Диссертация (Методы и оптико-электронные приборы для контроля качества защитных голограмм), страница 11

В Таблицах 2.2 и 2.3 приведены значения составляющих80векторов параметров P0 и PN , которые характеризуют форму микрорельефа ДРс трапецеидальным профилем, а также случайные искажения рельефа этих ДР.Таблица 2.2.Значения составляющих вектора P0 формы микрорельефа образцов ДР ЗГ страпецеидальным профилемНомеробразца ДРЗГNVas2H6NVas2H8NVasSS3H12NVasSS4H14NVasSSH20NVasSSH22T0 ,мкмd,мкмотн. ед.отн. ед.отн. ед.отн. ед.отн. ед.1,51701,50141,52601,50581,03451,04120,30330,28910,26180,25640,23070,2392-0,5815-0,5837-0,5840-0,5881-0,5838-0,5897-0,0246-0,0171-0,0371-0,02460,01115 ⋅ 10−50,10160,10250,10080,11510,10390,10870,00530,00280,01390,00200,01480,0110-0,0201-0,0187-0,0168-0,0269-0,0201-0,0189NVasSSH241,03660,2360-0,58187 ⋅ 10−50,10330,0117-0,0215a1 ,a2 ,a3 ,a4 ,a5 ,Таблица 2.3.Значения составляющих вектора PN случайных искажений микрорельефаобразцов ДР ЗГ с трапецеидальным профилемНомеробразца ДРЗГNVas2H6NVas2H8NVasSS3H12NVasSS4H14NVasSSH20NVasSSH22NVasSSH24σ ξ , мкм0,01890,02970,01830,01650,01360,01120,0149Методикаγ1 ,γ2,kp ,мкмотн.

ед.отн. ед.отн. ед.отн. ед.1,250,51,71,30,750,71,70,700,900,650,650,750,700,800,100,100,160,150,100,100,101,01,01,01,01,01,11,10,330,400,330,350,300,350,15обработкиb1 ,данныхпрямыхb2 ,измеренийбылатакжеапробирована на ДР ЗГ с гребенчатым рельефом. В Таблице 2.4 и 2.5приведены значения составляющих векторов P0 и PN , которые характеризуютформу микрорельефа ДР с гребенчатым профилем, а также случайныеискажения рельефа.81Таблица 2.4.Значения составляющих вектора P0 формы микрорельефа образцов ДР ЗГс гребенчатым профилемНомеробразца ДРЗГNVasA2n10мкммкмотн. ед.отн. ед.1,22110,1179-0,48680,129210NVasA1n121,21780,1186-0,48950,134510NVasB1n141,31220,1471-0,49640,124610NVasB2n161,32180,1635-0,49590,124710NVasB1n181,32210,1541-0,49740,117710T0 ,d,a1 ,a2 ,a3 ,a4 ,отн.

ед.a5 ,отн. ед.отн. ед.−70,0215-0,0132−80,0186-0,0105−60,0009-0,0036−50,0066-0,0041−70,0085-0,0026Таблица 2.5.Значения составляющих вектора PN случайных искажений микрорельефаобразцов ДР ЗГ с гребенчатым профилемНомеробразца ДРЗГNVasA2n10NVasA1n12NVasB1n14NVasB2n16NVasB1n18σ ξ , мкм0,01130,01280,02430,01450,0176γ1 ,γ2,kp ,мкмотн. ед.отн. ед.отн. ед.отн. ед.1,21,20,851,41,10,650,650,700,650,600,250,200,050,200,070,950,951,11,01,10,330,330,300,330,33b1 ,b2 ,На основе апробации методики обработки данных прямых измеренийопределены типовые значения параметров микрорельефов ДР ЗГ имеющихсинусоидальный, трапецеидальный и гребенчатый профили.2.4.3. Оценка изменения параметров микрорельефа рабочих матриц впроцессе выпуска тиражей защитных голограммВ процессе выпуска тиража ЗГ их микрорельеф деформируется, что,естественно, может привести к выпуску бракованной продукции.

С цельюколичественнойоценкивозможныхдеформацийЗГбылипроведеныэкспериментальные исследования. В поставленных экспериментах износоценивался по параметрам микрорельефа образцов ЗГ, которые были82отпечатаны в начале и в конце тиража. На Рис. 2.31 представлен примервырезки из рулона отпечатанных ЗГ, которые делались в начале и концетиража.Рис. 2.31. Пример вырезки из рулона отпечатанных ЗГВырезки из начала и конца тиража содержали по три блока, в которыхрасполагалось 4 × 6 образцов ЗГ.

Каждый из этих блоков печатался блочнойрабочей матрицей, причём на барабане печатной машины располагалось дверабочих матрицы. Образцы ЗГ отбирались из каждого блока из верхнего инижнего ряда. На отобранных образцах ЗГ, фотография которых представленана Рис. 2.28, с помощью АСМ проводились измерения микрорельефа ДР впределах фрагмента 1 ЗГ. Кроме этого, чтобы оценить идентичность штамповЗГ на рабочих матрицах, отбирались образцы ЗГ, которые располагались наленте вблизи основных образцов ЗГ: снизу, сверху, слева или справа.На основе изложенной выше методики производилась обработка данныхпрямых измерений на АСМ с целью определения параметров микрорельефа, аименно, составляющих векторов P0 и PN .

