Отзыв ВЗПП-Микрон (СВЧ комплементарный биполярный технологический процесс с высокой степенью симметрии динамических параметров транзисторов)
Описание файла
Файл "Отзыв ВЗПП-Микрон" внутри архива находится в следующих папках: СВЧ комплементарный биполярный технологический процесс с высокой степенью симметрии динамических параметров транзисторов, Документы. PDF-файл из архива "СВЧ комплементарный биполярный технологический процесс с высокой степенью симметрии динамических параметров транзисторов", который расположен в категории "". Всё это находится в предмете "технические науки" из Аспирантура и докторантура, которые можно найти в файловом архиве РТУ МИРЭА. Не смотря на прямую связь этого архива с РТУ МИРЭА, его также можно найти и в других разделах. Архив можно найти в разделе "остальное", в предмете "диссертации и авторефераты" в общих файлах, а ещё этот архив представляет собой кандидатскую диссертацию, поэтому ещё представлен в разделе всех диссертаций на соискание учёной степени кандидата технических наук.
Просмотр PDF-файла онлайн
Текст из PDF
oTЗЬIBнa aвтopeфеpaTДиссepтaцииДpoздoвa,,{митpияГeннaдьевиua<CBЧ кoмплементapньIй бипoляpньтй TехIIoлoгический пpoцeсс с вьlсoкoйсTетIеньIoсиММеTpии диI{aМическиx пapaМетpoB тpal]зистopoB>' пpедстaвленнoйнa сoискaниe y'reнoй сTепeни кaнДидaTa TеxIlических нayк пo специ€ l JIЬнoсTи05.27.01 - Tвepдoтельнaя эЛектpoникa' paдиoэлекTpoнEьIе кoMпoIlеtlTЬI' Микpoи нaнoэлекTpoникa, пpибopЬI нa кBaI{ToвьIхэффeктax.{иссеpтaциoннaя paбoтa,{poздoвaисслеДoBaниIoтеxнoлoгическoгoМикpocxеМ' сo.цep)кaщиxпoсвяЩенa кoМплeкcтloMУД.Г.пpoцессaизгoтoBлеIlияинTегpaЛЬнЬIхв сBoеМ coстaBе B и}lтегpaлЬнoМ Bapиaнте TaкиеэлeмeIITьI кaк сиММеTpичньIе веpTикaльньlе CBЧTpaнзистopЬI' бьtстpoдейстByloщиеn-p-n иp-n-p бипoляpньIeдиoдьI LLIoттки' пoлеBьIе тpaнзистopЬI сyпpaвJIяIoщиМ p-n пepехoДoМ.'{aнньIйтехнoлoгическийпpoцессиI{TегpaльнЬIx МикpoохеМ paзличнoгoчисле;аналoгoBo-цифpoвьIхиПpе,цн€ r знaченфyнкциoнaльнoгoдЛясoздaниянaЗнaчения, B ToМцифpo-aнaJ'loгoBЬIe пpеобpaзoвaтелей'oпepaциoнньIx yсилитeлeй,ДиQQеpенциaЛьнЬж кoМпaрaTopoB' yстpoйстввьrбopки и хpaнения' - CBчМИС(уcилlтTели Мoщнoсти, пpеoбpaзoBaTeЛиuaстoтьI), - сxеМ yпpaBления пиTaниеМ (истoнники стaбильнoгo тoкa, линейньlестaбилизaтopьr нaпpяжения),paсшиpeнньIМиa Taкже и дpyгихфyнкциoнaльньIМипеpспективньixвoзМo}кнoсTяМи' -ИMСсчTo .целает paбoтyaктyaльнoй и пpaктически знaчимoй.Baжнo oтМeтитЬ To, чTo paбoтa пoсвященa и пpеДЛaгaеткoнкpеTIIьIепvтиpeшениjl aктyaлЬIlьIх пpoблeм (нaдёжнoефyнкциoниpoвaние' пpoцeнт BЬIxoДaгoдI{ьIх' paдиaциoннall , стoйкoсть схeм) сoвpeМенIloгo МикpoэЛектpoнttoгoпpoизBoДотBa, oснaщённoгooбopy.ЦoвaниeМ oTечественнoгo ПpoизBoДсTвa снекoтopыМи oгpallиченияМи пpи пpoвe.цеEии теxнoЛoгиЧескиx oпеpaций, нaкoTopoМ' B oclloвI{oM'pеaЛизy}oтся изделия электpoннoй Tех}tикипpoекTllыМи нopMaМи бoлее lмкм.(ИЭT) сl.щя pешения Зa.цачпo иccЛeдoBal{ию Texнoлoгическoгo пpoцессa aBTopoМприМеtlяIoTся paзЛичньIеМеToдЬI' B ToMМoдеЛиpoBaние.
