0752-3-freview (1143958)
Текст из файла
отзыв на авпгореферат диссергггагггги Эннса Якова Борисовича «Исследовангге попгери усгпойчивосгпи для нелинейной гиггкромеханггческой сгпрукпгурыгч предстсгвленной в диссертауггонный совгпп ггг212.229.02 на соискание ученой степени кандидата технических наук по сггеиггагьносгпи 05.27.0б — технология для производсгпва ггогуггроводников, лгатериагов и приборов элекпгронной техники. Диссертационная работа Эннса Я.Ь.. посвящена разработке конструкции нелинейной микроэлектроягеханической системы и технологических методов ее формирования. Интерес к нелинейным микроструктурам, в частности к явлению потери устойчивости механических эггементов.
обусловлен особенностями их статического и динамического поведения, возможностью создания двух и более стабильных состояний за счет бифуркации механической системы. Определяющую роль в создании устройств на их основе имеют технологии формирования нелинейных микромеханических элементов, которые в настояшее время являются недостаточно разработанными, что сдерживает развитие данного направления. "Это доказывает безусловную важность проделанной исследовательской работы и актуальность темы диссертации. Работа выполнена на высоком экспериментальном и научно-техническохг уровне, обладает научной новизной и имеет большое практическое значение. Особенно стоит отметить большое количество экспериментальных исследований, хорошо согласующихся с результатами численного моделирования.
Диссертантом бьши разработаны технология изготовления и конструкции ряда микрос истемных устройств. основанных на потере механической устойчивости упругих элементов„с последующим их изготовлением. Н ходе экспериментов были определены механические параметры напьшяемых пленок, изучено динамическое поведение бистабильных микросистем, основанных на явлении потери устойчивости. Автореферат написан хорошим литературным языком и дос ваточно и;шюстрирован. Однако, автореферат не лишен ряда недостатков: Из автореферата не совсем ясен переход между исследованиями пленочных нелинейных микросистем к изделиям, выполненным по объемной технологии микросистемной техники.
В автореферате обсуждается корреляция зависимости внутренних напряжений металлических пленок. полученных в ходе магнетронного напыления от давления рабочего газа., однако не приводится достаточной аргументации причины данного поведения. В автореферате не приведена аргументация выбора исшгльзуемых для изучения статического и динамического повеления геометрий прототипов датчиков, В целом, несмотря на отмеченные недостатки, автореферат диссертации 3ннса Якова Борисовича свидетельствует о высоком научном уровне проделанной работы. и. несомненно.
удовлетворяет требованиям ВАК РФ. предъявляемым в нп. 9-11 «Положения о присуждении ученых степеней» от 24 сентября 2013 г. № 842 (рсд. от 01.10.2018 1( 1168) к диссертациям по специальности 05.27.06. а ес автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук. Яшанин Игорь Борисович, кандидат физико- математических наук, главный научный сотрудник, филиала Федерального государственного унитарного предприятия «Российский федеральный ядерный центр— Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики» «Научно-исследовательский институт измерительных систем им.
1О.Е, Седакова», 603951, Россия, г. Нижний Новгород, Бокс № 486, тел. (83!7 462-59-03, е-та~1: ъ?ы1заптГй тйз. ппою.т ???О»????СЬ .7??Цй, ??О~ь????В?Я~ 0 ????? з~? в? Подпись ФОО заверяю: Ученый секретарь филиала, ,.~санд1здат'' твхнических наук '( Г.В. Труфанова ть организации Федеральное государственное унитарное предприятие «Российский федеральный ядерный центр — Всероссийский научно-исследовательский институт экспериментальной физики», Государственная корпорация по атомной энергии «Росатом», 607188, Нижегородская обл., г,Саров, проспект Мира, д.37 .
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.