Так как ДР на фрагменте 1 ЗГ имелимикрорельеф, профиль которого близок к синусоидальному, то использовалосьTTпредставление векторов в виде P0 = (T0 , d , a1 , a2 , a3 ) и PN = (σ ξ , b, k p , γ ) .РезультатыТаблицах 2.6 – 2.11.обработкиданныхэкспериментовпредставленыв83В первых столбцах таблиц приведено обозначение образцов ДР ЗГ. Вэтом обозначении первая буква «Н» или «К» обозначает начало или конецтиража. Второй символ – это цифра 1, 2 или 3, обозначающая образец ЗГ(см. Рис. 2.31).

Четвёртый символ – буква А или В, обозначает зону «а» или «б»на фрагменте 1 ЗГ (см. Рис. 2.28). Пятый символ – цифра 1 или 2 обозначаетположение ДР в окрестности «1» или «2» в зонах «а» или «б» (см. Рис. 2.28).Третий символ – Н или В обозначает низ или верх в окрестности «1» или «2».Кроме этого, в обозначениях некоторых ДР используются буквы «в», «н», «л»или «п», которые располагаются вблизи основных образцов ЗГ сверху, снизу,слева или справа.Таблица 2.6.Параметры микрорельефа образца ЗГ №1 из начала тиражаОбозн.образцаДР ЗГН1ВА1Н1ВА2Н1ВВ1Н1ВВ1лН1ВВ2Н1ВВ2пН1НА1Н1НА2Н1НВ1Н1НВ2Н1НВ2лВектор P0 параметров формы микрорельефаT0 ,мкм1,17341,18671,27901,28421,27311,27281,18061,18821,28261,29031,2924d,мкм0,15930,16460,18450,20240,20590,21270,16590,15480,20560,21420,2145a1 ,a2 ,a3 ,отн. ед.отн.

ед.отн. ед.0,49010,48920,49620,49880,49560,50000,48690,48660,50000,50000,50000,07760,08760,05650,06590,07010,07170,08780,08920,06060,06470,06240,00990,01080,00380,00120,00440,00000,01310,01340,00000,00000,0000Вектор PN параметров случайныхискажений микрорельефаb,γ,σξ ,kp ,мкм0,02130,01630,03840,02470,02570,02280,01610,02190,02430,02020,0203отн. ед.0,800,800,750,850,850,850,800,840,830,830,86мкм1,801,250,850,851,051,701,351,801,301,11,1отн. ед.1,031,031,031,031,031,031,031,031,031,031,0384Таблица 2.7.Параметры микрорельефа образца ЗГ №1 из конца тиражаОбозн.образца Вектор P0 параметров формы микрорельефаДР ЗГT0 ,d,a1 ,a2 ,a3 ,мкмотн.

ед. отн. ед. отн. ед.мкмК1ВА1 1,2166 0,1234 0,4800 0,0990 0,0200К1ВА2 1,2393 0,1228 0,4772 0,1105 0,0228К1ВВ1 1,3342 0,1755 0,4901 0,0868 0,0099К1ВВ2 1,3070 0,1652 0,4916 0,0848 0,0084К1НА1 1,2151 0,1446 0,4741 0,0959 0,0259К1НА2 1,2023 0,1415 0,4841 0,0849 0,0159К1НВ1 1,3051 0,1820 0,4862 0,0796 0,0138К1НВ2 1,3176 0,1735 0,4948 0,0929 0,0052Вектор PN параметров случайныхискажений микрорельефаb,γ,σξ ,kp ,отн. ед.отн. ед.мкммкм0,01890,650,651,20,01800,720,951,10,01560,652,11,20,02150,650,81,10,01640,661,41,050,01990,701,21,050,02670,700,851,20,01990,660,61,3Таблица 2.8.Параметры микрорельефа образца ЗГ №2 из начала тиражаОбозн.образцаДР ЗГН2ВА1Н2ВА2Н2ВА2пН2ВВ1Н2ВВ2Н2НА1Н2НА2Н2НВ1Н2НВ1пН2НВ2Н2НВ2нН2НВ2пВектор P0 параметров формы микрорельефаT0 ,мкм1,19551,22231,20101,30161,30521,20121,20411,30471,28711,31731,29651,2820d,мкм0,15210,14240,14730,20090,20090,16650,15060,19240,18920,17650,20740,2003a1 ,a2 ,a3 ,отн.

ед.отн. ед.отн. ед.0,47930,48270,48190,49130,49190,48210,47800,49370,49630,49800,49520,50000,10460,10310,10370,08020,08020,09900,09830,07690,07630,08120,07460,07900,02070,01730,01810,00870,00810,01780,02200,00630,00370,00200,00480,0000Вектор PN параметров случайныхискажений микрорельефаb,γ,σξ ,kp ,мкм0,01670,02160,01950,02180,02100,01640,01780,02230,02660,02930,02140,0237отн. ед.0,720,750,800,780,800,730,800,800,850,970,860,95мкм1,700,851,101,001,401,403,001,201,950,551,101,10отн. ед.1,031,031,031,031,031,031,031,031,031,031,031,0385Таблица 2.9.Параметры микрорельефа образца ЗГ №2 из конца тиражаОбозн.образца Вектор P0 параметров формы микрорельефаДР ЗГT0 ,d,a1 ,a2 ,a3 ,мкмотн.

