Заключение Диссертационного Совета (Развитие методов сканирующей зондовой микроскопии для диагностики электрофизических параметров элементов хранения энергонезависимой памяти)

ЗАКЛЮЧЕНИЕ ДИССЕРТАЦИОННОГО СОВЕТА Д 212.131.02 НА БАЗЕ ФЕДЕРАЛЬНОГО ГОСУДАРСТВЕННОГО БЮДЖЕТНОГО ОБРАЗОВАТЕЛЬНОГО УЧРЕЖДЕНИЯ ВЫСШЕГО ОБРАЗОВАНИЯ «МОСКОВСКИЙ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ УНИВЕРСИТЕТ» МИРЭА МИНОБРНАУКИ РОССИИ ПО ДИССЕРТАЦИИ НА СОИСКАНИЕ УЧЕНОЙ СТЕПЕНИ КАНДИДАТА НАУК

аттестационное дело № __________________

решение диссертационного совета от 05.04.2016 № 54

О присуждении Шиколенко Юрию Леонидовичу ученой степени кандидата технических наук.

Диссертация "Развитие методов сканирующей зондовой микроскопии для диагностики электрофизических параметров элементов хранения энергонезависимой памяти" в виде рукописи

по специальности 05.27.01 — Твердотельная электроника, радиоэлектронные компоненты, микро- и наноэлектроника, приборы на квантовых эффектах выполнена на кафедре наноэлектроники МИРЭА

принята к защите «12» января 2016 года, протокол № 51 диссертационным советом Д 212.131.02 на базе федерального государственного бюджетного образовательного учреждения высшего образования «Московский технологический университет» МИРЭА, Минобрнауки РФ, Москва, 119454, проспект Вернадского, 78. Состав диссертационного совета утвержден в количестве 29 человек 11.04.2012(№105/нк) с учетом внесенных изменений (приказ от 22.08.2012 №579/нк и приказ от 10.07.2015 № 770/нк).

Соискатель Шиколенко Юрий Леонидович, 1979 года рождения, гражданин Российской Федерации, аспирант МИРЭА. В 2012 году соискатель окончил магистратуру МГТУ МИРЭА.

Диссертация выполнена в федеральном государственном бюджетном образовательном учреждении высшего образования «Московский технологический университет» МИРЭА

Научный руководитель – Лукичев Владимир Федорович, член-корреспондент РАН, доктор физико-математических наук, профессор, профессор МИРЭА, ВРИО директора Физико-технологического института РАН.

Официальные оппоненты:

1. Тимошенков Сергей Петрович, гражданин РФ, доктор технических наук, профессор, заведующий кафедрой микроэлектроники МИЭТ.

2. Тагаченков Александр Михайлович, гражданин РФ, кандидат физико-математических наук, начальник отдела Института нанотехнологий микроэлектроники РАН (ИНМЭ РАН).

дали положительные отзывы на диссертацию.

Ведущая организация ЗАО “НТ МДТ” в своем положительном заключении, подписанным Быковым Виктором Александровичем, профессором, доктором технических наук, генеральным директором ЗАО “НТ МДТ” указала, что диссертация представляет собой завершенную научно-исследовательскую работу на актуальную тему, содержит совокупность новых результатов и положений, и ее автор заслуживает присуждения ученой степени кандидата технических наук.

В обсуждении диссертационной работы приняли участие: профессора д.т.н. Воротилов К.А, д.ф.-м.н. Китаева Г.Х., д.ф.-м.н. Мишина Е.Д., д.ф.-м.н. Морозов В.Г., д.ф.-м.н. Морозов А.И., д.ф.-м.н. Сигов А.С., д.т.н. Кондратенко В.С., д.т.н. Битюков В.К., д.ф.-м.н. Фетисов Ю.К.

Соискатель имеет 9 опубликованных работ, из них по теме диссертации опубликовано 9 научных работ, в том числе 6 статей в научных журналах и изданиях, которые включены в перечень российских рецензируемых научных журналов и изданий для опубликования основных научных результатов диссертаций.

Соискателем опубликованы 3 работы в материалах всероссийских и международных конференций;

Наиболее значимые научные работы по теме диссертации:

1. Лукичев В.Ф., Шиколенко Ю.Л. Постоянные запоминающие устройства на основе хранения заряда // Нано- и микросистемная техника. 2015. №10 (183). С. 42-54.

2. Лукичев В.Ф., Шиколенко Ю.,Л. Современная элементная база запоминающих устройств // Нано- и микросистемная техника. 2015. №11 (184). С. 40-53.

3. Шиколенко Ю.Л., Лапин Д.Г., Антонович А.Н. и др. Электрофизические механизмы, оказывающие влияние на функционирование ячеек flash-памяти // Известия Института инженерной физики. 2015. №38 (4). С. 12-17.

4. Лукичев В.Ф., Нестеров С.И., Сергеев Е.В., Шиколенко Ю.Л. Диагностика дефектов ячеек энергонезависимой памяти методом зонда Кельвина // Электронная техника. Серия 2. Полупроводниковые приборы. 2015. №4 (238). С.

