежащих в основе данной работы, а именно разработками оптоэлектрических переключателей для широкополосной системы связи, контактных микрореле и вибрационных микромеханических гироскопов. Таким образом, следует отметить научную и практическую значимость данного исследования. В автореферате автор приводит широкий спектр экспериментальных и теоретических исследований, направленных на изучение процессов образования внутренних напряжений в пленках металлов, напыле нных магнетронным способом и выявления критериев нелинейного поведения арочных микроструктур.

На основе полученных результатов изготовлены и экспериментально исследованы прототипы устройств микросистемной техники. Кроме того, автор активно представлял результаты своей деятельности на всероссийских и международных конференциях и получил ряд патентов РФ. Содержание автореферата достаточно полно раскрывает цель работы, методики исследования и полученные результаты.

Однако к тексту автореферата имеется ряд замечаний и вопросов: — из текста автореферата не ясно, чем обусловлен выбор исследуемых материалов, а именно пленочной металлической композиции Сг-Си — Сг. — в автореферате приводится метод позволяющий осуществить при магнетронном напылении контроль внугренних'напряжений путем изменения давления рабочего газа, однако не ясно оценивалось ли влияние других параметров магнетронного напыления и другие методы формирования плйнок.

-в третьей и четвертой главе приводятся методы повышения устойчивости стабильных состояний и методы снижения управляющего напряжения микромеханической структуры, выполненной по объдмной технологии микросистемной техники, хотелось бы уточнить на сколько применимы данные методы для структур из~отов~~нных на ос~ове поверхностной технологии микросистемнОЙ техники. СДеланные замечаниЯ не снижают хОрошего впечатления От проделанной автором работы, и не умеиьша~от ценнос~и полученных результатов.

Р~бо~а выполнена на высоком научно-техническом уровне, достоверность результатов подтверждается их воспроизводимостыо, корреляцией экспериментальных и теоретических данных и сомнений не вызывает, Диссертационная работы Эннса Якова Борисовича удовлетворяет всем требованиям ВАК РФ, предъявляемым в пп.

9-11 «Положения о присуждении ученых степеней» от 24 сентября 2013 г. М 842 (ред. от О! .10.2018 Х 1163), а ее автор заслуживает присуждения учйной степени Кандидата техниче~ки~ наук по специальности 05,27.06 — технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники. мной Техники МИЭТ 1имошенков Сергей Петрович Подпись Тимоцзе1гкова Сергея Пе ича удостоверяю Ученый секрекарь ЬЩЭТ -:.,; Ларионов Николай Михайлович :~'~Ъ.

~У 124493 г. Зеленогркдгвтбсква, пл. Шокина, Д.1. МИЭТ, ИНМСТ. 8-495- 720-37-68, зр1®хп1ее.гп .

Характеристики

Тип файла PDF

PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.

Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.

Список файлов диссертации