ед. отн. ед. отн. ед.мкмК2ВА1 1,1884 0,1520 0,4855 0,0767 0,0145К2ВА2 1,2229 0,1497 0,4891 0,0861 0,0109К2ВВ1 1,2927 0,2005 0,5000 0,0549 0,0000К2ВВ2 1,3210 0,2124 0,500 0,0558 0,0000К2НА1 1,2173 0,1412 0,4727 0,1141 0,0273К2НА2 1,2168 0,1458 0,4823 0,1003 0,0177К2НВ1 1,3046 0,1959 0,4864 0,0823 0,0136К2НВ2 1,3221 0,1825 0,4911 0,0798 0,0089Вектор PN параметров случайныхискажений микрорельефаb,γ,σξ ,kp ,отн. ед.отн. ед.мкммкм0,01820,701,601,050,01720,900,951,050,02780,851,301,050,02080,851,201,050,01750,801,251,050,02240,801,401,050,01480,750,851,050,02160,751,401,05Таблица 2.10.Параметры микрорельефа образца ЗГ №3 из начала тиражаОбозн.образцаДР ЗГВектор P0 параметров формыВектор PN параметров случайныхмикрорельефаискажений микрорельефаb,γ,σξ ,kp ,d,a1 ,a3 ,T0 ,a2 ,отн.мкмотн.отн. ед.

отн. ед. отн. ед.мкммкммкмед.Н3ВА1Н3ВА2Н3ВВ1Н3ВВ2Н3НА1Н3НА2Н3НА2нН3НА2лН3НВ1Н3НВ2Н3НВ2нН3НВ2л1,19731,19881,29171,29531,17311,20181,18921,19401,28471,29301,30301,30130,16740,16210,20200,21190,15640,16690,15820,16430,20850,21120,21210,21520,48800,48720,49740,50000,49110,48610,49220,48910,50000,50000,50000,50000,09200,08960,07620,07220,09170,08060,08990,09720,07430,06980,07210,07230,01200,01280,00260,00000,00890,01390,00780,01090,00000,00000,00000,00000,01640,01820,02360,01790,02010,01480,02100,01670,02270,01540,01920,01480,720,770,770,820,950,950,780,780,780,850,801,00ед.1,702,101,101,400,700,551,901,801,901,101,900,701,031,031,031,031,051,051,031,031,031,031,031,0386Таблица 2.11.Параметры микрорельефа образца ЗГ №3 из конца тиражаОбозн.образцаДР ЗГК3ВА1К3ВА1лК3ВА2К3ВВ1К3ВВ2К3НА1К3НА1вК3НА2К3НВ1К3НВ1пК3НВ2Вектор P0 параметров формымикрорельефаT0 ,d,a1 ,a2 ,a3 ,мкмотн.

ед. отн. ед. отн. ед.мкм1,19021,18831,21681,28791,31321,17671,17371,20401,30841,29831,29920,13790,14870,14790,18850,19290,15170,16110,15310,17680,20510,19440,47600,47500,47650,49620,49110,48270,49310,48120,48850,49170,48000,10000,09820,10170,07690,07890,08980,07620,08900,09110,07840,08290,02400,02500,02350,00380,00890,01730,00690,01880,01150,00830,0200Вектор PN параметров случайныхискажений микрорельефаb,γ,σξ ,kp ,отн.отн.мкммкмед.0,02280,01530,01740,02140,01870,02630,02140,02110,02740,01360,01940,800,700,800,750,850,650,800,840,730,800,73ед.1,451,651,700,901,250,301,351,951,121,800,801,051,051,031,031,031,031,031,031,031,031,03Из анализа значений параметров ДР из начала и конца тиража ЗГ можноконстатировать:1) ДР образцов ЗГ из конца тиража имеют больший период, причёмотносительное увеличение периода достигает 4%;2) глубина рельефа ДР образцов ЗГ из конца тиража уменьшается, причёмотносительное уменьшение глубины достигает 20%;3) форма микрорельефа ДР образцов ЗГ из начала и конца тиражаотличается, а именно, к концу тиража уменьшается амплитуда первойгармоники и, в большинстве случаев, увеличивалась вторая и третьягармоники;4) СКО случайных искажений микрорельефа ДР образцов ЗГ к концутиража в большинстве случаев уменьшается;5) ДР образцов ЗГ, полученных различными рабочими матрицами даже вначалетиража,относительноеглубины – 13%;имеютзначениеразличныеизмененияпараметры,периодавчастности,достигает2%,а876) СКОслучайныхискажениймикрорельефаприблизительноравно 0,02 мкм.На основе вычисленных составляющих векторов P0 и PN , можнополучить достаточную информацию, для оценки отступления рельефа отноминального.