ДЗ1 (804559)

Просмтор этого файла доступен только зарегистрированным пользователям. Но у нас супер быстрая регистрация: достаточно только электронной почты!

Текст из файла

Вариант 18.

Условие: спроектировать матрицу тонкопленочных интегральных резисторов, параметры которых приведены ниже:

Размеры ситалловой микроплаты выбирать из условия безотходного разделения групповой подложки стандартного размера (60x48 мм). Для изготовления резисторов использовать термическое вакуумное напыление.

Решение:

Определим оптимальное удельное поверхностное сопротивление резистивной пленки:

R_сл =

Согласно табл. 4, найденному значению R_сл отвечают сплавы PC3710 и PC4800. Предпочтителен сплав PC3710, имеющий меньшие значения α и γ_ст.

Для данного сплава находим R_сл = 50...3000 Ом; α = 1·10^-4К^-1; P_o = 5 Вт/см²; γ_ст = 0.005.

Выберем комбинированный метод изготовления, при котором ширина a резисторов формируется фотолитографией, а длина l – трафаретом. В связи с этим примем критические размеры l₁ = l₂ = 0.3 мм, а a₃ = a₄ = a₅ = a₆ = 0.1 мм.

Уточним выбранные критические размеры с учетом рассеиваемой мощности по формулам:

l₁ =

l₂ =

l₃ =

a₄ =

a₅ =

a₆ =

Уточним критические размеры с учетом требуемой точности. Предварительно определим технологический допуск (предельное отклонение) для каждого резистора:

γ_t = α · Δt_max = 10^-4 · 35 = 0.0035.

Для R_1,2,4,5,6 γ_тех = 0.05 - 0.005 - 0.0035 = 0.0415,

а для R₃ γ_тех = 0.1 - 0.005 - 0.0035 = 0.0915.

В случае термического вакуумного напыления γ_Rсл = 0.02.

Искомые размеры вычисляются так:

l₁ =

l₂ =

l₃ =

a₄ =

a₅ =

a₆ =

Сведем все в табличку:

Ограничение	R1	R2	R3	R4	R5	R6
Технологические возможности	0.3	0.3	0.1	0.1	0.1	0.1
Мощность рассеивания	0.19	0.67	0.86	1.17	1.04	1.30
Требуемая точность	0.971	1.062	0.331	1.036	0.738	0.390

Для каждого резистора подчеркнем наибольшее значение критического размера.

Вычисляем второй размер для каждого резистора:

a₁ = R_сл · l₁/R₁ = 950 · 0.971/170 = 5.42 мм;

a₂ = R_сл · l₂/R₂ = 950 · 1.062/540 = 1.87 мм;

a₃ = R_сл · l₃/R₃ = 950 · 0.86/700 = 1.17 мм;

l₄ = R₄ · a₄/R_сл = 1100 · 1.17/950 = 1.35 мм;

l₅ = R₅ · a₅/R_сл = 1750 · 1.04/950 = 1.92 мм;

R₆ = 4 · R_сл + 2 · (l_i/a₆)R_сл ~ l₆ = 1.23 мм.

Окончательные значения l и a:

Размер микроплаты для безотходного разделения принят 7.5x8 мм.

Рис. 1: Эскиз компоновки спроектированных резисторов

Характеристики

Тип файла документ

Документы такого типа открываются такими программами, как Microsoft Office Word на компьютерах Windows, Apple Pages на компьютерах Mac, Open Office - бесплатная альтернатива на различных платформах, в том числе Linux. Наиболее простым и современным решением будут Google документы, так как открываются онлайн без скачивания прямо в браузере на любой платформе. Существуют российские качественные аналоги, например от Яндекса.

Будьте внимательны на мобильных устройствах, так как там используются упрощённый функционал даже в официальном приложении от Microsoft, поэтому для просмотра скачивайте PDF-версию. А если нужно редактировать файл, то используйте оригинальный файл.

Файлы такого типа обычно разбиты на страницы, а текст может быть форматированным (жирный, курсив, выбор шрифта, таблицы и т.п.), а также в него можно добавлять изображения. Формат идеально подходит для рефератов, докладов и РПЗ курсовых проектов, которые необходимо распечатать. Кстати перед печатью также сохраняйте файл в PDF, так как принтер может начудить со шрифтами.

Список файлов домашнего задания