ДЗ2 (804563)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Рассчитать параметры диффузии и топологию транзисторов на основании исходных данных, представленных в таблице:

1 – толщина области p-кармана, мкм

2 – толщина областей истока и стока n-канального транзистора, мкм

3 – толщина областей истока и стока p-канального транзистора, мкм

4 – толщина изолирующего окисла (SiO₂), мкм

5 – толщина подзатворного диэлектрика (SiO₂), мкм

6 – ширина поликремниевого затвора, мкм

7 – толщина металлизации, мкм

8 – концентрация примеси в подложке, см^-3

9 – концентрация примеси p-кармана, см^-3

10 – концентрация примеси истока и стока p-канального транзистора, см^-3

11 – концентрация примеси истока и стока n-канального транзистора, см^-3

12 – проектная норма, мкм

13 – погрешность совмещения топологических слоев, мкм

14 – погрешность получения размера на подложке, мкм

Примеси: p-области: бор, n-области: фосфор

Расчет параметров диффузии при формировании p-кармана

1. Расчет параметров разгонки:

Произведение коэффициента диффузии на время разгонки вычисляется по формуле:

где – толщина области p-кармана, мкм;

– концентрация примеси p-кармана, см^-3;

– концентрация примеси в подложке, см^-3;

Необходимо задать значение поверхностной концентрации примеси из условия . Поскольку в данном случае примесью является бор, то . Значит . Было выбрано значение .

Задавшись температурой разгонки , по графику , , ) (рис. 3.1.1.) . D_p=4∙10⁻¹⁸ м²/с.

Рисунок 3.1.1. – Температурная зависимость коэффициента диффузии фосфора и бора в кремний. и – исходная и поверхностная концентрации примесей, см^-3

Время разгонки вычисляется по формуле:

Необходимая доза легирования вычисляется по формуле:

1. Расчет параметров загонки:

Произведение коэффициента диффузии на время загонки вычисляется по формуле:

Задавшись температурой загонки , по графику , , ) (рис. 3.1.1.) . D_з=1.5∙10⁻¹⁹ м²/с.

Время загонки вычисляется по формуле:

Расчет параметров диффузии при формировании p⁺- областей (областей стока и истока p-канального транзистора)

1. Расчет параметров загонки:

Значение функции ошибок определяется по формуле:

где –концентрация примеси истока и стока p-канального транзистора, см^-3;

– концентрация примеси в подложке, см^-3;

По таблице значений функции (таблица 3.2.1.), определяется

Таблица 3.2.1. – Значения функции

Произведение коэффициента диффузии на время диффузии вычисляется по формуле:

где – толщина областей истока и стока p-канального транзистора, мкм;

Задавшись температурой загонки , по графику , , ) (рис. 3.1.1.) .

Время диффузии вычисляется по формуле:

Расчет параметров диффузии при формировании n⁺- областей (областей стока и истока n-канального транзистора)

Так как области стока и истока n-канального транзистора формируются в p-кармане, то исходной концентрацией примеси является концентрация, полученная после диффузии p-кармана. Её можно рассчитать по формуле:

1. Расчет параметров загонки:

Значение функции ошибок определяется по формуле:

По таблице значений функции (таблица 3.2.1.), определяется

Произведение коэффициента диффузии на время диффузии вычисляется по формуле:

где – толщина областей истока и стока p-канального транзистора, мкм;

Задавшись температурой загонки , по графику , , ) (рис. 3.1.1.) .

Время диффузии вычисляется по формуле:

Топологический расчет транзистора

Минимальная длина канала определяется из условия смыкания (пробоя) областей стока и истока (за счет расширения области пространственного заряда перехода “сток-подложка”) определяется по формуле:

где – напряжение питания;

– концентрация примеси в подложке на уровне дна истока (стока).

Рассчитываем длину тонкого окисла:

Рис.Определение длины тонкого окисла

Где =0.15 мкм – погрешность размера топологического элемента на подложке; =0.1 мкм – погрешность совмещения двух топологических слоев.

Рассчитываем длину затвора:

=2.499+0.3+0.5 = 3.299 мкм

Рис. Определение длины затвора

Длина истоковых и стоковых областей:

=6 + 1 + 0.3 + 0.4 = 7.7 мкм.

Размеры p-карманов:

При определении размеров p-кармана нужно соблюдать те же принципы, что и в случае базовой и коллекторной областей биполярного транзистора.

=6 +0.3 + 0.8 = 7.1 мкм.

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов домашнего задания