AвтopoMпpoцеcсoвyчеToМсПpибopнo-технoЛoГичeскoевьlпoлненa нaсTpoйкa Мoделей TеxнoлoГиЧескиxэкспepиМентaлЬньIxпpoцессoB'физическиxчисле.цaнньIх; oпpеделеньIиспoльзvеМьIepaсЧеTепDиМoДеЛипapaМетpoBкoМплеМентapньIх биполЯpньIx TpaнзистopaХ с гpaниЧнЬIМи ЧaсToтaМI4fТ - 10 _l5 ГГц; вьrбpaньr oптиМaJIьнЬIe кpитеpии пoсTpoения сеTки Для инжeнерFloгoпpoeктиpoвalrия CBЧМетo.цикибипoляpньrх TpaнзисTopoв.
Ha oснoве пpедлoжeннoйBЬIпoлнeнoпpoектиpoBaнияпoследoBaTеЛьнoсти и peжиМовиссле.цoBaEиетехнoлoгическихкoнстpyкций,oпеpaцийфopмиpoвaнияиIlTецpaJlьньж элrMeIIтoB, oбъединeнньIx в едиl{oМ пpоцессе.Слeдyет oTМеTиTЬ кoмплексньrй'к изyЧениюивоесTopoнний пo.цхoдoптиМизaции пpoцессoB иoннoй иMIIлaI{тaции и oтжигoв'иxBЛИЯH|4ЯHaэлeктpoфизиvескиe пapaМеTрьI paзЛичIrьIх иoннo-легиpoBaltньIх cтpyкTyр, и, BoсoбеннoсTи,нaиIlTегpaльньIxэлектрическиeИЭT ', Bxo.цяlциxпapaMеTpЬIвИМC'ивxapaкTepисTикидpyгиечaсTIIoсTи, пpиoтpaбoтке(TopМoзяЩегo)) ЛегировaI{ия фoсфopoм дЛя yМеrrЬшения aвToлегиpoBaнияИПpoцессoB иМПЛaнTaциииoнoв Sb*, As*, BF2*, P* пpи фopмирoвaнии бaзoвьrxиэМитTеpнЬlх oблaстей СBЧBьIпOл}IенияпpoбивньlмIIapaMетpoBn-p-nBзaиМoисклIoчaloIIIиxнaпpЯженияMиp.n-p oипoЛяpнЬIхTpaнзисТopoвдЛЯИтpебoвaний пoвьrсoкoйсTепeнигpaниvнoйсиММеTpиичaстoTе'диI{aMичеокихБкT.B кaчeстве зaMеЧaния к aвтopeфеpaтy MoжIio oTнести oтсyTствие BoЛЬтампepныxХapaктepисTиккoлЛектopньжпеpеxoдoвкoМплеMeнтaрньIхбипoляpньIx TpaI{зисTopoB' с испoлЬзoBaниеМ кoтopьIx МoгyT бьrть пoстpoеньlинтeгpaльньIe .циoдЬI нa oснoвеp-n пеpеXoдa и пoЛеBЬIе TpaI{зисTopЬ] сylrpaвЛяющиМ p-n пеpеxoдoМ.Peфеpaт сo.цеp)rшTбoльrпoй oбъём кaчественнoй инфоpмaции, МaTеpиaлизЛoх{е1{ гpaМoTIlьIМ'четкиМипoнятньIМязьIкoМ'пpoизBo.цитпpиятнoеBпечaTлrI{иe'кpoМе oднoй небpежнoй нетoЧнoоти B TеpМинoлoгии нa сTp.13'г.це нaдo писaтЬ или (TopMoзящее) легиpoвal{ие фoсфopoМ или (тopМoзяЩaя)иMплaнTaци,l фoсфopa.Hесмoщянa зaМечaниЯ, cчИTaЮ, Чтo диссеpTaциoннaя paбoтa <СBЧкoМплеМeнтapньrй бипoляpньrй теxнoлoгический пpoцeсс c вьrcoкoй сTепенЬIoсиММетpии.цинaМическиxщебoвaниямBAкпapaМеTpoBTpaнЗистopoB)сooTBетстByеTPФ, пpедъяBJIяеМьIМ к кaн.ци.цaтскиМ .циссеpтaЦияM' a ееaBтop безyслoвнo зacJry)киBaeт пpисy)кдения rrенoи сTепeни Кaн,ДИДa^raтеxЕиЧeских нayк пo спeциaльнocтeт05.27'01 _ Tвеpдoтeльнaя элекTpoникa'paдиoэлeкTpoIlEьIекoМпoнеIlTьI,Mикpo-инaнoЭЛекTpoникa'пpибopьrHaкBaнToBьIх эФФекTaх.Pyковoдитель пpoeктoвAo (BЗIIП-Микpoн)'дoцетrт, кaн.ци.цaTTехничrскиx нayкПoдпиоь Me.цве.цeвaH.M' зaвеpяlo:HaчaльникoTдеjla пo paбoте с пеpсoнaJIoМAдpeс:з940зз'Poосия,г.
Bopoнeж,Ленинскийпp-т 119aТел.: 8 (4.7з)227-94-з1e-mail: k1o@vsp-miо.vrn.ruffibЬi#ffi*.
