Отзыв_ФГУП МНИИРИП (СВЧ комплементарный биполярный технологический процесс с высокой степенью симметрии динамических параметров транзисторов)

ФЕДЕРАЛЬНОЕ ГОСУДАРСТВЕННОЕ УНИТАРНОЕ ПРЕДПРИЯТИЕ <кМЫТИЩИНСКИЙ НАУЧНΠ— ИССЛк ДОВАТЕЛЬСКИЙ ИНСТИТУТ Р ИОИЗМЕРИТКЛЬНЫХ ПРИБОР В» МНИИРИП ул. Колпакова, д.2А, г. Мытищи, Московской обл. Россия, 141 992 Телэфакс+7(495) 886-17-21. Е-птаа: 1пгофгппвп1р.гц Лар:Гкиигигтппйпр.ги ОТЗЫВ на автореферат диссертации Дроздова Дмитрия Геннадьевича на тему: «СВЧ комплементарный биполярный технологический процесс с высокой степенью симметрии динамических параметров транзисторов», представленной на соискание ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 — Твердотельная электроника„ радиоэлектронные компоненты, микро и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах. Диссертационная работа Дроздова Д.Г.

посвящена исследованиям комплементарного технологического процесса с граничными частотами транзисторов более 10 ГГц, предназначенного для создания широкой номенклатуры изделий: быстродействующих операционных усилителей, усилителей с регулируемым коэффициентом усиления, буферных усилителей, а также аналого-цифровых и СВЧ интегральных схем. Актуальность данной работы не вызывает сомнений, поскольку она позволит обеспечить импортозамещение интегральных микросхем. Автором в работе проанализировано большое количество представленных комплементарных биполярных технологических процессов как на отечественном, так и на зарубежном рынках. По результатам автореферата можно сделать вьвод, что наиболее технологичным оказался предложенный автором процесс «с высокой степенью симметрии динамических параметров транзисторов» и апробированный на АО «НПП «Пульсар».

Для достижения поставленной цели, автором проработаны вопросы, связанные с приборно-технологическим моделированием СВЧ биполярных транзисторов, в частности: особенности построения расчетной сетки; калибровка моделей ионной имплантации, диффузии, окисления с учетом ограниченных возможностей отечественного технологического оборудования; анализ моделей расчета электрофизических характеристик. С применением разработанных методов проектирования проводились исследования конструктивных элементов СВЧ комплементарных биполярных транзисторов, в частности областей коллектора, активной и пассивной базы, поликремниевых эмиттеров и др. Результаты оптимизации обеспечивают повышение показателей качества комплементарных биполярных транзисторов при выполнении требований по граничной частоте и пробивному напряжению.

Для расширения возможностей технологического процесса проводились исследования методов интеграции в него СВЧ диодов Шоттки, а также полевых транзисторов с управляющим р-и переходом. Указанные элементы могут использоваться в таких ИМС как: смесители и умножители частоты, устройства выборки и хранения, малопотребляющие операционные усилители и т.д, По результатам диссертационной работы опубликовано 28 работ. Из них 5 работ опубликованы в изданиях, рецензируемых ВАК и 23 работы — в материалах международных и всероссийских научно-технических конференций.

Получено 4 свидетельства о государственной регистрации топологии ИМС. По материалам автореферата можно сделать следующие замечания: 1. Автор не опубликовал ни одного авторского свидетельства на изобретения или программы ПЭВМ. 2. Не определены основные направления оптимизации при интеграции в 3.

Не приведены данные о расхождении экспериментальных и теоретических оценок при построении расчетных сеток. Данные замечания не снижают общей высокой научной и практической значимости работы. В целом, диссертационная работа Дроздова Дмитрия Геннадьевича является законченным научным исследованием, содержащим новые ~~уУ~~~ "~ Начальник управления, кандидат технических наук„доцент Кабанов И.Н. Начальник отдела СВЧ электроники Щепанов А.Н / , - /,.',,;~~. Зверев А.П. ,-/' у' ' Я' l' ,,:4- ., Сотников В.А. ф Ведущий научный сотрудник, кандидат технических наук, доцент Старший научный сотрудник Подписи Кабанова И.Н., Щепанова А.Н,, Зверева.А.Пт Сотникова В.А.

заверяю Ученый секретарь Научно-технического совета ФГУП «МНИИРИП»,".' кандидат военных наук А.Д. Лесин научные результаты имеющие существенное значение для области СВЧ-электроники и смежных областей. Автореферат достаточно полно отражает опубликованные работы автора.

Судя по содержанию автор еферата, диссертационная работ Дроздова Дмитрия Геннадьевича удовлетворяет требованиям п. 9 «Положения о присуждении ученых степеней», утвержденного постановлением Правительства РФ от 24 сентября 2013г. № 842, предъявляемым к кандидатским диссертациям, а автор работы заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук по специальности 05.27.01 — «Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах». .