ДЗ1 (804561)
Текст из файла
Вариант 18.Условие: спроектировать матрицу тонкопленочных интегральных резисторов, параметрыкоторых приведены ниже:Номер резистора:123456Номинальное сопротивление, ОмПредельные отклонениясопротивления, %Рассеиваемая мощность, Вт17054070011001750560055105550.010.040.050.080.10.5Диапазон рабочих температур, ºC -10...+55 -10...+55 -10...+55 -10...+55 -10...+55 -10...+55Размеры ситалловой микроплаты выбирать из условия безотходного разделения групповойподложки стандартного размера (60x48 мм).
Для изготовления резисторов использоватьтермическое вакуумное напыление.Решение:Определим оптимальное удельное поверхностное сопротивление резистивной пленки:Rсл = √ ((0.170+0.540+0.7+1.1+1.75+5.6)/(5.88+1.85+1.43+0.91+0.57+0.18))=0.95кОмСогласно табл. 4, найденному значению Rсл отвечают сплавы PC3710 и PC4800.Предпочтителен сплав PC3710, имеющий меньшие значения α и γст.Для данного сплава находим Rсл = 50...3000 Ом; α = 1·10-4К-1; Po = 5 Вт/см2; γст = 0.005.Выберем комбинированный метод изготовления, при котором ширина a резисторовформируется фотолитографией, а длина l – трафаретом. В связи с этим примем критическиеразмеры l1 = l2 = 0.3 мм, а a3 = a4 = a5 = a6 = 0.1 мм.Уточним выбранные критические размеры с учетом рассеиваемой мощности по формулам:l1 = √ ((0.01∗170)/( 5∗950))=0.019 см=0.19 мм ;l2 = √ (( 0.04∗540)/(5∗950))=0.067 см=0.67 мм ;l3 = √ ((0.05∗700)/(5∗950))=0.086 см=0.86 мм ;a4 = √ ((0.08∗950)/(5∗1100))=0.117 см=1.17 мм ;a5 = √ ((0.1∗950)/(5∗1750))=0.104 см=1.04 мм ;a6 = √((0.5∗950)/(5∗5600))=0.130 см=1.30 мм.Уточним критические размеры с учетом требуемой точности.
Предварительно определимтехнологический допуск (предельное отклонение) для каждого резистора:γt = α · Δtmax = 10-4 · 35 = 0.0035.Для R1,2,4,5,6 γтех = 0.05 - 0.005 - 0.0035 = 0.0415,а для R3 γтех = 0.1 - 0.005 - 0.0035 = 0.0915.В случае термического вакуумного напыления γRсл = 0.02.Искомые размеры вычисляются так:l1 = (170∗0.005/950+0.02)/(0.0415−0.02)=0.971 мм ;l2 = (540∗0.005/950+0.02)/(0.0415−0.02)=1.062 мм ;l3 = (700∗0.005/950+0.02)/(0.0915−0.02)=0.331 мм ;a4 = (0.005+0.02∗950/1100)/(0.0415−0.02)=1.036 мм ;a5 = (0.005+0.02∗950/1750)/(0.0415−0.02)=0.738 мм ;a6 = (0.005+0.02∗950/5600)/(0.0415−0.02)=0.390 мм.Сведем все в табличку:ОграничениеR1R2R3R4R5R6Технологические возможности0.30.30.10.10.10.1Мощность рассеивания0.190.670.861.171.041.30Требуемая точность0.971 1.062 0.331 1.036 0.738 0.390Для каждого резистора подчеркнем наибольшее значение критического размера.Вычисляем второй размер для каждого резистора:a1 = Rсл · l1/R1 = 950 · 0.971/170 = 5.42 мм;a2 = Rсл · l2/R2 = 950 · 1.062/540 = 1.87 мм;a3 = Rсл · l3/R3 = 950 · 0.86/700 = 1.17 мм;l4 = R4 · a4/Rсл = 1100 · 1.17/950 = 1.35 мм;l5 = R5 · a5/Rсл = 1750 · 1.04/950 = 1.92 мм;R6 = 4 · Rсл + 2 · (li/a6)Rсл ~ l6 = 1.23 мм.Окончательные значения l и a:R1R2l, мм0.9711.062R3R4R5R60.861.351.921.231.041.30a, мм5.421.871.171.17Размер микроплаты для безотходного разделения принят 7.5x8 мм.Рис.
1: Эскиз компоновки спроектированных резисторов.
Характеристики
Тип файла PDF
PDF-формат наиболее широко используется для просмотра любого типа файлов на любом устройстве. В него можно сохранить документ, таблицы, презентацию, текст, чертежи, вычисления, графики и всё остальное, что можно показать на экране любого устройства. Именно его лучше всего использовать для печати.
Например, если Вам нужно распечатать чертёж из автокада, Вы сохраните чертёж на флешку, но будет ли автокад в пункте печати? А если будет, то нужная версия с нужными библиотеками? Именно для этого и нужен формат PDF - в нём точно будет показано верно вне зависимости от того, в какой программе создали PDF-файл и есть ли нужная программа для его просмотра.