5. Шиколенко Ю.Л. Диагностика дефектов ячеек энергонезависимой памяти методикой контактной сканирующей емкостной микроскопии // Наукоемкие технологии. 2016. (в печати)

6. Шиколенко Ю.Л., Лапин Д.Г., Антонович А.Н. Диагностика дефектов ячеек энергонезависимой памяти методикой контактной сканирующей емкостной микроскопии// Нано- и микросистемная техника. 2016. №2 (187).

На диссертацию и автореферат поступило 6 отзывов

1. От Ануфриева Ю.В., старшего преподавателя кафедры Электроники и наноэлектроники ФГБОУ «НИУ «МЭИ», кандидата технических наук, — отзыв положительный.

2. От Лебедева М.В., кандидата физико-математических наук, старший научный сотрудник ФГБУН ИФТТ РАН— отзыв положительный.

3. От Зеновой Е.В., доктора технических наук, начальника лаборатории ОРИМНС ФГБУН ИНМЭ РАН — отзыв положительный.

4. От Яковлева О.В., кандидата технических наук, профессора кафедры физики и нанотехнологий ФГБОУ ВПО «Курский государственный университет» — отзыв положительный..

5. От Шиманова С.Н., доктора технических наук, профессора, ведущего научного сотрудника управления АСУ и связи Института инженерной физики— отзыв положительный..

6. От Потапова А.А., доктора технических наук , ведущего научного сотрудника Центра гидрофизических исследований физического факультета ФГБОУ ВО «МГУ имени М.В. Ломоносова» — отзыв положительный.

Выбор официальных оппонентов и ведущей организации обосновывается тем, что они являются одними из ведущих специалистов в данной области.

Диссертационный совет отмечает, что в результате выполненных соискателем исследований:

1. Получена зависимость высокочастотных вольт-фарадных характеристик от уровня заряда, накопленного на плавающем затворе ячеек энергонезависимой памяти. На основе ее анализа показана возможность диагностики эффекта накопления избыточных основных/неосновных носителей заряда в дефектных ячейках.

2. Найдена зависимость уровня поверхностного потенциала в области плавающего затвора ячеек памяти от величины хранимого в нем заряда.

3. Путем анализа сигнала, пропорционального дифференциальной емкости, показана возможность диагностики элементов хранения энергонезависимой памяти, подверженных деградационным процессам, с латеральным разрешением 200 нм, разрешением по уровню заряда -1,6*10^-16 Кл.

4. Впервые изучено влияние толщины полупроводника, радиуса кривизны и электрических свойств зонда кантилевера на чувствительность методики контактной сканирующей микроскопии.

Теоретическая значимость исследования:

Экспериментальные данные, полученные в работе, объяснены с использованием известных теоретических методов и положений.

Значение полученных соискателем результатов исследования для практики подтверждается тем, что:

• предложенный способ диагностики эффекта накопления избыточных основных/неосновных носителей заряда и способ локализации дефектов контактных областей в дефектных ячейках может найти применение на производстве ИМС с интегрированной энергонезависимой памятью.

Другие научные достижения, свидетельствующие о научной новизне и значимости полученных результатов:

Полученные в диссертационной работе данные могут использоваться при разработке новых типов ячеек энергонезависимой памяти, а также для совершенствования существующих методов анализа отказов ИМС. Результаты исследований внедрены в учебный процесс кафедры физики и нанотехнологий ФГБОУ ВПО «Курский государственный университет».

Оценка достоверности результатов исследования выявила:

что полученные результаты не противоречат современным теоретическим представлениям;

что результаты диссертации неоднократно апробированы на конференциях;

что все основные результаты опубликованы в научных журналах из перечня ВАК.

Все вышеперечисленное в совокупности свидетельствует о достоверности полученных результатов и сделанных на их основании выводов.

Автором были выполнены измерения высокочастотных вольт-фарадных характеристик ячеек памяти с различным уровнем заряда на плавающем затворе. Автор разработал делитель напряжения, с использованием которого была определена чувствительность метода зонда Кельвина. Постановка задач и анализ полученных результатов проведены совместно с руководителем. Для оценки влияния характеристик зонда кантилевера на чувствительность методики контактной сканирующей емкостной микроскопии автором применены методы осаждения вольфрама из газовой фазы и локальной ионно-лучевой обработки.

В диссертации решены основные вопросы поставленной научной задачи, она соответствует критерию внутреннего единства, что подтверждается наличием последовательного плана исследования и непротиворечивой методологической платформы и взаимосвязанностью выводов.

На заседании 05.04.2016 диссертационный совет принял решение присудить Шиколенко Юрию Леонидовичу ученую степень кандидата технических наук.

При проведении тайного голосования диссертационный совет в количестве 21 человек, из них 6 докторов наук по специальности диссертации, участвовавших в заседании, из 29 человек, входящих в состав совета,
проголосовали: за присуждение учёной степени - 19, против присуждения учёной степени -2, недействительных бюллетеней нет.

Председатель

диссертационного совета А.С. Сигов

Ученый секретарь

диссертационного совета А.Н. Юрасов

05.04.2016